Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения в динамическом режиме (т.е. в процессе движения) части периода выходного электрического гармонического сигнала инт ерфе- ренционного преобразователя линейных перемещений.
Цель изобретения - повьшение точ- ности измерения части интерференционной полосы путем обеспечения цифровой обработки сигналов двух интерферометров.
I На фиг. 1 приведена структурная схема устройства для измерения части интерференционной полосы на фиг. 2 - диаграммы сигналов, поясняющие его работу; на фиг. 3- функциональная схема второго формирователя; на фиг. 4 - функциональная схема второг коммутатора; на фиг. 5 - временные диаграммы его работы.
.Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения, интер- ферометр 2, интерферометр 3 с регулируемой ценой полосы, фотоприемники 4 и 5, аналого-цифровые преобразователи 6 и -7, регистры 8 и 9 памяти, логический элемент И 10, блоки 11 и 12 сравнения, коммутаторы 13 и 14, формирователи 15 и 16, шифратор 17, блок 18 вычитания, триггер 19, блок 20 определения экстремума, счетчик 21, блок 22 умножения, индикатор 23 и делитель 24 частоты, объект 25.
Формирователь 15 (фиг. 3) состоит из индикатора. 26 нуля, П-триггера 27 включенного по счетному входу, логического элемента ИЛИ 28, включенного таким образом, что сигнал на его выходе повторяет сигнал на его входе (т.е. выполняющего роль линии задержки) и логического элемента И 29. Триггер 27, логический элемент ИЛИ 2 и элемент Ц 29 выполняют функцию делителя 30 частоты,Коммутатор 14 (фиг. 4), построенный в предположении, что длительност импульсов, поступающих на его входы Упр.вх., Вх.1 и Вх.2, одинакова, содержит логический элемент 31 ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИДИ, триггер 32, два логических элемента И 33 и 34, логический элемент ИЛИ 35 и выполняющий роль линии задержки логический элемент ИЛИ 36.
С перемещающимся объектом 25 свя заны подвижные части интерферометра
2 и интерферометра 3 с регулируемой ценой полосы. На оптическом выходе интерферометра 2 установлен первый фотоприемник 4, а на оптическом выходе интерферометра 3 - второй фотоприемник 5. К первому фотоприемнику подключен первый аналого-цифровой преобразователь 6, выход которого связан с информационными входами первого регистра 8 памяти и первого коммутатора 13. Второй информационный вход коммутатора 13 связан с выходом регистра 8 памяти, а его выходы - с информационными входами блока 18 вычитания. Выход блока 18 вычитания соединен с первым информационным входом первого блока 11 сравнения, выход шифратора 17 - с вторым информационным входом первого блока 11 сравнения, а его выход подключен к входу Установка нуля триггера 19. Вход Установка нуля этого .триггера связан с выходом первого формирователя 16, входами Установка нуля счетчика 21, второго коммутатора 14 и делителя 24 частоты и управляющим входом регистра 9 памяти. Выход триггера 19 подключен к первому входу логического элемента И 10 и первому входу блока 12 сравнения. . Вторые входы элемента И 10 и блока 1 сравнения соединены соответственно с выходами формирователя 15 и регистра 9 , а третий вход блока 12 связан с выходом аналого-цифрового преобразователя 7 и информационным входом- регистра 9 памяти. Выход блока 1 соединен с первым информационным входом коммутатора 14 и входом делителя 24 частоты, выход которого связан с вторым информационным входом коммутатора 14/Выход этого коммутатора подключен к управляющим входам коммутатора 13 и блока 18 вычитания и информационному входу счетчика 21 последовательно с которым включены блок 22 умножения и индикатор 23., Управляющий вход коммутатора 14 соединен с выходом блока 20 определения экстремума, а вход этого блока - с выходом фотоприемника 5 и входом аналого-фицрового преобразователя Вход формирователя 15 Яодключен к выходу фотоприемника 4, а формирователь 16 своим входом связан с пере- мещаюпщмся объектом 25.
Устройство работает следующим образом.
Перед измерением оно приводится в исходное состояние, при котором на выходе триггера 19 находится уровень логического нуля. На структурной схеме устройства (фиг. 1) шина установки триггера в исходное состояние не обозначена.
Интерферометр 3 регулируется таким образом, что цена 17 его интерферен- ционной полосы незначительно меньше цены 1у интерференционной полосы интерферометра 2.. На выходе шифратора 17 устанавливается определенный постоянный код, который определяется величиной погрешности, допустимой при данном измерении.
В процессе линейного перемещения объекта 25 одновременно с ним перемещаются подвижные части интерферометра 2 и интерферометра 3 с регулируемой ценой полосы. Фотоприемники 4 и 5 . преобразуют световые сигналы с соответствующих интерферометров 2 и 3 в гармонические злектрические сигналы (диаграммы 4 и 5 на фиг. 2), периоды следования которых соответствуют ценам 1;, и la интерференционных полос .указанных интерферометров.
Аналого-цифровые преобразователи 6 и 7 осуществляют постоянное преобразование поступающих на их входы синусоидально изменяющихся напряжени .в цифровые коды..
Блок 20 определения экстремума формирует короткие прямоугольные импульсы при достижении электрическими сигналами, поступающими на его вход, максимальных и минимальных значений.
.
Формирователь 15 предназначен для формирования коротких прямоугольных масштабных импульсов (МИ), период следования которых соответствует периоду следования интерференционных полос интерферометра 2, причем их появление свидетельствует об бконча- нии этого периода (диаграмма 15 на фиг. 2). Формирование МИ может быть привязано к произвольному уровню электрического сигнала фотоприемника 4, например, максимальному и минимальному значениям, моменту пересечения нулевого значения и т.д. В данной реализации формирователь 15 вы- дает НИ при прохождении гармонического сигнала на его входе через нулевое значение, отя это может быть и любой его уровень 4
Формирователь 15 работает следующим образом. Индикатор 26 нуля формирует короткие импульсы всякий раз при прохождении гармонического сигнала на его входе через нулевое значение , Однако на одном периоде гармонического сигнала есть две точки с нулевой амплитудой. Делитель 30 частоты с емкостью два из каждых двух импульсов, поступающих на его вход, формирует один импульс, совпадающий по времени с вторым импульсом на его входе. Пусть при включении питания устройства триггер 27 приводится в исходное нулевое состояние (подачей соответствующего сигнала по шине установки в исходное состояние; подключенной к его R-входу). Тогда на его инверсном выходе будет уровень логической единицы. При поступлении первого импульса на его счетный вход триггер 27 переключится и на его инверсном выходе станет уровень логического нуля. Поэтому первый импульс, пройдя через логический элемент ШШ 28 с задержкой, превышающей время переключения триггера 27, не пройдет через логический элемент И 29 на выход формирователя. Второй импульс индикатора 26 нуля снова переключит триггер 27, которьй разрешит работу логического элемента И 29, вследствие чего этот импульс пройдет на выход формирователя 15. .
Первый коммутатор 13(Предназначен для управления прохождением информаг ции в виде кодов с его.двух информационных входов на два информационных выхода. Управление осуществляется подачей короткого прямоугольного синхроимпульса на его управляющий вход, при этом в течение длительности этого импульса информация в цифровых кодах, присутствующая на двух его информационных входах, передается на его соответствующие информационные выходы.
Коммутатор 14 осуществляет управление прохождением на его выход коротких прямоугольных импульсов, поступающих на два его информационных входа. Если моменты проходов сигналов с выхода второго блока 12 сравнения на его первый информационный вход совпадают с моментами поступления сигналов блока 20 определения экстремума на его управляющий вход, то на выход коммутатора 14 проходят сигналь
10
отсутствуют (диаграмма 31), триг- 2о сравнительной величине кодов, постус его первого информационного входа, в противном случае на выход коммутатора 13 проходят сигналы с второго его информационного входа (с выхода Iделителя 24 частоты). Перед каждым Iциклом работы коммутатора 15 он- при- водится в исходное состояние подачей короткого импульса на его вход установки (Вх,уст. нуля). При этом триггер 32 устанавливается в такое состояние, при котором на его прямом выходе - уровень логического нуля, а на инверсном - уровень логической Iединицы. При совпадении во времени 15 Iсигналов на входах Упр.вх. и Вх.1 I (первая часть диаграмм Упр.вх. и jBx.1 на фиг. 5) сигналы на выходе логического элемента 31 ИСКЛЮЧАЮП ЕЕ ИЛИ
гер 32 остается в исходном состоянии (диаграмма 32 иллюстрирует уровень сигнала на его прямом выходе, а 32 - на инверсном). В этом случае управляемый триггером 32 логический элемент И 37 открыт, а элемент И 34 закрыт ПОЭТОМУ на выход коммутатора через элемент ИЛИ 35 проходят сигналы с первого входа Вх. 1 1 6ммутатора (диаграмма 35). Если же сигналы на входах :Упр.вх. и Вх.1 не совпадают во време- 1ни (вторая часть диаграммы Упр.вх. и Вх. 1), логический элеме«т 31 ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ формирует импульсы в те же моменты, когда только на одном из его входов присутствует уровень логической единицы. Первым ;же выходньм импульсом этого элемента триггер 32 переключится в состояние, ;противоположное исходному, и запре- (гит работу логического элемента И 33, одновременно разрешив работу элемента И 34. При этом на выход.коммутатора через элементы И ЗА и ИЛИ 35 пойдут сигналы с его входа Вх.2. Линия 36 задержки необходима для задержания прохождения сигналов с входа Вх.1 на элемент И 33 на время переключения триггера 32 в том случае, когда
код разности кодов, поступающих в это время на два его информационных входа, все же остальное время на его вьтеоде постоянно удерживается код максимально большого числа, реализуемого при данном используемом числе разрядов выходной шины блока 18 вычитания (такой режим работы реализуется стандартным включением микросхем арифметико-логического устройства К155 ИПЗ, на которых построен блок 1.8). .
Шифратор 17 предназначен для постоянного формирования на своем выходе константы, вьфаженной в цифровом коде.
Первый блок 11 сравнения предназначен для получения информации о
25
30
35
пающих на два его информационных входа. Он осуществляет проверку условия того, что код на первом его входе меньше или равен коду на втором его информационном входе. При вьтол- нении этого условия он формирует короткий прямоугольный импульс.
Делитель 24 частоты аналогичен делителю 30, представленному на фиг. 3. Вход установки нуля делителя 24 - это R-вход триггера 27.
Формирователь 16 осуществляет формирование короткого прямоугольного командного импульса, по которому начинается цикл измерения части периода гармонического сигнала интерферометра 2.
Момент подачи командного импульса формирователем 16 может быть любым.
40
Например, он может определяться оператором вручную подачей соответствующего управляющего сигнала на его вход. Этот управляющий сигнал может формироваться и каким-либо 45 внешним устройством. В данной реализации устройства измерения части интерференционной полосы момент фор- мирования командного импульса формирователем 16 привязан к моменту про--- -л--- - -вв% J
сигналы на вход Вх.1 приходят раньше .50 хождения объектом 25 определенной
сигналов на вход Упр.вх.
Блок 18 вычитания осуществляет вычисление разности кодор, поступающих на два его информационных входа. Операция вычитания осуществляется под управлением синхроимпульса, поступающего на его управляющий вход. В течение длительности этого импульса на его выходной шине формируется
точки вдоль траектории его перемещения, при этом формирователь 16 реализован по схеме, представленной на фиг. 3, и связан с перемещающимся 55 объектом 25. Этот командный импульс (диаграмма 16 на фиг. 2) поступает на входы-установки нуля с четчика 21, записывая в него нуль,- коммутатора 14 и делителя 24 частоты, подготав10
2о сравнительной величине кодов, посту15
67395 .6
код разности кодов, поступающих в это время на два его информационных входа, все же остальное время на его вьтеоде постоянно удерживается код максимально большого числа, реализуемого при данном используемом числе разрядов выходной шины блока 18 вычитания (такой режим работы реализуется стандартным включением микросхем арифметико-логического устройства К155 ИПЗ, на которых построен блок 1.8). .
Шифратор 17 предназначен для постоянного формирования на своем выходе константы, вьфаженной в цифровом коде.
Первый блок 11 сравнения предназначен для получения информации о
сравнительной величине кодов, посту
пающих на два его информационных входа. Он осуществляет проверку условия того, что код на первом его входе меньше или равен коду на втором его информационном входе. При вьтол- нении этого условия он формирует короткий прямоугольный импульс.
Делитель 24 частоты аналогичен делителю 30, представленному на фиг. 3. Вход установки нуля делителя 24 - это R-вход триггера 27.
Формирователь 16 осуществляет формирование короткого прямоугольного командного импульса, по которому начинается цикл измерения части периода гармонического сигнала интерферометра 2.
Момент подачи командного импульса формирователем 16 может быть любым.
Например, он может определяться оператором вручную подачей соответствующего управляющего сигнала на его вход. Этот управляющий сигнал может формироваться и каким-либо внешним устройством. В данной реализации устройства измерения части интерференционной полосы момент фор- мирования командного импульса формирователем 16 привязан к моменту про--- -л--- - -вв% J
хождения объектом 25 определенной
точки вдоль траектории его перемещения, при этом формирователь 16 реализован по схеме, представленной на фиг. 3, и связан с перемещающимся 55 объектом 25. Этот командный импульс (диаграмма 16 на фиг. 2) поступает на входы-установки нуля с четчика 21, записывая в него нуль,- коммутатора 14 и делителя 24 частоты, подготавние. Уровень логического нуля, формируемый при этом триггером 19, запрещает дальнейшую работу логического элемента И 10 и блока 12 сравнения.
Выполнение указанного условия означает нониусное сопряжение кодов К1(А1р и К1(А1(МИ)). До момента этого нониусного сопряжения на- информационный вход счетчика поступит п импульсов коммутатора 14 (диаграмма 14). Информация об измеренной величине D части гармоничного сигнала интерферометра 2, отсчитываемой от предыдущего по отношению к командному импульсу МИ до командного им- пульса (т.е. об измеренной части ин- 1терференционно 1 полосы) , формируется La выходе блока 22 умножения, который осуществляет умножение этого числа на константу, равную (1 i - 1). Полученный результат отображается индикатором 23.
Выполнение условия К1 (АЦ) К1 (А1(МИ)) при измерении части D интерференционной полосы нониусным методом возможно лишь в том случае, если она кратна целому числу разностей цен 1 , и 1 , интерференхшонных полос интерферометров 2 и J.
Вследствие случайного характера момента формирования командного им- . пульса действительный размер части интерференционной полосы может быть не равен целому числу разностей цен полос интерферометров. Тогда при но- ниусном сопряжении условие К1 (А1;) К1 (А1(МИ)) в моменты появления кода К2 выполняется не точно, а приближенно. Оценим величину этого приближения.
При первом появлении на выходе коммутатора 14 сигнала, соответствующего коду К2(А2), точка АЦ на выходном сигнале фотоприемника 4 сдвинута во времени от точки А1. (Ш) .на величину, пропорциональную .D-(li- l-i), при следующем - на вели- чину; пропорциональную 0-2(1,- ), , при следующем - на D-3( 1) и т.д. Это обусловлено тем, что период выходного сигнала фотоприемника 5 меньше периодй выходного сигнала фо- топриемника 4 на величину, пропорциональную (1,- З-а) и равную ()/V, где V - скорость перемещения объекта 25.
При выполнении равенства D ), где п 1, 2, 3...,
146739510
нониусное сопряжение кодов К1(А1 ) и (К1(А1(МИ)) должно фиксироваться тогда, когда разность (О-пй) будет минимальна ( Л 1 - l) . Наихудшим случаем будет тот случай, когда
(D - п Д) (D - (п+1)) 4/2. Значит, можно утверждать, что нониусное сопряжение кодов К1(А1;) и К1(А1(МИ)) ,Q ДОЛЖНО быть зафиксировано тогда, когда
20
(D - П -а) л /2.
15 Величина, соответствующая абсолютному значению разности К1(А1(МИ)) и кода, определяющего амплитуду сигнала фотоприемника 4, проекция которой на ось абсцисс удалена от проекции амплитуды А 1(Ш) на ту же ось на 4/2 V, равна Л . При различных значениях уровня А1(МИ) величина Д ц может быть разной, но она .однозначно соответствует тому значению А1(Мй), 25 которое выбрано в конкретной реализации устройства, и не зависит от V. Необходимое для данной реализации устройства значение л , формируется . шифратором 17 и устанавливается на 30 нем перед измерениями. Тогда совершенно ясно, что момент наступления неравенства (D - пД) - /2 аналогичен наступлению такого момента времени, когда при появлении на выходе коммутатора 14 импульса, соответствующего наличию на выходе фотоприемника 5 амтшитуды А2 гармонического сигнала, текущее значение кода К1(А1;), формируемого аналого-цифровым преобразо- 40 вателем 6, отличается от кода
К1(А1(МИ)) МИ на величину, не пре- вьшающую. к т. е
35
45
50
55
К1(А1j) К1(А1(МИ)) + Лк,
откуда и вытекает неравенство, выполнение которого проверяется блоком 11 сравнения.
Устройство может измерять как часть интерференционной полосы, так и дробную часть интерференционной полосы. Во втором случае число п в блоке 22 умножения необходимо умножать на константу Л/1;,.
После того, как выходным сигналом блока 11 триггер 19 сбрасывается в исходное состояние и блЬк 22 умножения осуществляет арифметическую операцию умножения накопленного в
0
(D - П -а) л /2.
5 Величина, соответствующая абсолютному значению разности К1(А1(МИ)) и кода, определяющего амплитуду сигнала фотоприемника 4, проекция которой на ось абсцисс удалена от проекции амплитуды А 1(Ш) на ту же ось на 4/2 V, равна Л . При различных значениях уровня А1(МИ) величина Д ц может быть разной, но она .однозначно соответствует тому значению А1(Мй), 5 которое выбрано в конкретной реализации устройства, и не зависит от V. Необходимое для данной реализации устройства значение л , формируется . шифратором 17 и устанавливается на 0 нем перед измерениями. Тогда совершенно ясно, что момент наступления неравенства (D - пД) - /2 аналогичен- наступлению такого момента времени, когда при появлении на выходе коммутатора 14 импульса, соответствующего наличию на выходе фотоприемника 5 амтшитуды А2 гармонического сигнала, текущее значение кода К1(А1;), формируемого аналого-цифровым преобразо- 40 вателем 6, отличается от кода
К1(А1(МИ)) МИ на величину, не пре- вьшающую. к т. е
35
К1(А1j) К1(А1(МИ)) + Лк,
откуда и вытекает неравенство, выполнение которого проверяется блоком 11 сравнения.
Устройство может измерять как часть интерференционной полосы, так и дробную часть интерференционной полосы. Во втором случае число п в блоке 22 умножения необходимо умножать на константу Л/1;,.
После того, как выходным сигналом блока 11 триггер 19 сбрасывается в исходное состояние и блЬк 22 умножения осуществляет арифметическую операцию умножения накопленного в
ливая их к работе, и на управляющий вход регистра памяти. По нему в, указанный регистр заносится цифровой код К2, находящийся в этот момент времени на выходе аналого-цифрового преобразователя 7 и соответствующий мгновенной амплитуде А2 выходного сигнала интерферометра 3. Одновременно этот импульс переключает триггер 19, в результате чего на его выходе появляется уровень логической единицы. Он поступает на первые входы логического элемента И 10 и блока 12 сравнения, являясь для них сигналом разрешения их работы. После прихода этого уровня элемент И 10 формирует короткий импульс всякий раз при приходе на другой его вход Ш с формирователя 15 )диаграмма 10, фиг. 2), а блок 12 сравнения формирует короткий импульс всякий раз, когда цифровой код на выходе аналого-цифрового преобразователя 7 совпадает с кодом К2 (А2), хранящимся в регистре 9 памяти (диаграмма 12). На одном периоде с.игналов интерферометра 3 может быть два или одно значение амплитуды А2 (в зависимости от того, совпадает оно с экстремальными значениями амплитуды или нет). Поэтому коммутатор 14, управляемый сигналами блока 20 определения экстремума, формирует прямоугольный выходной сигнал каждый раз при формировании сигнала блоком 12 сравнения или через раз. Если моменты прихода на первый информаци- онньй вход коммутатора 14 сигналов с блока 12 сравнения совпадают с моментами поступления на его управляющий вход выходньж импульсов блока 2б определения экстремума (т.е. значение А2 совпадает с экстремальным значением амплитуды выходного сигнала фотоприемника 5), то на выход этого коммутатора 14 проходят сигналы с его первого информационного входа -(т.е. вьгходные сигналы блока 12 сравнения). Если же моменты прихода на первый информационный вход коммутатора 14 сигналов с блока 12 сравнения не совпадают с. моментами поступления на его управляющий вход выходных импульсов блока 20 определения экстремума, на выход этого коммутатора 14 проходят сигналы с второго его информационного входа,-т.е. выходные сигналы делителя 24 частоты, осуществляющего деление .частоты на 2, так как зафиксированное в регистре 9 памяти значение А2 амплитуды не совпадает с экстремальным значением амплитуды выходного сигнала фотоприемника 5.
В данном случае выполняется второе условие, поэтому на выход комму- татора 14 поступают сигналы с выхода 1делителя 24 частоты (диаграмма 14 |на фиг. 2) .
I Первый же Ш, появившийся на на выходе элемента И 10, поступает на управляющий вход регистра 8 памяти и переписывает в него код К 1, соответствующий амплитуде А 1.(МИ), т.е. амплитуде, при которой формирователем 15 формируется МИ. Достоянны код К 1 (А 1 (МИ)) и переменный код соответствующий мгновенному значению амплитуды выходного сигнала фотоприемника 4, поступают на два информационных входа коммутатора 13. В момент прихода на вход управления этого коммутатора 13 синхроимпульса с выхода коммутатора 14 и в течение времени, равного длительности этого синхроимпульса, коды с информационных входов коммутатора 13 проходят на его выходы и поступают в блок 18 вычитания. Таким образом, на информационных входах блока 18 вычитания в моменты времени, соответствзтощие появлению один раз в период на выходном гармоническом сигнале фотоприемника 5 запомненной под действием командного импульса амплитуды А2, появляются коды K1(A1j) и К1(А1(МИ)). Вследствие разницы величин периодов сигналов интеферометров 2 и 3 (KDAIg) t К1(А1,) t К1(А1.2) t .-... Блок 18 осуществляет их вычитание, в результате чего на первый информационный вход первого блока 11 сравнения в течение длительности синхро- импульса на управляющем входе блока 18 поступает код разности К1(А1 ) -К1(А1(МИ)), а на другой вход - код постоянного числа А , .формируемый: шифратором 17. Блок 11 сравнения анализирует относительную величину кодов на его информационных входах. При выполнении условия
К1(А1 ) - К1 (А1(МИ))к
он формирует короткий импульс (диаграмма 11 на фиг. 2), поступающий на вход Установка нуля триггера 19 и сбра сывающий его в исходное состоясчетчике 21 числа на константу, устройство заканчивает один цкки измерения и готово к следующему циклу, началом которого служит вьфаботка формирователем 16 следующего командного импульса. Результат измерения отображается индикатором 23.
Формула изобретени
Устройство для измерения части интерференционной полосы, содержащее оптически связанные источник монохроматического излучения, первый интерферометр и первый фотоприемник, оптически связанные с источником излучения второй интерферометр с регулируемой ценой полосы и второй фотрприемник, первый и второй аналого-цифровые преобразователи; входы которых связаны соответственно с выходами первого и второго фотоприемников, первый и второй блоки сравнения , первый и второй коммутаторы, первый и второй регистры памяти, первый и второй формирователи, блок определения экстремума, логический элемент И, триггер, делитель частоты последовательно соединенные счетчик, блок умножения и индикатор, второй аналого-цифровой преобразователь, второй регистр памяти, второй блок сравнения и второй коммутатор.соединены последовательно, вход счетчика соединен с выходом второго коммутатора, второй вход второго &лока сравнения соединен с выходом второго аналого-цифрового преобразователя, первый вход делителя частоты соединен с выходом блока сравнения, а выход 0
5
с вторым входом второго коммутатора, второй формирователь соединен с вторым входом счетчика, выход блока выделения экстремума сеединен с третьим входом второго коммутатора, выход второго фотоприемника соединен с входом блока вьщеления экстремума, о т- личающееся тем, что, с . целью повьппения точности, оно снабжено блоком вычитания и шифрвторог4, первый аналого-цифровой преобразователь, первый регистр памяти, первый коммутатор, блок вычитания и первый блок сравнения соединены последовательно, выход первого аналого-цифрового преобразователя соединен с вторым входом первого Коммутатора, второй выход которого соединен с вторым входом блока вычитания-, третий вход которого соединен с третьим входом первого коммутатора и выходом второго коммутатора, выход первого фотоприемника соединен с входом пер- 5 вого формирователя, выход которого соединен с первым входом логического элемента И, второй вход которого соединен с выходом триггера и третьим входом второго блока сравнения, а выход элемента И - с вторым входом первого регистра памяти, второй вход первого блока сравнения соединен с выходом шифратора, а выход - с Я входом триггера, выход второго формирователя соединен с S-входом триггера, вторым вход« 1 второго регистра памяти, вторым входом делителя частоты и четвер тым .входом второго
0
0
5
40
коммутатора, а вход второго формирователя предназначен для свяэи с объектом измерения.
Г
Л
.
- Л л л
Ш. V V 
Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения части интерференционной полосы йутем обеспечения цифровой обработки сигналов двух интерферометров. При перемещении объекта 25 измеряется часть периода выходного гармонического сигнала фо- топриемиика 4, преобразующего в электрический ток выходные, световые сигналы интерферометра 2. Текущее значение амплитуды сигнала преобразуется в код К 1 А1Щ 6. В регистре 9 памяти запоминается код, соответствующий амплитуде сигнала интерферометра 3 в момент начала цикла измерений. Блок 12 сравнения сравнивает текущее значение кода с кодом, записанным в регистре 9 памяти. При совпадении кодов на выходе коммутатора 14 формируется импульс. В этот момент в блоке 18 вычитания происходит сравнение кода К 1 и кода, соответствующего определенной амплитуде сигнала. Их разность & сравнивается с заранее установленной величиной ,(, и при Д d к блок 11 сравнения вырабатывает импульс, приводящий систему в исходное состояние. При блок 22 умножения осуществляет перемножение числа импульсов, подсчитанных счетчиком 21 за цикл измерения, и константы, равной разности цен полос интерферометров 2, 3. Результат отображается индикатором 23. 5 ил. fi &0 ел .l
Фие.2
