Терморезисторный датчик давления Советский патент 1988 года по МПК G01L21/12 

(Л

00 со кх

4

10

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения.

Целью изобретения является повышение чувствительности в диапазоне низкого Вакуума.

На чертеже представлено устройство.

Терморезйсторный датчик давления содержат корпус 1 с основанием 2, манометрический преобразователь с терморезистором в виде нити 3, закрепленной между стойками 4, сильфон 5. Сильфон 5 установлен на основании 2 датчика. Приемная полость штуцера 6 соединена с внутренней полостью сильфона 5. Внутри полости сильфона 5 размещены подвижное коромысло 7 с опорой 8, проволочная тяга 9 и пружина 10. Опора 8 установлена на основании 2 датчика. По краям плеч коромысла 7 расположены две стойки 4, 25 между которыми закреплена нить терморезистора 3. Подвижное коромысло 7 имеет ось 11 вращения. Проволочная тяга 9 прикреплена одним концом к крышке сильфона 5, а другим - к коромысла 7. К этому же плечу коромысла 7 прикреплен один конец пружины 10, второй конец которой прикреплен к опоре 8 у.основания датчика.

Терморезйсторный датчик давления работает следующим образом.

Посредством штуцера 6 датчик устанавливается на объекте измерения и его полость сообщает внутреннюю полость сильфона с измеряемой средой. При увеличении давления увеличивается теплоотдача с нити 3 за счет повьппе- ния теплопроводности газа и за счет отклонения нити терморезистора 3 от вертикали, что повьппает теплоотдачу путем конвекции и повьппает, тем самым, чувствительность в диапазоне низкого вакуума.

5 Формула изобретения

Терморезйсторный, датчик давления, содержащий корпус, манометрический преобразователь с терморезистором в виде нити, закрепленной между двумя стойками, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности в диапазоне низкого вакуума, он снабжен сильфоном, подвижным коромыслом с опорой, проволочной тягой и пружиной, причем сильфон установлен на основании корпуса и сообщен своей внутренней полостью с измеряемой средой, подвижное короья 1сло с плечу 30 опорой установлены на основании корпуса во внутренней полости сильфона, стойки смонтированы по краям плеч коромысла, которое со единено проволочной тягой с крьпикой сильфонаj а пружиной - с опорой.

20

35

Посредством штуцера 6 датчик устанавливается на объекте измерения и его полость сообщает внутреннюю полость сильфона с измеряемой средой. При увеличении давления увеличивается теплоотдача с нити 3 за счет повьппе- ния теплопроводности газа и за счет отклонения нити терморезистора 3 от вертикали, что повьппает теплоотдачу путем конвекции и повьппает, тем самым, чувствительность в диапазоне низкого вакуума.

Изобретение может быть использовано для измерений давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения. На основании 2 : датчика установлен сильфон 5, внутри которого размещено коромысло 7 с опорой 8. К одному плечу коромысла 7 прикреплены проволочная тяга 9 и пружина 10. Нить 3 терморезистора закреплена между стойками А, смонтированными по краям плеч коромысла 7. Штуцер 6 сообщает внутреннюю полость сильфона 5 с измеряемой средой. Увеличение теплоотдачи нити 3 при возрастании давления приводит к повышению чувствительности датчика в диапазоне низкого вакуума. 1 ил.