Способ определения параметров диэлектрической пленки Советский патент 1985 года по МПК G01B11/06 

;о со 4

СП

со I Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения показателя преломления и толщины пленочных покрытий на диэлектрических подложках. Цель изобретения - повышение точности и производительности измерений. Способ определения параметров диэлектрической пленки, заключается в том, что освещают пленку излучением, поляризованным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, с периодически изменяющейся во времени длиной волны, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера fg, фиксируя его по достижению минимальной ампли туды изменений потока отраженного излучения, вызванных измеиениями 59 длины волны излучения, и углы , Ч . падения, соответствующие двум соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны Д.- излучения и вычисляют показатель h преломления пленки по формуле , а толщину d пленки - по формуле 2(ri -sin2l : - -Vni-sin fT Фиксация угла Брюстера по минимальной амплитуде изменений потока отраженного излучения позволяет уменьпшть влияние неоднородностей пленки на результат измерений и тем самым повысить точность измерения. Определение толщины пленки по значениям углов, соответствующих минимумам коэффициента отражения, также позволяет повысить точность измерений, одновременно при этом сокращается время контроля.

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ДЮЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ, заключающийся в том, что пленку освещают излучением,поляризьванным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера, по которому вычисляют показатель преломления пленки, и определяют толщину пленки, Отличающийся тем, что, с целью повьппения точности и производительности измерений, периодически изменяют длину волны излучения, осве щающего пленку, угол Брюстера фиксируют по достижении минимальной амплитуды изменений потока, отраженного излучения, вызванных 1зменениями длины волны излучения, определяют углы падения, соответствукщие двум соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны излучения, а толщи(Л ну пленки рассчитывают по известной с зависимости.