Устройство для СВЧ-размерометрии Советский патент 1988 года по МПК G01B15/02 

№U223037. кл.

3/02,

Изобрегенке относится к :.-:ямери- тельной технике и может быть использовано для измерения малых лт-гнейкь х размеров. Поставленная целью - повышение точности измерения - достигается за счет увелг-гчекия крутизны характеристики преобразования и ее линеа- ризацнк на концах измерительного интервала за счет включения в ,епь антенны направленного ответвителя if организации цепей обработкой связи генератора и фазовращателя, з.п, ф-ль, 1 ил,

to i Л;

t

L

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения малых линейных размеров,

Цель изобретения - повьпцение точности измерения за счет увеличения крутизны характеристики и ее лннеа-- ризации на концах измерительного интервала.

На чертеже нриведена блок-схема устройства для СВЧ-размерометрии.

Устройство для СВЧ-размерометрии содержит последовательно соединенные СВЧ-генератор 1, фазовращатель 2, направленный ответвитель 3 и антенну 4, частотно-избирательный элемент 5, вход которого подключен к -плечу с малым затуханием для падающей волны вторичной линии направленного ответ- вителя 3, и детектор 6 электромагнитных колебаний, вход которого соеди- п.еп с выходом частотно-избирательног элемента 5, а выходы - с управляющими входами генератора 1 м фазовра - щателя 2.

Устройство работает след пощим образом,

Излученная и принятая после отражения от объекта контроля антенной i электромагнитная волна подводится через первичную линию направленного ответвителя (МО) 3, фазовращатель 2 i: выходу СВЧ-генератора 1 и воздействует на его внутреннюю резона -сную систему. При изменении линейных размеров контролируемого объекта происходит изменение частоты СВч-гекера- тора, пропорциональное моцугао и фазе коэфс1)идиента отражения электромагн ной волны (эффект затягиваш- я частоты). Это изменение фикс1- ;руетс.ч

0

тот)1О-избирательнь; ч ()м Ь, который включен В(.1 вторичную линию НО 3 в плечо с мальс.1 затуханисгм для падающей воли.ы. Сигна; с частотт{о-и - бирательного элемента поступа т на. детектор 6 электромагнитных колеба - шй, с выходов 1-:отсрого подается на управляющие входь: СВЧ-генератора i и фазовращателя 2, обеспечивая увеличение крутизны изменения частоты и компенсацию фазы отраженной всзлны. Величина сигнала на выходе детектора 6 взаимно однознаЧ1 ос соответствие

tl о р

контролируемьи размером . м у л а изо б р е т е

и и я

0

«

5

0

5

W

X