Датчик давления Советский патент 1988 года по МПК G01L11/00 

(Л

СО СХ

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение чувствительности. Напряжение генератора 10 возбуждает колебания в резонаторах 4 и 6, которые проникают через исследуемый газ к резонатору 5 и вызывают в нем колебания на частоте возбуждения. В результате колебаний резонатора 5 возникают связанные с величиной давления газа электрические сигналы, которые поступают на индикатор давления. 3 ил.

Фиг. 2

1-138

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к пьезоэлектрическим датчикам давления.

Целью изобретения является повышение чувствительности.

На фиг,1 показана конструкция манометра; на фиг,2 - схема подключения; на фиг,3 - зависимость выходного напряжения манометра от давле- ния газа.

Датчик давления (фйг.1 и 2) содержит герметический корпус 1, снабженный крышкой 2 и штуцером 3 для откачки или нагнетания газа, с раз- мещенными в нем тремя одинаковыми пьезоэлектрическими резонаторами 4-6.

. Резонаторы выполнены в виде пластин и закреплены плоско-параллельно при помощи изоляторов 7 в узлах стоячей волны собственньпс колебаний на фиксированном расстоянии друг от друга.

Для подвода электрических сигна- лов на электроды резонаторов маномет снабжен контактным устройством;(в.

Электроды резонаторов 4 и 6 расположены одноименными электродами к электродам резонатора 5. Электроды резонатора 5 соединены с регистратором 9, а одноименные электроды резонаторов 4 и 6 - между собой и с генератором 10 электрических колебаний. Датчик работает следующим образом Электрическое напряжение генератора 10 возбуждает колебания в резо- н торах 4 и 6, которые проникают через исследуемый газ к резонатору 5 и вызьшают в нем- колебания.- на частоте возбуждения, В результате, колеба- НИИ резонатора 5 возникают связанные с величиной давления газа.электрические сигналы, каторые.и поступают на индикатор давления.

0 ;

5

о

5

0

В конкретном случае использовались три пьезоэлемента диаметром 30 мм и толщиной 0,3 мм из пьезокерамики ЦТС-19, Пьезоэлементы соединены между собой плоскопараллельно посредством стеклотекстолитовых изоляторов, размещенных в .узлах стоячей волны собственных колебаний, толщиной 1,5 мм и диаметром 3 мм и помещены в герметичный корпус, снабженный крышкой и штуцером для откачки или нагнетания газа, а также контак тным устройством для подвода электрических сигналов на электроды пьезоэлементов по схеме, показанной на фиг,2. Кроме того,определялись зависимости выходного напряжения датчика в зависимости от давления при увеличении давления от 5 до 760 мм рт.ст, в области основного резонанса (64 кГц),

Предлагаемый манометр имеет высокую чувствительность (фиг,3). Формула изобретения

Датчик давления, содержащий корпус с установленными в нем тремя идентичными пьезоэлектрическими резонаторами в виде пластин, закрепленных плоскопараллельно на расстоянии одна от Другой менее трети их ширины, генератор электрических колебаний и реглстратор, причем крайние пьезоэлектрические резонаторы обращены к среднему электродами, одноименными с электродами среднего пьезоэлектрического резонатора, отличающийся тем, что, С целью повышения чувствительности, в нем одноименные электроды крайних пьезоэлектрических резонаторов электрически соединены между собой и подключены к генератору электрических колебаний, а регистратор подключен к элект тродам среднего пьезоэлектрического резонатора.

150

U,flB

fOQ 200 300 Ш 500 600 700 Фие.З

Составитель М.Жуков

Редактор Н.Слободяник

Техред М.Ходанйч Корректор В,Бутяга

Заказ 1404/38Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

cpas-i

Pffi/f pm.cm.