Способ определения разнотолщинности пленки Советский патент 1988 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистив- ных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки.

Целью изобретения является повышение точности.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит источник 1 света, конденсор 2, светофильтр 3, линейный по-

ляризатор 4, фазовую пластину 5 , анализатор б, светофильтр 7, координатную сетку 8 с постоянным щагом и пленку 9.

Способ реализуют следующим образом.

Свет от источника 1 проходит через кон- денсбр 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на исследуемую пленку 9. Отражаясь от исследуемой пленки 9, линейно поляризованный свет изменяет свои параметры и в общем случае превращается в эллиптически поляризованный свет, азимут которого отличается от азимута, падающего на пленку 9 линейно поляризованного света, проходит через фазовую пластину 5, анализатор 6 и светофильтр 7.

Изменяют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6, расположенных в падающем и отраженном свете при неизменном положении фазовой пластины 5, и получают минимальную («нуле- вую) интенсивность наблюдаемого глазом поляризованного света. Если пленка разно- толщинная, минимальная интенсивность достигается только на тех участках, где толщина пленки одинакова. Остальные участки светлее. Таким образом, получают визуально наблюдаемые изображения темных и светлых участков пленки.

Визуально оценивают равномерность пленки и выбирают характерные точки для исследования (количество точек определяет- ся характером наблюдаемой картины и задачей на проведение исследований). Для выбранной точки, например, на темном участке с помощью координатной сетки 8 находят координаты точки х, у, по которым, поль- зуясь полученными заранее исходя из формулы Д0 f(x,yj) номограммами, опреде

0

5

5

0

0 с

5

ляют поправку к углу наблюдения по зависимости

А0 ±arctg ,

где L-расстояние от характерной точки до входного зрачка устройства.

Изменением азимутов анализатора и поляризатора 4 для данной точки настраивают устройство на минимальную интенсивность до тех пор, пока светлые участки не станут темными. Определяют параметры поляризованного света, по ним с учетом поправки к углу наблюдения для вновь выбранной точки находят толщину планки.

По разности полученных значений толщин пленки в выбранных точках определяют разнотолщинность пленки.

Формула изобретения

Способ определения разнотолщинности пленки, заключающийся в том, что направляют на поверхность пленки параллельный поляризованный пучок монохроматического света, изменяют параметры поляризованного пучка света до получения визуально наблюдаемых изображений темных и светлых участков и определяют толщину пленки в разных местах, по разности которых судят о разнотолщинности пленки, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности, производят выбор нескольких характерных точек на пленке, определяют их координаты с. помощью прямоугольной координатной сетки с постоянным щагом, по номограммам зависимости

A0 f(,

где д 0- поправка к углу характерных точек;

х, у--координаты характерных точек, определяют поправку к углу наблюдения по зависимости

,1/7 4.V

Л0 ±arctg- --- -ь-,

LA

где L- расстояние от характерной точки до

выходного зрачка устройства, а определение разнотолщинности пленки производят с учетом поправки к углу наблюдения.

Изобретение относится к измерительной технике и 1иожет быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистив- ных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой, из.меняет свои параметры, проходит через фазовую пластину 5 т, анализатор 6 и светофильтр 7. Изменяют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6 и получают минимальную интенсивность света. Визуально оценивают равномерность пленки, выбирают характерные точки и с помощью сетки 8 находят их координаты, по которым строят номограммы. С их по.мощью определяют поправки к углу наблюдения. Вновь из.меняют ази.муты поляризации и повторно определяют толщины с учетом поправок к углу наблюдения. По разности полученных значений толщин пленок в выбранных точках определяют разнотолщинность пленки. 1 ил. (Л 4 Ю 05