где е - заряд иона;
m - его масса; Е(Х)- напряженность электрического
поля. Отсюда
li 11+2S2
30
г i7v2s, i g M«Kc;
,U+2S
2 °1 (Kc ,
Z
d lx
- -V E (X)
OK
40
если
которые могут быть выведены исходя из требований, чтобы пучок ионов сво- 3S бодно проходил между обеими парами пластин, не попадая на них.
Проведены лабораторные испытания макета устройства, включающего стандартные блоки; источник первичных ионов ИЭ-М1, источники.регулируемого постоянного напряжения Б-5-50 и ВС- 20-10 для подачи потенциалов на плоскопараллельные пластины, держа- cJ - - F 1 lt+l2+2Si .,-. дс мишени, энерго-масс-анализатор 1 ™ . регистрирующую систему с выходом
на самопишзщий прибор КСП-4; угол между осями источника и анализатора испытания проводили- при угле падения б 45°, 50
Решая это дифференциальное уравнение, и учитывая, что -т - tg а((х.) ,
в начальной точке tg o(X(j)0, в конечной cga (x) tgfl, а у(%м)У(Х,), . получим
1, li+2(Si+Si+li) Ь, - 1 - -+2Г,
Но Е, --, а Е i
1 J-i ,-
(2)
, поэтому можМежду источником ионов и мишенью располагали две пары плоскопараллельных пластин со следующими параметрами: см,, 1 10 см, S, 15 см, S 2 см, d , 1 см, см, энергия первичных ионов W 1 10 эВ. По формулам (4,5) рассчитаны значения потенциалов U , и U на плоскопарално получить связь между tg о( и потенциалами на пластинах U, и
1 liilii2Si
П
m d
.+2Si
(3)
li 11+2S2
г i7v2s, i g M«Kc;
,U+2S
2 °1 (Kc ,
Между источником ионов и мишенью располагали две пары плоскопараллельных пластин со следующими параметрами: см,, 1 10 см, S, 15 см, S 2 см, d , 1 см, см, энергия первичных ионов W 1 10 эВ. По формулам (4,5) рассчитаны значения потенциалов U , и U на плоскопарал514659236
лельных пластинах для- углов « , со- Результату расчета и полученные ответствующих предельным значениям угла t,
в эксперименте значения углов of при ведены в таблице.
Результату расчета и полученные
в эксперименте значения углов of приведены в таблице.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ масс-спектрометрического анализа твердых тел и устройство для его осуществления | 1977 |
|
SU695295A1 |
Способ энерго-масс-спектрометрического анализа вторичных ионов и устройство для энергомасспектрометрического анализа вторичных ионов | 1986 |
|
SU1460747A1 |
Устройство для исследования диэлектриков ионными пучками | 1979 |
|
SU776389A1 |
Детектор ионов | 1989 |
|
SU1644255A1 |
В П Т Б | 1973 |
|
SU400067A1 |
Устройство для рентгеноспектрального флуоресцентного анализа | 1989 |
|
SU1730571A1 |
ПОЛЯРИЗАЦИОННЫЙ РЕНТГЕНОВСКИЙ СПЕКТРОМЕТР | 2012 |
|
RU2494380C1 |
Спектрометр обратно рассеянных ионов низких энергий | 1984 |
|
SU1215144A1 |
Способ измерения энергетического спектра нейтральных частиц и устройство для осуществления этого способа | 1976 |
|
SU573086A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПУЧКОВ ЖИДКОМЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОКЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ | 2001 |
|
RU2210135C2 |
Изобретение может быть использовано для изучения физико-химических процессов на поверхности и в объеме твёрдых тел, в частности, в микроэлектронике и полупроводниковой промьшшенностй. Целью изобретения является упрощение конструкции, экономии материалов и электроэнергии, что достигается измерением угловых зависимостей при неподвижных источнике первичных ионов и анализаторе вторичных ионов. Устройство содержит вакуумную камеру 1, с которой жестко связаны источник 2 первичных ионов и энерго-масс-анализатор 9. Для фокусировки первичных ионов используется фокусирующая система 3. Между фокусирующей системой 3 и мишенью 6 введены две пары плоскопараллельных пластин 5, подключенных к отдельным источникам постоянного напряжения. Изменение полярного угла if для снятия угловых зависимостей вторичной ионной эмисии осуществляется вращением мишени 6. Изменяя потенциалы на пластинах, добиваются сохранения угла-падения пучка первичных ионов на мишень во всем интервале значений Ч. 2 ил. 1 табл. с $ (Л с
. J.:.i.. ..
Такш образом, как видно из таблицы, введение двух пар плоскопараллельных пластин позволяет обеспечить интервал изменения угла / при неподвижных источнике ионов и энеpro- масс-анализаторе с сохранением неизменным угла падения первичного nyt;- ка на мишень. Предлагаемое устройст- |во достигает цели с сохранением дос- |товерности результатов не хуже, чем в прототипе. При этом по сравнению с прототипом предлагаемое техническое решение позволяет сз щественно упростить конструкцию прибора и сэкономить материалы и электроэнергию.
Ь
ормула изобретения
I Устройство для измерения угловых Зависимостей вторичной ионной эмис- :ии5 содержащее вакуумную камеру с |зрисоединенным к ней источником пер- )ичных ионов и размещенными в ней Системой фокусировки пучка первичных ijioHoB с выходной щелью, держателем фишени, узлов вращения держателя ftoKpyr оси устройства, системой фо- 1|:усировки вторичных ионов, энерго- Масс-анализатор и детектор, о т -
Л и ч а ю щ е е
с я тем, что, с
упрощения конструкции, в уст- 1 ойство введены две пары п.поскоиараллельных пластин, расположенных между выходной щелью источника первичных ионов держателя и мишенью симметрично относительно оптической оси источника первичных ионов, а также два источника регулируемого постоянного напряженияj причем каждая пара пластин подключена к отдельному источнику напряжения, при этом соседние пластины подключены к разноименным полюсам, а геометрические параметры пластин и их расположение
удовлетворяют выражениям
la+2S l ll+2S
где
li+2Sa ,
- ... cl , Ctg d. Make ,
I l Ij - длина первой и второй пар пластин соответственно, MJ d - зазор между пластинами
каждой пары, м; S - расстояние между первой и второй парами пластин, м;
8,2. расстояние между второй парой пластин и мишенью, м;
максимальный угол поворота пучка, рад.
ХлГ
Энерго-массанализатор | 1981 |
|
SU957317A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Rev | |||
Sci | |||
Instrum., 1981, v.52, № 8, p.1148-1155. |
Авторы
Даты
1989-03-15—Публикация
1987-04-29—Подача