Теплоэлектрический вакуумметр Советский патент 1988 года по МПК G01L21/12 

(/)

величину. При понижении измеряемого давления температура терморезисторов 3 и 6 увеличивается от уменьшения теплоотдачи вследствие уменьшеггая плотности газовой среды и увеличения перекрытия терморезистора 6 терморезистором 3 в результате сжатия силь- фона. Увеличение температуры терморе зисторов 3 и 6 приводит к увеличению их сопротивления и появляется разба ланс моста, являющийся функцией давления.

Изобретение относится к вакуумной макометрии, в частности к теплоэлек- трическим вакуумметрам, и может быть использовано для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

На фиг. 1 показана конструкция JQ треплоэлектрического вакуумметра; на 4иг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. i Вакуумметр состоит из корпуса-шту- liepa 1 с закрепленными на нем четырьjjw токоизолированными опорами 2, на is Формула изобретения йоторых намотан в виде спирали термо- 1 езистор 3, сильфонной коробки 4 с Закрепленными на ней двумя токоизоли- 1 ованными опорами 5, на которых намо- Фан в виде второй спирали терморезис- 20 ментом и размещенный в ней проволоч- top 6. Терморезисторы 3 и 6 включены ный терморезистор, отличаю- $ противоположные плечи мостовой измерительной цепи, два другие плеча обра- | ованы постоянными рёзистбрами. . 25

: Предлагаемое устройство работает ледунлцим образом, i С помощью постоянного резистора фалансируют мостовую схему. Сильфон

ри этом находится в свободном состо- 30 вторая - на дне сильфона, при этом йнии, т.е. терморезистор 3 перекрыва- обе спирали включены в противополож- ёт терморезистор 6 на незначительную ные плечи моста.

Теплоэлектрический вакуумметр содержапщй корпус с приемной полостью, ограниченной чувствительным элещ и и с я тем, что, с целью повышения точности, чувствительный элемент выполнен в виде сильфона, а проволочный терморезистор выполнен в виде двух соосно размещенных с возможностью перекрытия БИНТОВЫХ спиралей разного диаметра, причем одна из спиралей закреплена торцом на корпусе, а

величину. При понижении измеряемого давления температура терморезисторов 3 и 6 увеличивается от уменьшения теплоотдачи вследствие уменьшеггая плотности газовой среды и увеличения перекрытия терморезистора 6 терморезистором 3 в результате сжатия силь- фона. Увеличение температуры терморезисторов 3 и 6 приводит к увеличению их сопротивления и появляется разбаланс моста, являющийся функцией давления.

Формула изобретения ментом и размещенный в ней проволоч- ный терморезистор, отличаю-

Теплоэлектрический вакуумметр содержапщй корпус с приемной полостью, ограниченной чувствительным элеФормула изобретения ментом и размещенный в ней проволоч- ный терморезистор, отличаю-

вторая - на дне сильфона, при этом обе спирали включены в противополож- ные плечи моста.

щ и и с я тем, что, с целью повышения точности, чувствительный элемент выполнен в виде сильфона, а проволочный терморезистор выполнен в виде двух соосно размещенных с возможностью перекрытия БИНТОВЫХ спиралей разного диаметра, причем одна из спиралей закреплена торцом на корпусе, а

Изобретение относится к вакуумной манометрии и м.б. использовано для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения и позволяет повысить точность устр-ва. Чувствительный элемент вакуумметра выполнен в виде силь- фона 4, на дне которого закреплена торцом одна из винтовых спиралей терморезистора. Другая спираль закреплена на корпусе 1. Спирали разного диаметра, соосно размещенные с возможностью перекрытия, включены в противоположные плечи моста. Изменение измеряемого давления вызьшает изменение т-ры терморезисторов 3, приводящее к р азбалансу моста. 2 ил.

Фиа 2

ВНИИДИ Заказ 4319/44

Произв.-полигр. пр-тие,-г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Тираж 847

Подписное