14;
О9 -Ч
00
00
Изобретение относится к магнитометрии, касается техники измерения параметров магнитных материалов в микроэлектронике, а именно для измерения напряжения поля коллапса цилиндрических магнитных доменов (1Щ1) в эпитаксиальных феррит-гранатовых пленках, и может быть использовано в производстве микросхем на 11Щ для входного контроля материалов, а также для научных исследований.
Цель изобретения - упрощение и повышение чувствительности измерений.
гированного света и выполнен в виде диска. Размещен экран на растяжках в центральной части зеркала 5 соосно с ним. Устройство регулирования и измерения поля, а также канал обработки сигнала фотоприемника на чертеже не показаны. Работа по измерению напряженности поля коллапса ЦМД заключается в следующем.
Контролируемый образец доменосо- держащей пленки 8 помещают в магнитную систему 4. Свет лазера 1, поляризованный поляризатором 2, пронизывает
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ контроля периода доменной структуры феррит-гранатовых пленок | 1990 |
|
SU1714679A1 |
| Устройство для визуализации и топографирования пространственно-неоднородного магнитного поля | 1991 |
|
SU1813217A3 |
| Устройство для контроля неоднородных магнитных полей миниатюрных постоянных магнитов | 1982 |
|
SU1072095A1 |
| Устройство для измерения магнитных полей | 1986 |
|
SU1420559A1 |
| Устройство для измерения напряженности поля коллапса субмикронных цилиндрических магнитных доменов | 1983 |
|
SU1148011A1 |
| Способ измерения напряженности поля рабочего зазора магнитной головки и устройство для его осуществления | 1975 |
|
SU532126A1 |
| ЛАЗЕРНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП | 2005 |
|
RU2285279C1 |
| Способ контроля температуры | 1988 |
|
SU1717976A1 |
| Устройство для измерения периода доменной структуры тонких магнитных пленок | 1982 |
|
SU1076846A1 |
| Способ Рандошкина В.В. измерения скорости доменных стенок в магнитоодноосной доменосодержащей пленке | 1987 |
|
SU1788523A1 |
Изобретение относится к- области микроэлектроники. Устройство для измерения напряженности поля коллапса цилиндрических магнитных доменов содержит источник поля поляризованного света,в виде лазера 1, поляризаторы 2, 3, непрозрачный экран 6, магнитную систему 4, пространственный фильтр в виде эллипсоидального зеркала 5, состоящего из двух частей с границей рйздела, проходящей через малую ось эллипса и перпендикулярной его большой оси, и служащего для сбора диф- фрагирующих лучей на чувствительной поверхности фотоприемника 7. При этом один из фокусов эллипсоидального зеркала 5 совмещен с плоскостью пленки 8 в точке выхода лучей лазера Q 1, а другой фокус - с чувствительной поверхностью фотоприемника 7. Устройство высокочувствительно. 1 ил. (Л
На чертеже показана функциональная пленку и из-за наличия в ней ЦМД диф
схема устройства.
Устройство содержит установленные соосно источник света в виде лазера 1, поляризаторы света 2 и 3, магнитную систему 4, эллипсоидное зеркало 5, непрозрачный экран б и фотоприем-- ник 7.
I
Для облегчения изготовления зеркало состоит из двух частей с границей раздела, проходящей через малую ось эллипса и перпендикулярной большой оси.
Поляризаторы 2 и 3 установлены так, что плоскости поляризации прохо- дящего света пересекаются по оси устройства и повернуты на угол 90 друг относительно друга. Между поляризаторами в магнитную систему помещена контролируемая доменосодержащая пленка 8, Магнитная система А содержит пару катущек, обеспечивающих в зоне контролируемого образца нормальное поле , достаточное для коллапса ЦМД в пленке. Зеркало 5 служит для сбора диффрагирующих лучей ка чувствительной поверхности фотоприемника 7, Для упрощения изготовления и монтажа зеркала его части за пределами фокальных плоскостей удалены, Один из фокусов зеркала 5 совмещен с плос костью пленки 8 в точке выхода лучей лазера 1, а в области другого зеркал помещен фотоприемник 7. Экран 6 служит для надежного перекрытия недефра
,
едактор Л.Пчелинская
Составитель А.Романов Техред Л.Сердюкова
Ус женно магни чески источ поляр стран экран ю 01 е щения измер выпол кала, танов из фо лучей с чув прием t-20
25
зо35
40
45
.Романов юкова
рагирует, а затем собранный эллиптическим зеркалом 5 фокусируется в нижнем (по чертежу) фокусе, попадая на фотоприемник 7. Недифрагированньш пучок света перекрывается экраном 6 и не попадает на фотоприемник. При увеличении поля в магнитной системе сигнал с фотоприемника скачкообразно уменьшается в момент исчезновения дифракции из-за коллапса ЦМД. Зафиксированная в этот момент величина поля в зоне расположения образца численно равна полю коллапса ЦМД для контролируемой пленки.
Формула изобретения
Устройство для измерения напряженности поля коллапса цилиндрических магнитных доменов, содержащее оптически последовательно расположенные источник поля поляризованного света, поляризатор, магнитную систему, пространственный фильтр, непрозрачный экран и фотоприемник, о т л и ч а - ю 01 е е с я тем, что, с целью упро-. щения и повышения чувствительности измерений, пространственный фильтр выполнен в виде эллипсоидального зеркала, состоящего из двух частей и установленного при coвмeп eнии одного из фокусов зеркала с точкой выхода лучей из пленки, а другого фокуса - с чувствительной поверхностью фото - приемника. t-Корректор Л.Пилипенко
