Ионизационный манометр Советский патент 1962 года по МПК G01L21/30 

Известны ионизационные манометры, электродная система которых выполнена из параллельных пластин или тонкостенных цилиндров с большой поверхностью и натянутым между ними катодом. Однако эти ионизационные манометры имеют разброс чувствительности из-за смещения катода относительно анода или коллектора, что требует индивидуальной градуировки шкал по компенсационным манометрам. Отличительная особенность описываемого ионизационного манометра состоит в том, что его катод размещен во внутренней полости анода, а коллекторные пластины охватывают анод с двух открытых сторон- Ионизационный манометр такой конструкции имеет повышенную стабильность по чувствительности.

На чертеже схематически изображен описываемый ионизационный манометр в двух проекциях.

Электродная система манометра состоит из трех параллельно расположенных пластин /, 2 и . Крайние пластины / и 5 служат коллектором ионов, а средняя пластина 2, в которой имеется овальный вырез 4, выполняет функции анода. ВоздухостЪйкий иридиевый катод 5 имеет П-образную форму. Активная горизонтальная часть катода покрыта двуокисью тория или окисью иттрия и располагается в овальном вырезе анода.

Образующиеся ионы газа поступают на коллектор. Так как катод работает в режиме насыщения, то распределение электронов по всей поверхности катода примерно равномерное. Смещение катода в горизонтальной плоскости овального выреза практически не изменяет чувствительности манометра.

Описываемый манометр может найти применение для . измерения разрежения в вакуумных установках, применяемых в различных отраслях промышленности и в практике лабораторных исследований.

№ 146559

Предмет изобретения

Ионизационный манометр, содержащий катод, анод и коллектор, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности по чувствительности, катод размещен во внутренней полости анода, а коллекторные пластины охватывают анод с двух открытых сторон.

о

//