Фотоэлектрический преобразователь линейных перемещений Советский патент 1987 года по МПК G01B11/00 

положностью знаков приращений фаз сигналов с преобразователя линейных перемещений. Излучение от источника

Iчерез оптическую систему 2 проходит через растровое сопряжение измерительного растра 3 и индикаторного растра 4 и через собирающие линзы 5,6,7

и 8 попадает на фотоприемники 9,10,

IIи 12 соответственно. При перемещении растра 3 вдоль продольной оси растра 4 происходит модуляция излу

1

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения величины перемещений объектов.

Цель изобретения - повьщ1ение точности измерений - достигается равенством величин и противоположностью знаков приращений фаз сигналов с преобразователя линейных перемещений. На фиг.1 изображена оптическая схема фотоэлектрического преобразователя; на фиг.2 - пример вьтолнения индикаторного растра.

Фотоэлектрический преобразователь линейных перемещений содержит источник 1 излучения, расположенные по ходу излучения оптическую систему 2, измерительный растр 3 с параллельными штрихами, ориентированными перпенди- кулярно направлению движения, индикаторный растр 4, расположенный параллельно измерительному растру 3, собирающие линзы 5 - 8 и фотоприемники 9 - 12, размещенные за участками 13 - 16 индикаторного растра 4 соответственно. Каждый участок 13 - 16 индикаторного растра 4 имеет по две симметричных относительно продольной оси группы штрихов индикаторного растра 4, наклоненных соответственно под углом оС и - 6 к щтрихам измерительного растра 3. Штрихи участков 13 - 16 индикаторного растра 4 имеют относительные пространственные фазы

О о т соответственно.

Фотоэлектрический преобразователь линейных перемещений работает следующим образом.

чения растровым сопряжением. Сигналы с фотоприемников 9 и 12, сдвинутые по по фазе на 1Г рад, вычитаются один из другого. Сигналы с фотоприемников 10 и 11, сдвинутые по фазе на IT рад, также вычитаются один из другого. Относительный сдвиг по фазе на м рад между сигналами фотоприемников 9,12 и 10,11 используют для компенсации постоянной составляющей путем их встречного включения. 2 ил.

5

0

5

0

5

0

Излучение от источника 1 через оптическую систему 2, формирующую параллельный поток излучения, перпендикулярный к поверхности сопрягаемых растров, проходит через растровое сопряжение измерительного растра 3 и индикаторного растра 4 и через собирающие линзы 5-8 попадает на фотоприемники 9-12 соответственно. При перемещении измерительного растра 3 вдоль продольной оси индикаторного растра 4 (направление А на фиг.2) происходит модуляция излучения растровым сопряжением. Сигналы с фотоприемников 9 и 12, сдвинутые по фазе на ТГ рад, вычитаются один из другого. Сигналы с фотоприемников 10 и 11, также сдвинутые по фазе на Т рад, тоже вычитаются один из другого. При этом относительный сдвиг по фазе на ТГ рад между сигналами фотоприемников 9 и 12 так же, как и между сигналами фотоприемников 10 и 11, необходим для компенсации постоянной составляющей путем их встречного включения.

Формула изобретения

Фотоэлектрический преобразователь линейных перемещений, содержагдий источник излучения и расположенные по ходу излучения оптическую систему, измерительный растр, индикаторный растр с нанесенными на него группами параллельных штрихов, попарно ориентированных под одними углами друг к другу, и фотоприемники, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, каждый из фотоприемников установлен в плоскости

муаровой картины, образованной штрихами измерительного растра и двумя группами штрихов индикаторного растра, которые расположены симметрично относительно продольной оси индикаторного растра.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения величины перемещений объектов. Цель изобретения - повышение точности измерения - достигается равенством величин и противо(Л 00 со СО 00 со 00 Ф(/г. /

Г6

УГ -Г

фиг.г