Микропрофилометр Советский патент 1961 года по МПК G01B15/04 G01B9/02 

Известные микроирофилометры, выполнснные по схеме прибора того же названия системы Линника, обладают недостатком, заключающимся в том, что в них могут быть применены только слабые объективы, имеющие большое свободное (рабочее) расстояние.

Сущность изобретения заключается в том, что микронрофилометр снабжен поляризационным устройством, производящим раздвоение изображения щели, которое выполнено в виде поляризатора, поляризационной призмы и двух пластин «четверть волны, причем поляризатор установлен у щели, поляризационная призма - за разделяющей пластиной в одной ветви микропрофилометра, первая пластина - рядом с поляризациовной призмой и вторая - в другой ветви микропрофилометра.

На чертеже изображена схема микропрофилометра.

Световой луч из щели 1 проходит через поляризатор 2, который ориентирован таким образом, чтобы направления проходящих через него световых колебаний были параллельны или перпендикулярны к щели. Л1ежду разделительной пластинкой 5 и объективом 4 установлена поляризационная призма 5, относящаяся к типу призм, дающих раздвоенное изображение (призмы Ротона, Сенармона, Волластона и др.). На чертеже представлена, в частности, призма Волластона, состоящая из двух клиньев. Оптическая ось одного клина параллельна щели. О пти-т ческая ось второго клина перпендикулярна к щели. Для световых колебаний, направленных параллельно или перпендикулярно к щели, такая призма эквивалентна стеклянному отклоняющему клину. Осевой луч, пройдя сквозь призму 5, несколько отклонится от своего направления, оставаясь в плоскости чертежа.

Между призмой 5 и объективом 4 установлена пластинка б «четверть волны, оси которой составляют с осями клиньев призмы 5 углы в 45°. При прямом и обратном (после отражения от зеркала 7) прохождении лучей пластинка 6 эквивалентна пластинке «пол-волны. Поэтому световые колебания лучей, вступающих в призму 5 на обратном пути (после отражения от зеркала 7), происходят в направлении, перпендикулярном к 1;иправлению колебаний, вышедших из поляризатора 2. Лучи, прошедшие сквозь призму 5, на обратном пути будут вновь отклонены этой призмой, в результате чего получитея требуемое раздвоение изображений щели Д и Д .

Для того, чтобы привеети направления колебаний Иптерферируюших лучей в одну плоскость, между разделительной пластинкой 3 и объе(тиво.Г 8 должна быть установлена пластинка «четверть волны 9.

Цилиндрическая линза 10 дает два астигматических изображения щели Д л Д . Интерференционпьк полосы наблюдаются в плоскости/ через окуляр //.

Схема должНа быть дополнена обычными приспособлениями для уравнивания оптических путей в двух ветвях.

Предмет изобретения

Микропрофилометр по Липнику, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности использования объективов с малым рабочим расстоянием, он снабжен осуществляющим раздвоение изображения щели поляризационным устройством, выполнениым в виде установленного у поляризатора и поляризационной призмы, установленной за разделяющей пластиной в одной ветви, и двух пластин «четверть волны, одна из которых расположена рядом с поляризационной призмой, а вторая-в другой ветви микропрофилометра.