Устройство для измерения спектров отражения в вакууме Советский патент 1987 года по МПК G01N21/55 

Изобретение относится к приборам для измерения спектров отражения в вакууме и может быть использовано в космической технике для исследования отражательных свойств покрытий,испы- тываюпц1х влияние различных спецфакторов космического пространства,например коротковолнового излучения,а также в физике и химии твердого тела для исследования оптических (отражательных) характеристик поверхности материалов.

Цель изобретения - повьшение точности измерения отражательных характеристик материалов после воздействия излучения.

На фиг, 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1.

Устройство содержит измерительную камеру 1 с образцом 2, систему 3 ва- куумирования, источники 4 и 5 ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового излучения. Для измерения отражательных характеристик измерительная камера имеет торцовое оптическое кварцевое окно 6, жестко состыкованное с оптической измерительной системой 7.

Измерительная камера представляет собой вертикальный цилиндр,, снабженный кроме торцового оптического кварцевого окна двумя каналами 8 и 9 и оптическими окнами 10 и 11 для ввода излучения из области ультрафиолетовой и области BaKyyi iHoro ультрафиолета соответственно.Источником ультрафиолетового излучения является дуговая ксеноновая сферически шаровая лампа ДКСШ-ЮОО, а в качестве источника вакуумного ультрафиолета применяется водородная лампа. Измерительная камера имеет также канал 12 для ввода подвижного термоэлемента 13, предназначенного для измерения интенсивности падающего на образец излучения с помощью датчика 1А,соединенного с термоэлементом двумя то ковводами 15. Термоэлемент -размещается на направляющей спице 16, впаянной в стенку измерительной камеры перемещается по направляющей спице с помощью магнита 17 и может фиксироваться в точке пересечения осей оптических каналов 8 и 9. Исследуемый образец размещается на подложке 18 подвижной оси 19 держателя образца 20. С помощью подвижной оси 19 держателя осуществляется поворот подложки с образцом под углом 90®. Перемещение держателя в вертиксшьном.направлении вверх к торцовому оптическому кварцевому окну и вниз, где

расположены каналы для ввода ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового излучения осуществляется с помощью тросика 21, перекинутого через блок 22. Держатель с исследуемым образцом также может фиксироваться в точке пересечения геометрических осей каналов 8 и 9 с помощью магнита 23.

Устройство работает следующим образом.

По достижении вакуума необлученный образец 2, находящийся на подложке 18 в подвижном держателе 20, перемещается к торцовому оптическому кварцевому окну 6, где с помощью оптической системы 7 производят измерения спектров отражения.Одновременно термоэлемент 13 по направляющей спице 16 магнитом 17 устанавливают в точке пересечения геометрических осей каналов 8 и 9, где проводят измерение суммарной интенсивности потока источников 4 и 5 коротковолнового излучения датчиком 14.

Далер термоэлемент 13 убирается, а в точке пер€1сечения геометрических осей каналов 8 и 9 устанавливают образец 2, закрепленный в подвижном держателе 20. В данном положении образца проводят облучение его измеренной те рмоэлементом 13 суммарной интенсивностью светового потока источников 4 и 5 коротковолнового излучения .-

Формула изобретен и.я

50

Устройство для измерения спектров 45 отражения в вакууме, содержащее канал ввода ультрафиолетового излучения, измерительную камеру с Держателем образца, системы освещения и регистрации отраженного от образца света, отличающееся тем, что, с целью повьш1ения точности измерений, измерительная, камера снабжена дополнительным каналом для ввода вакуумного ультрафиолетового излучения и термоэлементом, выполненным с возможностью перемещения перпендикулярно оси камеры в точку пересечения оптических осей каналов ультрафиолетового излучения, а держатель

55

3 .1325332 . 4

образца вьтолнен подвижным вдоль оси лов ультрафиолетовог-о излучения и на камеры с возможностью фиксации в точке, пересечения оптических осей канавыходе системы освещения в положении для измерения спектров отражения.

лов ультрафиолетовог-о излучения и на

выходе системы освещения в положении для измерения спектров отражения.

Изобретение относится к физической оптике, а именно к исследованию отражательных свойств материалов,испытывающих жесткое ультрафиолетовое облучение, и может быть использовано в космической технике, физике и химии твердого тела. Цель изобретения - повышение точности измерений. Цель достигается введением дополнительного канала вакуумного ультрафиолета, применение - подвижного термоэлемента, который измеряет ультрафиолетовый поток, и выполнением держателя образца подвижным для его перемещения после облучения без развакуу- мирования в положение для измерения отражательных характеристик материа- лов. Положения термоэлемента при измерениях и образца при облучении идентичны, что позволяет с высокой точностью судить об энергетических параметрах облучения. 2 ил. а (А 05 1чЭ О1 СО 00 ю

Фиг.1

Q