Способ контроля надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем Советский патент 1988 года по МПК G01R31/28 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использован при контроле на надежность полупроводниковых приборов (ПП) и интеграль ных схем (ИС).

Цель изобретения - повышение достверности контроля за счет устранения необходимости измерения длительности сложных переходных процессов.

На фиг. 1 приведена структурная схема устройства для осуществления способа; на фиг. 2 - временные диаграммы, поясняющие последовательность осуществления способа.

Устройство для осуп(ествления способа содержит задающий генератор 1, формирователь 2.испытательных импульсов с регулируемой крутизной фронта и спада, объект 3 контроля, измери- тель 4 длительности переходного процесса, блок 5 вьфавнивания амплитуд и вычитания сигналов, коммутаторы 6 и 7 и интегрирующие вольтметры 8 и 9 среднеквадратичных значений.

Выход генератора 1 соединен с первыми входами коммутаторов 6 и 7 и через формирователь 2 с первым входом блока 5 и первым входом объекта контроля 3. Выход объекта контроля 3 соединен с входом измерителя 4 и вторым входом блока 5, выход которого соединен с вторыми входами коммутаторов 6 и 7.

Выходы коммутаторов 6 и 7 соединены соответственно с входами вольт- метров 8 и 9.

Способ осуществляется следующим образо.

Подают импульсы задающего генера- тора 1 на вход формирователя 2. Ус- танавливают требуемую амплитуду испытательных импульсов на выходе формирователя 2 и подают их на объект 3 контроля. Блок 5 выравнивает сигналы переходного процесса и испытательных импульсов и вычитает, т.е. осуществляется вьщеление реактивных составляющих переходных процессов. Разделение сигналов реактивных составляю- щих переходных процессов, соответствующих фронту и спаду испытательных импульсов напряжения питания, осуществляется коммутаторами 6 и 7. При этом значения показаний вольтметров 8 и 9 (и, и и) соответствуют значениям реактивной мощности при фронте (Р,) и спаде (Р) импульса. Раздельно измейяя крутизну фронта и

спада испытательных импульсов, добиваются минимума показаний вольтметров 8 и 9 и длительности фронта и спада, соответствующие данным показаниям.

По полученным данным рассчитывается величина модуля разности работ по формуле:

. /Ua,jjH Тг - UiMMH Ti /

я - , -

где и,, и, показания вольтметров.

8 и 9,

К - масштабный коэффициент. По полученному значению параметра А судят о надежности объекта контроля, причем чем больше значение величины А, тем меньшей надежностью обладает объект контроля.

Формула изобретения

Способ контроля надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем, заключающийся в том, что подают и снимают напряжения питания на объект контроля, измеряют длительности соответствующих переходных процессов, отличающий с я тем, что, с целью повьш1ения достоверности контроля, измеряют реактивные составляющие мощности переходных процессов Р, и Р при прохождени соответственно возрастающего и спадающего фронтов напряжения питания, изменяют раздельно возрастающий и спадающий фронты напряжения питания до получения минимальных значений Р и Р, фиксируют значения Т и Т длительностей переходньсх процессов минимальных значений Р, и Р соответственно, а о надежности объекта контроля судят по величине, вычисляемой по формуле

А /Р

2 /мин

2

де IMMH измеренные минимальные мощности пере- ходных процессов при нарастающем и спадающем фронтах напряжения питания соответственно;

Т, , Т --длительности переходных процессов, соответствующих зна- чениям Р, .

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к контролю полупроводниковых приборов (ПП) и интегральных схем (ИС). Цель изобретения - повьшение достоверности контроля надежности ПП и ИС. При подаче на ПП или ИС напряжения питания измеряют реактивные составляющие мощности переходных процессов Р, и Р, , соответствующие фронту и спаду импульса напряжения питания. Раздельно изменяя крутизну фронта и спада, добиваются минимальных значений величин мин 2 мин фиксируют длительности переходных процессов Т и Т, соответствующие этим значениям. Вычисляют величины работы А и А, необходимые для изменения параметров структуры ПП и ИС, .соответственно для фронта и спада напряжения питания по фор- мулам.А, Р| Т и Aj РаТ. О надежности Ш1 и ИС судят по величине модуля разности А /A-i А,/. 2 ил. (Л

(риг1

ч/

(риг2

Редактор Л. Пчолинская

Составитель В. Савинов

Техред Л.Олийнык Корректор М. Шароши

Заказ 5341/49

Тираж 772

ВПИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Л/

Подписное