Интерферометр для измерения линейных размеров объектов Советский патент 1987 года по МПК G01B9/02 G01B11/02 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров.

Цель изобретения - повышение точности измерения линейных размеров объектов И расширение диапазона измерения за счет независимого перемеш.ения отражателей непосредственно по линии измерения, что не нарушает принцип Аббе.

На чертеже изображена оптическая схема интерферометра для измерения линейных размеров объектов.

Интерферометр содержит осветитель 1, даюш.ий параллельный световой поток, раз- деляющийся на светоделительной пластине 2. Проходяш.ая светоделительную пластину 2 часть светового потока зеркалом 3 направлена на отражатель 4, затем посредством зеркала 3, светоделительной пластины 2 и зеркала 5 - на отражатель 6, откуда посредством зеркала 5 направлена на светоделительную пластину 2, где совме- ш.ена с частью светового потока, отраженного от светоделительной пластины 2, и направлена на фоторегистратор 7. Отражатели 4 и 6 расположены параллельно друг другу на одной оптической оси и в одной ветви.

Интерферометр работает следующим образом.

Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4 и 6 интерферометра перемешаются по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4 и 6 разводят друг относительно друга по оси на расстояние, соизмеримое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой находятся отражатели 4 и 6. Последние перемешают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объек-го и

та о.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных размеров объектов, содержащий осветитель, светоделительную пластину, предназначенную для деления светового потока на две ветви, зеркала, отражатели и фоторегистратор, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, отражатели установлены в одной ветви на одной оптической оси с возможностью перемещения вдоль нее, а светоделительная пластина расположена так, что ее светоделительная поверхность параллельна этой оси.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет независимого перемещения отражателей непосредственно по линии измерения, что не нарушает принцип Аббе. Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 разводят один относительно другого по оси на расстояние, соизмери-. мое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой на.кодятся отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. 1 ил. 2 (Л со ю 00 О5 О5 О5