СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ КОМПОЗИЦИИ Советский патент 1995 года по МПК H01B1/02 

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам изготовления электропроводящих композиций для пpоводников толстопленочных микросхем, может быть применено в приборостроительной промышленности и радио- и электронной технике.

Цель изобретения повышение производительности процесса изготовления электропроводящей композиции и повышение выхода годных изделий.

П р и м е р. Порошок серебра получают восстановлением 513,6 мас. водного раствора азотнокислого серебра, содержащего 102,7 мас. соли, муравьинокислым натрием в количестве 40,8 мас. в присутствии 30,8 мас. кислого углекислого натрия. Порошок серебра промывают водой и сушат при 70-80^оС до постоянного веса. Модифицирование 64,2 мас. порошка серебра и его полирование проводят в 1,5%-ном спиртовом растворе олеиновой кислоты в планетарной мельнице в течение 1 ч с применением стальных шаров 1,0 мм. Объем заполнения барабана 3/4, скорость вращения 200 об/мин, соотношение жидкой и твердой фаз 1:1,13, отношение массы порошка к массе шаров 1:3. Далее 64,2 мас. полученного порошкообразного чешуйчатого серебра с размером частиц 0,5-5 мкм, модифицированного олеиновой кислотой, в количестве 0,05-0,15 мас. на 100 мас. серебра смешивают с 9,6 мас. фенолформальдегидной смолы, модифицированной канифолью, в массовом соотношении 3:1, аэросилом 0,71 мас. аэросила 3,8 мас. эпоксидной смолы и 20,0 мас. растворителя (н-бензилового спирта).

Были проведены еще два примера изготовления электропроводящей композиции, отличающиеся от примера 1 лишь концентрацией спиртового раствора олеиновой кислоты и временем полирования и модифицирования в планетарной мельнице. Раствор олеиновой кислоты Время, ч
П р и м е р 2 0,75%-ный 1,5
П р и м е р 3 0,5%-ный 2
Свойства полученной электропpоводящей композиции приведены в таблице.

Как видно из таблицы, удельное сопротивление получаемой проводниковой пленки значительно ниже, чем у прототипа и составляет (0,4-0,8)х10^-5 Ом^.см. Это позволяет увеличить выход годных до 80% У прототипа он составляет 50% При этом значительно возрастает производительность процесса.

Изобретение относится к микроэлектронике, к способам получения электропроводящих композиций для толстопленочных микросхем. Цель изобретения снижение удельного сопротивления проводниковой пленки. 64,2 г свежеприготовленного порошка серебра размалывают в планетарной мельнице в присутствии 1,5% -ного спиртового раствора олеиновой кислоты в течение 1 ч. Размолотое серебро с размером частиц 0,5 5 мкм смешивают с 9,6 г фенолформальдегидной смолы, модифицированной канифолью, в соотношении 3 1, 0,71 г аэросила, 3,8 г эпоксидной смолы, 20,0 г н-бензилового спирта и наносят на подложку обычным способом. После сушки получают проводящее покрытие с удельным сопротивлением 0,58·10^-5Ом·см 1 табл.

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ КОМПОЗИЦИИ, при котором получают порошкообразное серебро, полируют и модифицируют его в присутствии олеиновой кислоты и смешивают с полимерным связующим и растворителем, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных изделий путем снижения удельного сопротивления проводниковой пленки, полученной на ее основе, и повышения производительности процеса, полирование и модифицирование порошкообразного серебра осуществляют в планетарной мельнице в течение 1 2 ч.