Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

ревой эжектор 6. Предварительное раз- 30 масляной откачки, насос дополнитель- режение создают параллельно на выходах молекулярной ступени 4 и газодинамического уплотнения 5. При достижении в откачиваемой камере (не показано) предварительного разрежения, включают газовую турбину 9. После выхода на номинальную частоту вращения турбины 9, клапан 8 включает и выключает вихревой эжектор 6. Затем насос работает до достижения задан- .„

35

но содержит третью ступень, вьшол- ненную в виде газодинамического уплотнения, подключенного входом к выходу молекулярной ступени, и вихревой эжектор, пассивное сопло которого подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана - к выходу молекулярной ступени, а привод вьшолнен в виде газовой турбины.

масляной откачки, насос дополнитель-

но содержит третью ступень, вьшол- ненную в виде газодинамического уплотнения, подключенного входом к выходу молекулярной ступени, и вихревой эжектор, пассивное сопло которого подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана - к выходу молекулярной ступени, а привод вьшолнен в виде газовой турбины.

Изобретение позволяет улучшить вакуумные характеристики насоса путем обеспечения безмасляной откачки. В корпусе 1 последовательно размещены турбомолекулярная и молекулярная ступени 3 и 4 насоса и соединенньй с ними привод, выполненный в виде газовой турбины 9. Третья ступень насоса вьшолнена в виде газодинамического уплотнения 5, подключенного входом к выходу ступени 4. Пассивное сопло 7 вихревого эжектора 6 подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана 8 к выходу ступени 4. Эжектор позволяет получить предварительное разрежение в камере, гарантируя отсутствие миграции углеводородов в камеру. Наличие клапана 8 позволяет быстро выходить на заданный режим работы, обеспечивая безмасляный вакуум, и осуществлять запуск воздуха в камеру при остановке насоса, минуя уплотнение 5. а 2 ил. (Л

Фиг. 2