Способ определения неоднородности диэлектрической пленки на диэлектрической подложке Советский патент 1987 года по МПК G01N21/45 

Изобретение относится к области исследования или анализа материалов путем определения влияний на падающий свет свойств исследуемого материала с помощью методов, основанных на изменении преломляющей способности, и может быть использовано для контроля пленочных покрытий, применяемых в оптических приборах и устройствах.

Цель изобретения - упрощение способа и ускорение определения наличия местоположения и величин неоднород- ностей по показателю преломнения в диэлектрической пленке.

Способ осуществляют следующим образом.

Воздействуют на пленку с подложкой белым светом, поляризованным в плоскости,- параллельной плоскости падения под углом Cf Брюстера.

Отраженньй от пленки с подложкой луч направляют на экран. В случае однородности пленки по показателю прелоьшения отсутствует луч, отра- женньш от поверхности пленки, и, довательно, отсутствует интерференция. Весь экран будет равномерно освещен светом за счет отражения от границы раздела пленка - подложка, , так как подложка освещается светом под углом Брюстера. В местах неодно- родностей пленки по показат елю преломления свет будет падать уже не под углом Брюстера, в результате чего возникает интерференция лучей, отраженных от пленки и границы раздела пленка - подложка. Места неод- нородностей пленки по показателю преломления на экране окажутся окрашенными. По расположению таких цветовых пятен судят о местоположении неодно- родностей пленки по показателю преломления. Изменяют угол освещения пленки с подложкой.и определяют угол Брюстера для каждого пятна неоднородности по изменению окраски цветового пятна неоднородности на интерференционной картине до белого цвета и определяют величину неоднородности по показателю преломления по формуле

1

слеdn tgq 5-tg(/,.

где

Г

. г

угол Брюстера для пленкиj угол Брюстера для пятна неоднородности на пленке. В способе специально устраняют явление;, интерференции выбором света.

,

,

.

10

1Г

20

30

40

поляризованного параллельно плоскости падения, и направлением луча под углом Брюстера. Нахождение угла Брюстера облегчается при использовании белого света, так как интенсивность отраженного света, поляризованного параллельно плоскости падения, вблизи угла Брюстера мала, то нахождение угла Брюстера при использовании мо нохроматеческого света потребовало бы применение специальных светочувствительных приемник.ов и визуально практически было бы невозможно. Использование белого- света приводит к тому, что угол Брюстера находится по исчезновению цветного окрашивания на экране и появлению белого цвета.

Пример. Определялась неоднородность пленки liTbjOj по показателю преломления. Пленка была нанесена на полированную поверхность образца из стекла ТФ5 размером 20«20 5 мм реактивным катодным распылением 25 Nb в атмосфере (Аг+0 ), Для определения неоднородности пленки использовалась установка типа ППУ-5.

Образец освещался, белым светом, поляризованным параллельно плоскости падения, под углом Брюстера (Vc , ,215), который фиксировался по белой окраске отраженного от пленки с подложкой луча на экра- не. Изменением угла падения света на образец последовательно добивались изменений окрашенных цветовьк пятен на экране в местах неоднородностей пленки до белого цвета и фиксировали угол . Определяли неоднородности по показателю преломления.

В таблице представлены результаты наблюдения отраженного света на экране.

По этим данным возможна разбра ков- 45 ка пленок. Критерием может служить число, площадь пятен или величина неоднородности по показателю преломления йп,

5оФорм ула изобретения

Способ определения неоднородности диэлектрической пленки на диэлектрической подложке, включающий осве- 55 щение участков исследуемой пленки с подложкой лучом поляризованного света и определение параметров пятен неоднородностей интерференилонной картины в отраженном от пленки с подлож35

кой свете, по которым-судят о неоднородности диэлектрической пленки, о т- личающийся тем, что с целью упрощения способа, освещают плен- (. ложкой до величины Ч/ , при которой

U-. . Ы D

ку с подложкой лучем белого света, поляризованного параллельно плоскости падения, под углом Брюстера i/g, при определении параметров пятен не- однородностей интерференционной кар- ю

регистрируют белый увет пятен, а ве личину неоднородности по показателю преломления АП определяют по формул

( -tg(.

Iь g

Редактор А.Ревин

Составитель С.Голубев Техред А.Кравчук

Заказ 6395/31Тираж 776Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113П35, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Ml м-пш1гт-

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4

тины в отраженном свете регистрируют их цвет, после чего изменяют угол падения луча света на пленку с под- . Ы D

регистрируют белый увет пятен, а величину неоднородности по показателю преломления АП определяют по формуле

( -tg(.

Iь g

Корректор В.Бутяга

Изобретение относится к измерению размеров предметов или расстояний между предметами, о.снованному на оптических методах. Цель изобретения- упрощение способа. Всю поверхность исследуемой пленки на подложке освещают под углом Брюстера лучем белого света, поляризованным параллельно плоскости падения, наблюдают отраженный луч и по наличию и расположению цветовых пятен судят о наличии и местоположении неоднородностей диэлектрической пленки. Изменяют угол падения белого света до момента появления белого света на месте цветового пятна и по известным закономерно- стям находят неоднородность пленки по показателю преломления. (С (Л со О5 СО О ю со