Устройство для регулирования ширины расплавленной зоны в процессе зонной плавки полупроводниковых материалов Советский патент 1960 года по МПК C30B13/30 

Предлагаемое устройство для регулирования ширины распл-авленной зоны при ЗОИНС5Й плавке полупроводниковых материалов позволяет создать пропорциональное полол ению края зоны электрическое напряжение, используемое для управления органами, регулирующими температуру расплава. Для этого оно выполнено в виде оптической системы с синхронно-вращающимся диском с двумя отверстиями и фотодиодом, установленным на линии оптической осиНа чертеже показана схема регулятора ширины расплавленно зоны.

Для наведения прибора на расплавленную зону применена оптическая система 1. Изображение зоны через вращающийся диск 2 с ДВУМЯ отверстиями 3 иередается на фотодиод 4. Возникающие при этом фотоэлектрические импульсы усиливаются усилителем 5. Между отверстиями 3 в диске 2 находятся магниты 6, которые, проходя в поле катущки 7, индуцируют магнитные импульсы, распределяющиеся по вромени между фотоэлектрическими импульсами. Магнитные импульсь, будучи усилены усилителем 8, подаются -на вибропреобразователь Л Фотоэлектрические импульсы из усилителя 5 попадают на ограничите.аь амплитуды по нижнему уровню 10, затем в усилитель 11 и далее на логарифмический амплитудо-временной преобразователь 12. Вибропреобразователь 9, замыкаясь попеременно на контакты 13 и 14, снимает поочередно фотоэлектрические и экспоненциальные магнитные импульсы. С вибропреобразователя 9 импульсы поступают на ограничитель амплитуды 15, принимая прямоугольную форму. Вибропреобразователь 16 сортирует различные по щирине прямоугольные фотоэлектрическ п | и магнитный импульсы. Подключенный к нему фильтр пропускает высокие гармоники и .образует среднюю величину постоянного тока, передаваемую на показывающий прибор 17 и регулирующую мощность высокочастотного иагрева.

№ 134430

Предмет изобретения

Устройство для регулирования ширины расплавленной зоны в процессе зонной плавки полупроводниковых материалов, отличающееся тем, что, с целью регулирования жидкой зоны, ©но выполнено в видгоптической системы, наведенной на расплавленную зону, снабженной, синхронно-вращающимся диском с двумя круглыми отверстиями и фотодиодом, установленным на линии оптической оси.

о .

Oebtf m

изперения i/