Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 

D

1C СЛ

4 00

Изобретение относится к интерференционным измерениям линейных перемещений. Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отра жающее покрытие светоделителя 2, а другой - на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражения его от боковой грани поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе из него - на четвертьволновую пластину 7, затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляризацию. Указанный поток направляют на двоякопреломпяю- щий кристалл В, который отклоняет его на основание трехгранного уголкового отражателя 3 и т.д. Далее поток проходит по тому Же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину перемещения. 1 ил. (Л

Изобретение относится к интерфе- ренционным измерениям линейных перемещений .

Цель изобретения - повышение точности измерения.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 и|злучения, светоделитель 2 в виде Kk76-npH3Mbi с зеркальным покрытием I грани I-I, противоположной источнику 1| излучения, делящий излучение на два потока, трехгранный уголковый отражатель 3 с отражающим покрытием 4 в сече- кии со стороны вершины, параллельном (Основанию, отражатель 5, состоящий из фследовательно установленных плоско- rjo зеркала 6, четвертьволновой пласти- 7, двоякопреломляющего кристал- 8 и ориентированных параллель- нр друг другу и основанию трехгран- н0го уголкового отражателя 3, отража 5 установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от светоделителя 2 со смещением относительно трехгранного уголкового от- рджателя 3 и фотоприемник 9, установленный в другом потоке от светодели- тЬля 2.

I Интерферометр работает следующим образом.

I Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из кото направляют на отражающее покры- светоделителя 2, а другой - на т|)ехгранный уголковый отражатель 3, отражения от его боковой грани потока направляют на двоякопреломляю щий кристалл 8, а на выходе из него на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему циркулярную поляризацию, а затем на плоское зеркало 6, после которого поток поцадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную лоляриза- щпо. Указанный поток направляют на , двоякопреломляющий кристалл 8, кото

Редактор Л.Зайцева

Составитель Н. Техред М. Дидык

Q 5 0 5 0

5

Н. к

рый отклоняет его на угол (90 -oi), где аС - угол преломления потока, в двоякопреломляющем кристалле Вив свою очередь направляет на основание трехгранного уголкового отражателя 3 и т.д. Поток, отраженньй от покрытия 4, направляют на двоякопреломляющий кристалл 8 по тому же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину перемещения. Величина перемещения определяется либо способом счета интерференционных полос, либо способом нулей функции Бесселя.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта, содержащий источник излучения, светоделитель, делящий излучение от источника на два потока, два отражателя, один из которых выполнен в виде трехгранного уголкового отражателя с отражающим покрытием в сечении со стороны верщи- ны, параллельном основанию, второй установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от светоделителя в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фотоприем- иик, установленный в другом потоке, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен последовательно расположенными четвертьволновой пластиной и двояко- преломляющим кристаллом, второй от- .

ражатель выполнен в виде плоского зеркала, четвертьволновая пластина н двоякопреломляющий кристалл ориентированы параллельно друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя, а второй отражатель, четвертьволновая пластина и двояко- преломляющий кристалл смещены относительно трехгранного уголкового отражателя . I Захаренко

Корректор Л.Патай