Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов Советский патент 1988 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

(Л

ни

to

Oi

со

контролируемой поверхности. Таким образом, контроль выпуклых параболо- :ндов с центральной рабочей зоной становится возможным проводить за один прием, исключив дополнительную и менее точную операцию контроля цент- ,рапьной зоны с помощью пробного стекла. Интерферометр содержит источник 1 :монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5, двойное плоское зеркало 6, второй светоделитель 10, входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины, экран 11, афо- кальнуш систему, состоящую из линзовых компонентов 7 и 8. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении. Цель изобретения - расширение диапа зона контралируе и х поверхностей, вышение точности и производительности контроля благодаря тому, -что оптическая система позволяет направить в рабочую ветвь интерферометра световой пучок, отраженный всеми зонами

i 1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттес- (тационного контроля выпукльк парабо- 1повдов в оптическом приборостроении.

Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производитель-, ности контроля благодаря тому, что ;световой пучок рабочей ветви направ- |ляется на контролируемую поверхность (пинзовым компонентом афокальной сис- ;темы, фокус которого совмещен с Й окусом поверхности. Это позволяет полностью осветить контролируемую поверхность и направить отраженньй все йи зонами контролируемой поверхности параллельный пучок в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность Контролировать выпуклые Цараболоиды с нерабочей, так и рабочей цент- ральной зоной, а также благодаря ому, что поверхность контролируется за один прием, что позволяет исключить дополнительную менее точную операцию контроля центральной рабочей зоны с помощью сферического пробного стекла.

На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов содержит источник 1 монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу из лучения фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5 для разделения излучения на две ветви - опорную и рабочую эталонное, зеркало, располохсенное в опорной ветви и выполненное в виде двойного зеркала 6, состоящего из

плоских зеркал, расположенных под углом 90 друг к другуJ оптическую систему, выполненную афокальной и состоящую из двух полокительньк линзовых компонентов 7 и 8, расположенных по разные стороны светодетителя 5,- систему (не чертеже не показана) регистрации интерференционной ка:рти- ны, включающую входной объектив 9,

второй светоделитель 10, экран 11.

Интерферометр работает следующим образом.

Свет от источника 1 монохроматического излучения фокусирующей оптической системой 2 направляется в диафрагму 3, установленную в фокусе объектива 4. Параллельный пучок, сформированный объективом 4 с помощью светоделителя 5, делится на

опорную и рабочую ветви. Параллельный пучок опорной ветви, отраженный двойным зеркалом 6, с помощью второго светоделителя. 10 направляется во входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины. Па- рйллельный пучок рабочей ветви проходит линзовый компонент 7 и направляется на контролируемую деталь 12 с выпуклой параболической поверхностью. Фокус параболической поверхности совмещают с фокусом F линзового компонента 7, а оптическую ось параболической поверхности - с оптиче с кой осью афокальной системы.

Отраженный от параболической поверхности параллельный пучок проходит афокальную систему и, пройдя светоделитель 10, попадает во входной объектив 9. Интерференционную картину, возникающую в результате взаимодействия рабочего и опорного пучков

наблюдают непосредственно глазом из фокуса Fj или на экране 11.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую систему, диафрагму, объектив, расположенный так, что его фокус совмещен с диафрагмой, и первый светоделитель для разделения излучения на две вет- ви - спорную и рабочую, эталонное зеркало, расположенное в опорной ветви, оптическую систему, расположенную в рабочей ветви, и систему регистрации интерференционной картины, включающую входной объектив, отличающийся тем, что, с целью

расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения точности и производительности контроля, о.н снабжен вторым светоделителем, установ ленным между оптической системой par- бочей ветви и входным объективом параллельно первому светоделителю, оптическая система рабочей ветви выполнена афокальной, состоит из двух положительных линзовых компонентов, расположенных по разные стороны первого светоделителяj и установлена так, что оптическая ось системы совмещена с оптической осью входного объектива, а этялонное зеркало выполнено в виде двойного зеркала, состоящего из плоских зеркал, расположенных под углом 90° друг к другу, и установленного так, что оптическая ось опорной ветви совмещена с оптической осью входного объектива.