Магнитронный манометр с холодным катодом Советский патент 1962 года по МПК G01L21/34 

Известные магнетронные манометры для измерения сверхвысокого вакуума, содержащие размещенный в цилиндрическом аноде катод в виде двух экранированных коллекторных дисков, связанных тонкой проволокой, вокруг которой навита сетка, не позволяют производить измерения при низких давлениях.

В предлагаемом магнетронном манометре надежность зажигания при низких давлениях достигается тем, что в нем навитая вокруг катодной проволоки сетка соединена с двойным переключателем для попеременного подключения ее к выпрямителю высокого напряжения в момент запуска манометра и к ионному усилителю при измерении давления.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема предлагаемого магнетронного манометра; на фиг. 2 - один из возможных вариантов схемы питания и запуска предлагаемого магнетронного манометра.

Манометр состоит из цилиндрического анода 1, сложного катода 2, который является одновременно коллектором ионов, и экрана 3. Катод 2 манометра состоит из двух дисков 4 и 5, натянутой между ними тонкой (диаметром несколько микронов) проволочки 6 и расположенной вокруг этой проволочки цилиндрической сетки 7 диаметром не более 3 мм.

На анод / подается постоянное напряжение порядка киловольт. Вдоль оси манометра создается постоянное магнитное поле, превышающее критическое. Мерой давления служит разрядный ток. В целях исключения из измерительной цепи тока автоэлектронной эмиссии с катода .2 в направлении анода 1, который может дать в этой цепи постоянную фоновую составляющую, а также для защиты от других наводок, служит заземленный экран 3, находящийся практически под потенциалом катода 2. Для того, чтобы обеспечить разряд, при включении ма№ 152113

нометра (положение 8 сдвоенного переключателя 9) одновременно с подачей анодного напряжения катодная сетка 7 отключается от цепи катода 2 и на нее подается положительное напряжение от выпрямителя 10. Между проволочкой 6 и сеткой 7 возникает автоэлектронная эмиссия. Электроны, ускоряясь сеткой, частично проходят между ее витками в анодное пространство и инициируют разряд.

При переключении переключателя 9 в положение // происходит емкостная разрядка сетки 7 на землю через сопротивление 12 перед подсоединением ее к электрометрическому усилителю 13.

Предмет изобретения

Магнетронный манометр с холодным катодом для измерения сверхвысокого вакуума, содержащий размещенный в цилиндрическом аноде катод в виде двух экранированных коллекторных дисков, связанных тонкой проволочкой, вокруг которой навита сетка, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности зажигания при низких давлениях, в нем сетка соединена с двойным переключателем для попеременного подключения ее к выпрямителю высокого напряжения в момент зажигания манометра и к ионному усилителю при измерении давления..