Устройство для контроля состояния поверхности Советский патент 1988 года по МПК G01B11/30 

Описание патента на изобретение SU1441194A1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования и контроля состояния поверхностей оптических узлов изделий в условиях их эксплуатации, например внешних поверхностей

иллюминатдров.

Целью изобретения является повышение точности измерения поверхност- ных дефектов и повышение производительности контроля.

Пеставленная цель достигается тем что в устройстве используется пространственная фильтрация.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства.

Устройство содержит оптически. связанные лазер I, первую оптическую систему 2, вторую оптическую.систему 3, пространственный фильтр 4, сканирующую систему, выполненнздо в виде оптически связанных последовательно расположенных зеркала 5, зеркальной призмы 6 и светоделительной пластины 7, устанавливаемой под углом 45 к контролируемой.поверхности, и эталонного зеркала 8, фотоприемное устройство 9, Пространственный фильтр 4 выполнен в.виде плоского зеркала с отверстием, расположенным в конфокальной точке первой 2 и второй 3 оптических систем. Зеркальная призма 6 и светоделительная пластина 7 и эталонное зеркало 8 имеют возможность перемещения в плоскости, параллельной контролируемой поверхности, таким образом, что величина шага перемещения зеркальной призмы 6 была бы в два раза меньше шага перемещения светоделительной пластины 7 и эталонного зеркала 8.

Устройство для контроля состояния поверхности работает следздащим образом.

Свет от лазера 1 проходит через первую 2 и вторую 3 оптические системы с общим фокусом.. При этом пространственный фильтр 4 пропускает основную часть освещенного пучка, сфокусированного первой оптической системой 2 в отверстие в зеркале, и в то же время позволяет устранить высокочастотные шумы пучка. Паралг лельный световой пучок, сформированный второй оптической системой 3, проходит через сканирую1я;ую систему, последовательно отражаясь от неподвижного зеркала 5 подвижной зеркаль

5

0

5

0

5

0

5

0

5

ной призмы 6 и расщепляясь светоде-- лительной пластиной 7 на два пучка, один из которых падает на: эталонное зеркало 8 и, отражаясь от него, образует эталонный пучок, а другой падает на контролируемую поверхность, 10.

Свет, зеркально отраженный контролируемой поверхностью 10, -опять проходит через сканирующую систему, фокусируется второй оптической системой 3 в отверстие пространственного фильтра 4 и далее не используется. Свет-, рассеянный на дефектах, пройдя через сканирующую систему, не фокусируется второй оптической системой 3 в отверстие пространственного фильтра 4, а, отразившись от его зеркальной поверхности, попадает на фотоприемное устройство 9, где формируется контрастное изображение дефектов поверхносш и картина интерференции эталонного пучка и пучка, отра-. женного контролируемой поверхностью, в которой смещение полос дает информацию о параметрах дефектов.

Формула изобретения Устройство для контроля состояния поверхности, содержащее последовательно установленные лазер, первую опти- 4ecKjno систему, вторую оптическую систему, сканирующую систему, зеркало и фотоприемный блок, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения поверхностных дефектов и повьшения производительности контроля, оно.снабжено пространственным фильтром, выполненным в виде зеркала с отверстием и установленным в конфокальной точке первой и второй оптических систем, сканирующая система выполнена в виде последовательно расположенных по ходу излучения зеркала, зеркальной призмы, светоделительной пластины, установленной под углом 45 к контролируемой поверхности, и эталонного зеркала с возможностью поворота системы вокруг оптической оси второй оптической системы, все элементы сканирующей системы имеют возможность перемещения в плоскости, па- раллельной контролируемой поверхности, с величиной шага перемещения зеркальной призмы в два раза меньше шага перемещения светоделительной пластины и эталонного зеркала.

Похожие патенты SU1441194A1

название год авторы номер документа
ЛАЗЕРНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП 2005
  • Валейко Михаил Валентинович
  • Шатров Яков Тимофеевич
  • Чалкин Станислав Филиппович
RU2285279C1
РЕФЛЕКТОМЕТР НА ОСНОВЕ МНОГОХОДОВОЙ ОПТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ 2005
  • Борейшо Анатолий Сергеевич
  • Маламед Евгений Рафаилович
  • Морозов Алексей Владимирович
  • Путилов Игорь Евгеньевич
  • Савин Андрей Валерьевич
  • Тарасова Татьяна Евгеньевна
RU2281476C1
ИНТЕРФЕРОМЕТР С ОБРАТНОКРУГОВЫМ ХОДОМ ЛУЧЕЙ 1986
  • Серегин А.Г.
  • Духопел И.И.
  • Долик И.В.
  • Жданова Л.А.
  • Ефимов В.К.
  • Ельницкая Л.С.
  • Константиновская Н.В.
  • Тульева Т.Н.
  • Сидоров В.И.
  • Федина Л.Г.
SU1383969A1
ОПТОВОЛОКОННЫЙ КОНФОКАЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП 2019
  • Шульгин Владимир Алексеевич
RU2712789C1
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО АЗИМУТАЛЬНО-УГЛОМЕСТНОЙ ИНДИКАЦИИ В ОПТИКО-ЛОКАЦИОННЫХ СИСТЕМАХ 2015
  • Спирин Андрей Евгеньевич
  • Спирин Евгений Анатольевич
  • Крылов Анатолий Иванович
  • Дубинин Владимир Иванович
RU2628301C2
Интерферометр для измерения перемещений 1980
  • Старков Алексей Логинович
SU934212A1
МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ОПТИКО-ЛОКАЦИОННАЯ СИСТЕМА 2005
  • Прилипко Александр Яковлевич
  • Павлов Николай Ильич
  • Левченко Виктор Николаевич
RU2292566C1
УСТРОЙСТВО ЗАПИСИ ПРОПУСКАЮЩИХ ГОЛОГРАММ 1992
  • Маевский Г.В.
RU2019865C1
УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРИБОР 2011
  • Гебгарт Андрей Янович
  • Колосов Михаил Петрович
RU2470258C1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ МНОГОЦЕЛЕВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ 2016
  • Абдулкадыров Магомед Абдуразакович
  • Семенов Александр Павлович
  • Патрикеев Владимир Евгеньевич
  • Пуряев Даниил Трофимович
  • Дружин Владислав Владимирович
  • Лазарева Наталия Леонидовна
RU2615717C1

Реферат патента 1988 года Устройство для контроля состояния поверхности

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования и контрапя состояния поверхности оптических узлов и деталей в условиях их эксплуатации. Цель изобретения - повышение то 4ности измерения поверхностных дефектов и сокращение времени контроля, достигается за счет использования пространственной фильтрации. Свет от лазера 1 проходит через первую оптическую систему 2 и вторую оптическую систему 3 с общим фокусом, при этом пространственный фильтр 4 пропускает основную часть пучка. Полученный световой поток проходит сканирующую систему, последовательно отражаясь от зеркала 5, зеркальной приз1 ы 6 и расщепляясь светоделитель- ной пластиной 7 на два пучка, один из которых отражается от эталонного .. зеркала 8 и образует эталонный пучок, а другой - на контролируемую поверхность 10. Свет, рассеянный на дефек- : i тах, пройдя сканирующую систему, не фокусируется-системой 3 в отверстие фильтра 4, а, отразившись от его зеркальной поверхности, попадает на фо- 1топриемное устройство 9, где формируется контрастное изображение дефектов. 1 ил. Q S (Я с 4ib 4

Формула изобретения SU 1 441 194 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1988 года SU1441194A1

Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 441 194 A1

Авторы

Гуревич Симха Беркович

Глушков Александр Семенович

Дунаев Никита Юрьевич

Константинов Владимир Борисович

Буцков Сергей Александрович

Рядинский Борис Федорович

Сиркунен Геннадий Иосифович

Уваров Анатолий Афанасьевич

Беляков Владимир Дмитриевич

Левушкин Владислав Михайлович

Черных Дмитрий Федорович

Даты

1988-11-30Публикация

1987-05-18Подача