Пьезоэлектрический резонатор Советский патент 1993 года по МПК H03H9/15 

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при изготовлении и разработке пьезоэлектрических устройств.

Цель изобретения - повышение технологичности при уменьшении габаритов.

Сопоставительный анализ показывает, что устройство отличается формой выполнения держателя (в форме единого кольца), материалом (из полиимидной пленки с размещенными частично на одной из его главных граней в диаметрально противоположных областях металлическими пленочными покрытиями) и, следовательно конструктивным выполнением.

На чертеже представлена конструкция пьезоэлектрического резонатора.

Пьезоэлектрический резонатор содержит металлическую крышку 1 и основание 2 корпуса (с подложкой показанной пунктиром), выходные выводы 3, стеклоспаи 4, пье- зоэлемент 5, возбуждающие электроды ff,

контактные площадки 7, кольцо держателя из полиимидной пленки 8, металлические пленочные покрытия 9 с отводами 10 и контактное соединение 11.

Пьезоэлектрический резонатор работает следующим образом,

При подаче на выходные выводы 3 высокочастотного напряжения с частотой, соответствующей резонансной частоте основного колебания или его гармонике пьезоэлемента 5, в подэлектродной области формируется стоячая волна тока При этом амплитуда возбуждаемых механических колебаний максимальна в центре пьезоэлемента 5 и спадает по направлению к его периферии. При условии выполнения захвата энергии в подэлектродной области амплитуда колебаний на краях электродов составляет 0,1-0,15 от максимального значения. Это позволяет закрепить пьезоэле- мент 5 по периферии пьезопластины с помощью эластичного держателя, выполСО

с

00

ю VJ XI

о

немного в форме единого кольца из поли- имидной пленки с размещенными частично на одной из его главных граней в диаметрально противоположных областях металлическими пленочными покрытиями. Использование одного держателя вместо нескольких повышает технологичность резонатора. А использование тонких пленок порядка нескольких десятков микрон с тонкими металлическими пленочными покрытиями значительно уменьшают габариты резонатора. При этом держатели могут изготовляться групповым методом травления и не требуется операция гибки держателя для придания ему конкретной формы. Это также повышает технологичность пьезоэлектрического резонатора.

Практически пьезоэлектрические резонаторы были изготовлены вакуумированны- ми на частоты 14 и 18 МГц на пластинах из кварца АТ-среза с диаметром 8 мм. Внешний диаметр держателя также составлял 8 мм, а внутренний был равен 6,4 мм. Толщина полиимидной пленки держателя составляла 120 мк, а металлического пленочного покрытия - порядка 20 мк, За счет использования данного держателя значительно уменьшился зазор между основанием корпуса 2 и пьезоэлементом 5, что обеспечило уменьшение габаритов резонатора в 2,5-3

0

5

0

5

0

раза, а использование одного держателя сократило количество операций при сборке резонатора и повысило его технологичность.

Формула изобретения Пьезоэлектрический резонатор, содержащий металлостеклянный корпус из жесткс соединенных между собой металлических крышки и основания с выходными выводами, проходящими через стеклоспаи в основании, и пьезоэлемент с расположенным / на его рабочих гранях возбуждающими электродами и контактными площадками жестко соединенными с держателями пье- зоэлемента, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности при уменьшении габаритов, держатели пьезоэ- лемента выполнены в виде единого кольца из полиимидной пленки с размещенными частично на одной из его главных граней е диаметрально противоположных областях металлическими пленочными покрытиями, отводы от которых соединены соответственно с выходными выводами резонатора, при этом другая основная грань кольца жесткс закреплена на основании корпуса или подложке основания корпуса, а диаметр отверстия держателя пьезоэлемента выбран меньше диаметра пьезоэлемента, но больше диаметра его активной области.

s

в 4

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в качестве частотозадающего элемента высокоскороста- бильных генераторов. Цель изобретения - повышение технологичности при уменьшении габаритов. Держатели пьезоэлемента выявлены в форме единого кольца из поли- имидной пленки с размещенными на нем частично в диаметрально противоположных областях металлическими пленочными покрытиями, при этом другая грань кольца закреплена на основании корпуса, а отводы от металлических пленочных покрытий жестко соединены с выходными выводами резонатора. 1 ил.

7