Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования и контроля состояния поверхностей оптических узлов изделий в условиях их эксплуатации, например внешних поверхностей
иллюминатдров.
Целью изобретения является повышение точности измерения поверхност- ных дефектов и повышение производительности контроля.
Пеставленная цель достигается тем что в устройстве используется пространственная фильтрация.
На чертеже представлена принципиальная схема устройства.
Устройство содержит оптически. связанные лазер I, первую оптическую систему 2, вторую оптическую.систему 3, пространственный фильтр 4, сканирующую систему, выполненнздо в виде оптически связанных последовательно расположенных зеркала 5, зеркальной призмы 6 и светоделительной пластины 7, устанавливаемой под углом 45 к контролируемой.поверхности, и эталонного зеркала 8, фотоприемное устройство 9, Пространственный фильтр 4 выполнен в.виде плоского зеркала с отверстием, расположенным в конфокальной точке первой 2 и второй 3 оптических систем. Зеркальная призма 6 и светоделительная пластина 7 и эталонное зеркало 8 имеют возможность перемещения в плоскости, параллельной контролируемой поверхности, таким образом, что величина шага перемещения зеркальной призмы 6 была бы в два раза меньше шага перемещения светоделительной пластины 7 и эталонного зеркала 8.
Устройство для контроля состояния поверхности работает следздащим образом.
Свет от лазера 1 проходит через первую 2 и вторую 3 оптические системы с общим фокусом.. При этом пространственный фильтр 4 пропускает основную часть освещенного пучка, сфокусированного первой оптической системой 2 в отверстие в зеркале, и в то же время позволяет устранить высокочастотные шумы пучка. Паралг лельный световой пучок, сформированный второй оптической системой 3, проходит через сканирую1я;ую систему, последовательно отражаясь от неподвижного зеркала 5 подвижной зеркаль
5
0
5
0
5
0
5
0
5
ной призмы 6 и расщепляясь светоде-- лительной пластиной 7 на два пучка, один из которых падает на: эталонное зеркало 8 и, отражаясь от него, образует эталонный пучок, а другой падает на контролируемую поверхность, 10.
Свет, зеркально отраженный контролируемой поверхностью 10, -опять проходит через сканирующую систему, фокусируется второй оптической системой 3 в отверстие пространственного фильтра 4 и далее не используется. Свет-, рассеянный на дефектах, пройдя через сканирующую систему, не фокусируется второй оптической системой 3 в отверстие пространственного фильтра 4, а, отразившись от его зеркальной поверхности, попадает на фотоприемное устройство 9, где формируется контрастное изображение дефектов поверхносш и картина интерференции эталонного пучка и пучка, отра-. женного контролируемой поверхностью, в которой смещение полос дает информацию о параметрах дефектов.
Формула изобретения Устройство для контроля состояния поверхности, содержащее последовательно установленные лазер, первую опти- 4ecKjno систему, вторую оптическую систему, сканирующую систему, зеркало и фотоприемный блок, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения поверхностных дефектов и повьшения производительности контроля, оно.снабжено пространственным фильтром, выполненным в виде зеркала с отверстием и установленным в конфокальной точке первой и второй оптических систем, сканирующая система выполнена в виде последовательно расположенных по ходу излучения зеркала, зеркальной призмы, светоделительной пластины, установленной под углом 45 к контролируемой поверхности, и эталонного зеркала с возможностью поворота системы вокруг оптической оси второй оптической системы, все элементы сканирующей системы имеют возможность перемещения в плоскости, па- раллельной контролируемой поверхности, с величиной шага перемещения зеркальной призмы в два раза меньше шага перемещения светоделительной пластины и эталонного зеркала.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ЛАЗЕРНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП | 2005 |
|
RU2285279C1 |
РЕФЛЕКТОМЕТР НА ОСНОВЕ МНОГОХОДОВОЙ ОПТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ | 2005 |
|
RU2281476C1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР С ОБРАТНОКРУГОВЫМ ХОДОМ ЛУЧЕЙ | 1986 |
|
SU1383969A1 |
ОПТОВОЛОКОННЫЙ КОНФОКАЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП | 2019 |
|
RU2712789C1 |
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО АЗИМУТАЛЬНО-УГЛОМЕСТНОЙ ИНДИКАЦИИ В ОПТИКО-ЛОКАЦИОННЫХ СИСТЕМАХ | 2015 |
|
RU2628301C2 |
Интерферометр для измерения перемещений | 1980 |
|
SU934212A1 |
МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ОПТИКО-ЛОКАЦИОННАЯ СИСТЕМА | 2005 |
|
RU2292566C1 |
УСТРОЙСТВО ЗАПИСИ ПРОПУСКАЮЩИХ ГОЛОГРАММ | 1992 |
|
RU2019865C1 |
УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРИБОР | 2011 |
|
RU2470258C1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ МНОГОЦЕЛЕВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ | 2016 |
|
RU2615717C1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования и контрапя состояния поверхности оптических узлов и деталей в условиях их эксплуатации. Цель изобретения - повышение то 4ности измерения поверхностных дефектов и сокращение времени контроля, достигается за счет использования пространственной фильтрации. Свет от лазера 1 проходит через первую оптическую систему 2 и вторую оптическую систему 3 с общим фокусом, при этом пространственный фильтр 4 пропускает основную часть пучка. Полученный световой поток проходит сканирующую систему, последовательно отражаясь от зеркала 5, зеркальной приз1 ы 6 и расщепляясь светоделитель- ной пластиной 7 на два пучка, один из которых отражается от эталонного .. зеркала 8 и образует эталонный пучок, а другой - на контролируемую поверхность 10. Свет, рассеянный на дефек- : i тах, пройдя сканирующую систему, не фокусируется-системой 3 в отверстие фильтра 4, а, отразившись от его зеркальной поверхности, попадает на фо- 1топриемное устройство 9, где формируется контрастное изображение дефектов. 1 ил. Q S (Я с 4ib 4
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1988-11-30—Публикация
1987-05-18—Подача