Способ измерения толщины диэлектрических изделий Советский патент 1989 года по МПК G01B7/06 

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической, Химической и электронной промьшшенности.

Цель изобретения - повьшение точности измерения за счет получения линейной зависимости измеряемого тока от толщины изделий.

На чертеже изображено устройство для осуществления предлагаемого способа.

Устройство дпя осуществления предлагаемого способа содержит генератор

1переменного тока, выходное напряжение (или частота) которого может регулироваться. Генератор 1 подключен параллельно к большим электродам

2и 3 измерительного и компенсирующего конденсаторов. Меньшие электроды

4 и 5 измерительного и компенсирующего конденсаторов соединены с вхо(Л

10

15

дами первого 6 и второго 7 преобразователей ток - напряжение с нуле- вым входным сопротивлением. Охранные кольца 8 и 9 подключены на Землю. Электроды измерительного и компенсирующего конденсаторов в виде фольги приклеены к упругим подкладкам 10.

Эталонное изделие 12 выполнено из того же материала, что и измеряемое изделие 11, но известной толщины.

Выходы преобразователей 6 и 7 ток напряжение соединены с первым I3 и вторым 14 цифровыми вольтметрами.

Упругие подкладки прикреплены к поршням 15, расположенным в гидроцилиндрах 16.

Способ осуществляют следующим образом.

Между электродами 2 и 4 измерительного конденсатора располагают измеряемое изделие 11, а между электродами 3 и 5 компенсирующего конден- (атора располагают эталонное изде- jbe 12.

Создав избыточное давление в гид- 1)оцилиндрах 16, зажимают изделия между электродами.

Изменяя напряжение генератора 1

Формула изобретен Способ измерения толщины диэле рических изделий, заключающийся в том, что помещают изделие в измер тельный конденсатор, подают на из мерительный конденсатор и компен рующий конденсатор с эталонным и делием переменное напряжение, о

переменного тока, добиваются равенст- ю личающийся тем, что, с

|ва тока через измерительный конденсатор заданному значению и измеряют значение тока через компенсирующий конденсатор с помощью преобразовате- гая 7 ток - напряжение и цифрового вольтметра 14.

15

целью повьшения точности измерени ток в измерительном конденсаторе держивают постоянным путем измен ния поданного напряжения, а толщ изделия определяют по току в ком сирующем конденсаторе.

Формула изобретения Способ измерения толщины диэлектрических изделий, заключающийся в том, что помещают изделие в измерительный конденсатор, подают на измерительный конденсатор и компенсирующий конденсатор с эталонным изделием переменное напряжение, о т личающийся тем, что, с

целью повьшения точности измерения ток в измерительном конденсаторе поддерживают постоянным путем изменения поданного напряжения, а толщину изделия определяют по току в компенсирующем конденсаторе.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической, химической и электронной пр01 1птенности. С целью повышения точности измерения подают на измерительный конденсатор с измеряемым изделием и компенсирующий конденсатор с эталонным изделием переменное напряжение, ток в измерительном конденсаторе поддерживают постоянным путем изменения поданного напряжения и измеряют ток в термоком- пенсируклцем конденсаторе. 1 ил.