Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей и устройство для его осуществления Советский патент 1988 года по МПК G01B9/21 

1 1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения относительных перемео;ений двух диффузно отражающих объектов.

Целью изобретения является повышение точности и производительности измерений путем обеспечения возможности увеличения входного окна фо торегистратора до размеров спекла суперпозиционного спекл-поля, что приводит к увеличению отношения сиг нал/шум.

На чертеже представлена оптическая схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит последовательно расположенные по ходу луча лазер 1, делитель 2 пучка, полуволновую пластину 3 и зеркало 4, установленные с возможностью поступатель- .ного перемещения вдоль лазерного луча и регулирования угла его наклона, фоторегистратор 5, установленньй с возможностью перемещения в своей плоскости, и поляризационньй анализатор 6 между делителем 2 и фоторегистратором 5.

Пучок когерентного излучения от

лазера 1. с помощью делителя 2 направляется на диффузно отражающие поверхности 7 и 8. Отраженное от поверхностей излучение совмещают в плоскости фоторегистрат ора 5. При этом для устранения попадания на фоторегистратор 5 излученияi отраженного поверхностью 8, минуя зеркало 4 осуществляют развязку излучения путем прохождения его через полуволновую пластину 3 и поляризационньй анализатор 6, ориентация оптической оси которого соответствует максимальному пропусканию линейно поляризованного излучения от лазера 1. Затем путем поступательного перемещения зеркала 4 вдоль лазерного пучка и его наклона осуществляют совмещение спекл- структур отраженного излучения до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере

740422

одного из спеклов и посредством фоторегистратора 5 регистрируют интенсивность светового потока,.проходя- , щего через поперечное сечение зтого спекла, по которой измеряют относительные перемещения диффузно отражающих поверхностей 7 и 8.

10 Формула изобретения

1.Интерференционньй способ измерений относительных перемещений диффузно отражаюо;их поверхностей, зак15. лючающийся в том, что освещают поверхности когерентным излучением осуществляют пространственное совмещение отраженных этими поверхностями спекл-полей и в плоскости совмещения

20 регистрируют интенсивность суммарного спекл-поля,.по которой определяют относительные перемещения поверхностей, отличаю од ийся тем, что, с целью повышения точности и

25 производительности измерений, совмещение спекл-полей осуществляют до исчезновения регулярных интерферен- ционньк полос внутри по крайней мере одного из спеклов, а регистрацию ин30 тенсивности производят по потоку

излучения, проходящему через поперечное сечение этого спекла.

2.Интерференционное устройство для измерений относительных перемеJ5 щений диффузно отражаюпдах поверхностей, содержащее последовательно расположенные лазер и делитель пучка и фоторегистратор, отличающееся тем, что, с целью повьшения

40 точности и производительности измерений, оно снабжено последовательно размещенными за делителем по ходу одного из разделенных пучков полувол- новой пластиной.и зеркалом, установд5 ленным с возможностью поступательного перемещения вдоль лазерного пучка и регулирования угла его наклона, и по- ляриза1щонным анализатором, расположенным между фоторегистратором и де„ лителем, а фоторегистратор установлен с возможностью перемещения в своей плоскости.

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьшение точности и производительности измерений путем увеличения отношения сигнал/шум. Пучком когерентного излучения от лазера Г посредством делителя 2 и зеркала 4 освещают диффузно отражающие поверхности 7 и 8 и отраженное от них излучение направляют в плоскость фоторегистратора 5. Для устранения непосредственного попадания на него излучения, минуя зеркало 4, перед зеркалом 4 установлена полуволновая пластинка 3, а между делителем 2 и фоторегистратором 5 -поляризационньм анализатор 6. Путем поступательного и вращательного перемещения зеркала 4 совмещают спекл-поля отраженного излучения до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере одного из спеклов. Посредством фоторегистратора 5 определяют интенсивность светового потока, проходящего через поперечное сечение этого спекла, и по полученным данным определяют относительное перемещение. 1 ил. § (Л