Интерферометр Советский патент 1961 года по МПК G01B9/02 G01B11/02 

Существующие интерферометры для измерения малых разностей хода обладают низкой точностью измерений.

Предлагаемый интерферометр устраняет этот недостаток тем, что его поле интерференции разделено на две части носредством установки в одной из ветвей двух зеркал, расположенных под малым углом- друг к другу, или посредством двух полулинз, центры которых не совпадают друг с другом.

На фиг. 1 представлено схематическое устройство интерферометра с использованием двух зеркал, установленных в одной ветви под малым углом друг к другу.

Свет из отверстия диафрагмы 1 проходит через объектив 2 и выходит из него параллельным пучком. Полупосеребренная поверхность кубика 3 делит пучок на две ветви. В первой ветви установлено зеркало 4, после отражения от которого свет проходит сквозь кубик 3 и объектив 5 и дает изображение диафрагмы 1 в точке PI. Во второй ветви установлены два зеркала б и 7 под небольшим углом друг к другу. Зеркало 6 расположено выше плоскости чертежа, а зеркало 7 - ниже плоскости чертежа. После отражения от зеркала 6 свет отражается от полупосеребренной поверхности кубика 3, проходит через объектив 5, который дает изображение диафрагмы / в точке Р . После отражения от зеркала 7 свет отражается от полупосеребренной поверхности кубика 3, проходит через объектив 5, который дает изображение диафрагмы 1 в точке . Таким образом, верхней половине ноля, содержащей зеркало 6, соответствуют выходные зрачки PI и Ра, а нижней половине поля, содержащей зеркало 7, соответствуют зрачки PI и . В обоих полуполях возникают интерференционные полосы, которые при надлежащей регулировке будут перпендикулярными к линии раздела и иметь одинаковую ширину. В случае использования двух клиньев, схема остается той же, только взамен зеркал 6-7 устанавливаются два клина и одно зеркало и в случае использования двух одинаковых длиннофокусных полулинз, центры которых не совпадают, взамен зеркал 6-7 устанавливают