(21)4087647/25-06
(22)14.07.86
(46) 15.01.88.БЮЛ. № 2
(72) В.Г.Фарафонов, Ю.П.Ходцев,
С.Л.Чепель, Б.П.Батраков,
В.А.Кравченко, Ю.Н.Волков
и Ю.В.Ткач
(53) 621.528.1 (088.8)
(56) Авторское свидетельство СССР
№ 937765, кл. F 04 В 37/08, 1980.
(54) КРИОГЕННЫЙ ФОРВАКУУМНЫЙ КОН- ДЕНСАЦИОННО-АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Коаксиальные конусы 2 и 3 установлены в корпусе 1 с возможностью осевого перемещения друг относительно друга. В вершинах конусов 2 и 3 обращённых вниз, выполнены соответственно отверстия 4 и 5, а на поверхностях, обращенных одна к другой, закреплен адсорбент 6. Откачные характеристики насоса улучшаются за счет использования адсорбента, включаемого в работу на заключительной стадии вакуумирования. I ил.
а (в
сл
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Криогенный конденсационный насос | 1980 |
|
SU937765A1 |
| Криогенный форвакуумный насос | 1981 |
|
SU987169A1 |
| Криогенный конденсационный форвакуумный насос | 1987 |
|
SU1443527A1 |
| Криогенный форвакуумный конденсационный насос | 1980 |
|
SU883551A1 |
| Криогенный фрвакуумный насос | 1976 |
|
SU629357A1 |
| Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос | 1987 |
|
SU1463957A2 |
| Криогенный двухступенчатый вакуумный насос | 1977 |
|
SU691600A1 |
| Абсорбционный вакуумный насос | 1980 |
|
SU918509A1 |
| Криогенный конденсационный форвакуумный насос | 1978 |
|
SU769081A1 |
| Криогенный конденсационный насос | 1981 |
|
SU992813A2 |
ffe жиЛгий
00
Од
О5
Од
;о
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов, работающих в области низкого и среднего вакуума.
На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.
Криогенный форвакуумный конден- сационно-адсорбционный насос содержит -корпус 1 и установленный в нем откачивающий элемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов 2 и 3 с отверстиями 4 и 5 соответственно в обращенных вниз вершинах. Конусы 2 и 3 установлены в корпусе 1 с возможностью осевого перемещения друг относительно друга, а на их поверхностях, обращенных одна к другой, закреплен, адсорбент 6. Конусы 2 и 3 могут иметь общий или независимый контуры охлаждения. К нижней части корпуса 1 через патрубок с клапаном 7 подсоединен сборник 8 жидкого конденсата, охлаждаемый парами используемого в контурах охлаждения т- конусов 2 и 3 хладагента.
Насос работает следующим образом
Перед включением насоса в работу конусы 2 и 3 плотно сдвинуты. При охлаждении конусов 2 и 3 откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 насоса, конденсируется на их поверхностях в жидкую фазу и стекает в сборник 8 конденсата. После достиже ния давления, соответствующего дав666902
лёнию тройной точки воздуха, клапан , 7 перекрьшается, поскольку дальнейшая ( конденсация происходит в тверg дую фазу. Когда давление в насосе достигает предельного для конденсационной откачки, т.е. определяется упругостями паров откачиваемых газов при температуре конусов 2 и 3, кону- 10 сы раздвигаются и в работу вступает адсорбент 6, который уже достаточно хорошо охлажден. В результате откачиваются неконденсируемые компоненты откачиваемой среды.
U Таким образом, откачные характеристики насоса улучшаются за счет, использования адсорбента,включаемого в работу на заключительной стадии вакуумирования.
Формула изобретения
Криогенный форвакуумный конден- сационно-адсорбционный насос, содержащий корпус и установленный в нем откачивающий злемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов с отверстиями в обращенных вниз вершинах, о тлич ающийс я тем, что, с целью улучшения откачньк характеристик , конусы установлены в корпусе с возможностью осевого перемещения друг относительно друга, а на их поверхностях, обращенных одна к другой, закреплен адсорбент.
