(54) КРИОГЕННЫЙ ФОРВАКУУМНЫРТ НАСОС
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос | 1986 |
|
SU1366690A1 |
| Криогенный конденсационный форвакуумный насос | 1987 |
|
SU1443527A1 |
| Криогенный фрвакуумный насос | 1976 |
|
SU629357A1 |
| Криогенный двухступенчатый вакуумный насос | 1977 |
|
SU691600A1 |
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС | 2001 |
|
RU2203438C1 |
| УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР | 1987 |
|
SU1503447A1 |
| Способ получения вакуума и устройство для его осуществления | 1986 |
|
SU1344938A1 |
| Диффузионный вакуумный насос | 1983 |
|
SU1100974A1 |
| СПОСОБ ЗАЩИТЫ АДСОРБЕНТА В КРИОНАСОСЕ И КРИОГЕННЫЙ НАСОС | 1991 |
|
RU2031245C1 |
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС | 2001 |
|
RU2206790C1 |
1
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству криогенных вакуумных Насосов.
Известен криогенный форвакууиный насос, содержащий корпус с размещенным. в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом и сообщенный с корпусом посредством вентиля сборник жидкого конденсата 1.,
Недостатком известного насоса являются невысокие откачные характеристики, вследствие накапливания неконденсируемых газов, таких как гелий, неон, водород.
Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.
Указанная-цель достигается тем, что насос снабжен адсорбционным патроном, установленным в сборнике конденсата и сообщенным с полостью корпуса, а конденсирующий элемент выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньщим основанием к сборнику конденсата.
На чертеже схематически представлен предлагаемый насос, продольный разрез.
Криогенный форвакуумный насос содержит-корпус 1 с размещенным в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом
2 и сообщенный с корпусом 1 посредством вентиля 3 сборник 4 жидкого конденсата, причем насос снабжен адсорбционным патроном 5, установленным в сборнике 4 конденсата и сообщенным с полостью корпуса I, а конденсирующий элемент 2 выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньшим освнвванием к сборнику 4 конденсата. На трубопроводе, сообщающем патрон 5 с полостью корпуса 1, установлен вентиль 6.
Насос работает следующим образом.
При охлаждении конденсирующего элемента 2 до температуры сжижения основных компонентов воздуха (кислорода, азота и аргона), колСпоненты начинают конден15 сироваться в жидкостью, стекающую в сборник 4 конденсата и охлаждающую установленный в сборнике адсорбционный патрон 5. Дальнейшее охлаждение элемента 2 приводит к конденсации газов в твердой фазе. При этом вентиль 3 закрывается, отсекая сборник 4 от полости корпуса 1, а. вентиль 6 открывается, сообц4ая патрон 5 с полостью корпуса 1. Дальн йщее понижение давления осуществляется -как путем вымораживания основных составляющих воздуха элементом 2, так и путем поглощения неконденсируемых составляющих воздуха адсорбентом в патроне 5.
Охлаждение элемента 2 осуществляется как подачей жидкого хладагента, так и контактом элемента со ступенью криогенератора.
Наличие адсорбционного патрона, сообщенного с полостью корпуса, позволяет улучщить откачные характеристики насоса вследствие обеспечения откачки неконденсируемых компонентов воздуха.
Формула изобретения
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 694656, кл. F 04 В 37/08, 1978.
