Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 

//////////

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которьпс i- u направляют на плоский поляризатор 5, затем - на вторую четвертьволновую . пластину 6, после выхода из которой его направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом, которое и возвращает излучение на . вторую четвертьволновую пластину 6. На выходе из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало 3, минуя первую четвертьволновую пластину 4, он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении. На светоделителе 2 происходит совмещение двух световых потоков, а величина перемещения может быть определена методом счета интерференционных полос. 1 ил. О) tu tc bi u со СП

7

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, отража- тельный блок, выполненньй Состоящим из последовательно установленных и ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала 3, I первой четвертьволновой пластины 4, I плоского поляризатора 5, второй четвертьволновой пластины 6, второго плоского зеркала 7,. которое установлено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучеIHHIO от источника 1 излучения, вторая : четвертьволновая пластина 6 и первое :плоское зеркало 3 смещены относитель- но плоского поляризатора 5, а вторая :четвертьволновая пластина 6 и второе Iплоское зеркало 7 смещены друг относительно друга, фотоприемник 8, уста- ;новленный в одном из потоков от свето ; делителя 2,

Интерферометр работает следуЕощим образом,

.Излучение от источника 1 излучения диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два взаимно-перпендикулярных потока. Один поток направляют на вторую четвертьволновую пластину 6, которая сообщает ему циркулярную поляризацию. После выхода из второй четвертьволновой пластины 6 излучение направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемо с объектом (на чертеже не показан)j которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую лластину 6, в которой циркулярно поляризованному излучению сообщают линейную ортогональную поляризацию, в связи с чем

плоский

поляризатор 5 -о(,

Интерферометр для измерени ных перемещений объекта, соде источник излучения,светоделит щий излучение от источника на д ка, отражательный блок и фото ник, установленный в одном из ков от светоделителя, отл щийся тем, что, с целью шения точности измерения, отр ный блок вьтолнен из последов установленных и ориентированн параллельно друг другу первог кого зеркала, первой четверть вой пластины, плоского поляри второй четвертьволновой пласт второго плоского зеркала, кот установлено с возможностью пе ния в направлении, перпендику излучению от источника, втора вертьволновая пластина и перв кое зеркало смещены относител плоского поляризатора, а втор вертьволновая пластина и втор плоское зеркало смещены друг тельно друга.

отклоняет излучение на угол 90 - оС , где оС - угол

Составитель Н.Захаренко Редактор Л.Зайцева Техред М.Дидык . Корректор М.Демчик

Заказ 4756/35 Тираж 680Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д, 4/5

с

s 0

5

0

5

0

45

преломления луча в поляризаторе. На вькоде из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, которая сообщает ему линейную ортогональную поляризацию. Последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало, минуя первую четвертьволновую пластину 4, в связи с чем он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении. На светоделителе 2 происходит пространственное совмещение потока, отраженного от .отражающей грани светоделителя 2, и потока, отражаемого от отражательного блока. На фотоприем- ник 8 поступает интерферирующее излу- чение, а измерение величины перемещения может осуществляться методом счета интерференционных полос.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта, содержащий источник излучения,светоделитель,делящий излучение от источника на два потока, отражательный блок и фотоприемник, установленный в одном из потоков от светоделителя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, отражательный блок вьтолнен из последовательно установленных и ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала, первой четвертьволновой пластины, плоского поляризатора,, второй четвертьволновой пластины и второго плоского зеркала, которое установлено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, вторая четвертьволновая пластина и первое плоское зеркало смещены относительно плоского поляризатора, а вторая четвертьволновая пластина и второе плоское зеркало смещены друг относительно друга.