Форвакуумная криогенная ловушка Советский патент 1989 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в системах форвакуумной откачки.

Цель изобретения - повышение за- щитных свойств ловушки и снижение эксплуатационных расходов.

На фиг.1 изображена ловушка, про- дольный разрез5 на фиг.2 - разрез А-А на фиг,1.

Форвакуумная криогенная ловушка содержит вертикальный корпус 1 со съемной верхней крьппкой 2, снабженный входным патрубком 3 и выходным патрубком 4, размещенный в корпусе 1 и закрепленный на 2 сосуд 5 с криогенной жидкостью, установленный на сосуде 5 с образованием входной полости 6 внешний экран 7 из газопроницаемого высокотеплопровод- ного материала., и сильфон 8 с фланцем 9, подсоединенный к выходному патрубку 4 о ЛоЬушка дополнительно содержит внутренний газопроницаемый высокотеплопроводный экран, выполнен ный в виде ориентированной днищем вверх емкости 10, образующей с внутренними стенками 12 сосуда 5 промежуточную полость 11. Сосуд 5 выполнен в виде кольцевбго стакана 13 и закрепленной на стакане 13 раз ьем- ным теплопроводным соединением 14 в нижней части. В стенках стакана 13 выполнены сквозные окна 15, сообщающие входную 6 и промежуточную 11 по лости. Корпус 1 снабжен нижней съемной крьш1кой Мб, на которой установлены выходной патрубок 4 и сильфон 8 с фланцем 9, контактирующим с внутренним экраном 10, а входной патрубок 3 размещен посредине высоты внешнего экрана 7.

Кроме того, внутренний экран може быть выполнен из чередующихся газопроницаемых 17 и сплошных 18 высоко- теплопроводных участков, контактирующих с кольцевым стаканом 13. Внешний экран 7 закреплен на стакане 13 при помощи ребер 19, а фланец 9 контактирует с емкостью 10 через уплот- нение 20.

Ловушка работает следующим образом.

Через входной патрубок 3 в пространство между корпусом 1 и внешним экраном поступает откачиваемый газ. В промежуточную полость 6 газ может попасть только через экран 7. Проходя через охлажденную пористую структуру высокотеплопроводного материала экрана 7, откачиваемый газ контактирует с охлаждаемыми поверхностями, в результате чего в них эффектно вымораживаются содержащиеся в газе пары воды. Оставшиеся несконденсированными водяные пары вымораживаются на стенках кольцевого стакана 13 и на внутреннем экране, что повышает защитные свойства ловушки.

Охлаждение внешнего экрана 7 обеспечивается при помопщ теплопроводных ребер 19, установленных на стакане 13. Для обеспечения равномерного вымораживания паров воды на всей поверхности экрана 7 входной патрубок 3 размещен посредине высоты внешнего экрана 7. Вследствие этого газ равномерно поступает в полость 6 через всю пористую поверхность экрана 7. Из полости 6 газ через сквозные окна 15 поступает в полость 11 и отводится через пористую емкость 10, сильфон 8 и выходной патрубок 4 во внешдее средство откачки (не показано)о Пары рабочей жидкости, мигрирующие из средства откачки и двигающиеся навстречу откачиваемому газу, вымораживаются на охлаждаемой поверхности пористого высокотеплопроводного материала внутреннего экрана. Для эффективного вьмораживания этих паров достаточна су1цественно менее плотная газопроницаемая структура емкости 10 по сравнению со структурой внешнего экрана 7. Это предотвращает перекры- тие пор емкости 10 конденсатом паров рабочей жидкости и обеспечивает беспрепятственное прохождение откачиваемого газа. Равномерное охлаждение емкости 10 обеспечивается отводом тепла от нее к стакану 13. Уплотнение 20, фланец 9 и сильфон 8 отделяют полости 6 и 11 от внутреннего пространства лов,ушки, сообщенного с входным патрубком 3. Сильфон 8 обеспечивает поджатие уплотнения 20 к емкости .10, При очистке ловушки снимают крьш1ку 16 и сильфон 8 с фланцем 9, после чего вынимают емкость 10 удаления конденсата паров рабочей жидкости, а после съема верхней крьщ1ки 2 удаляют конденсат воды с внешнего экрана 7,

Использование предлагаемой ловушки позволяет повысить надежность ее работы в широком диапазоне давлеНИИ и улучшить ее свойства.

эксплуатационные

Формулаизобретения

1. Форвакуумная криогенная ловушка, содержащая вертикальный корпус со съемной верхней крьпикой, снабженный входным и выходным патрубками, JQ размещенный в корпусе и закрепленный на крьшке сосуд с криогенной жидкостью, установленный на сосуде с образованием входной полости внеш- ний экран из газопроницаемого высоко- 15 температурного проводного материа- ла, и сильфон с фланцем, подсоединенный к выходному патрубку, отличающаяся тем, 47-0, с целью по- вьшения защитных свойств ловушки 20 и снижения эксплуатационных расходов, ловушка дополнительно содержит внут- ренний газопроницаемый высокотеплопроводный экран, выполненный в виде ориентированной днищем вверх емкости, размещенной с образованием про- межуточной полости с внутренними стенками сосуда, выполненного в виде кольцевого стакана, и закрепленной на последнем разъемным теплопроводным соединением в нижней части, в стенках стакана выполнены сквозные окна, сообщающие входную и промежуточные полости, корпус снабжен нижней съемной крьшкой, на которой установлены выходной патрубок и сильфон с фланцем, контактирующим с внутренним экраном, а входной патрубок размещен посередине высоты внешнего экрана.

2. Ловушка по П.1, отличающаяся тем, что внутренний экран выполнен из чередующихся между собой газопроницаемых и сплошных высокотеплопроводных участков, контактирующих с кольцевым стаканом.

Изобретение относится к вакуумной технике и м.б, использовано в системах форвакуумной откачки. Цель Изобретения - повышение защитных свойств ловушки и снижение эксплуатационных расходов. Вертикальный корпус со съемной крышкой 2 снабжен входным и выходным патрубками (П) 3 и 4. Сосуд 5 с криогенной жидкостью размещен в корпусе 1 и закреплен на крышке 2. Внешний экран 7 из газопроницаемого высокотемпературного проводного материала установлен на сосуде 5 с образованием входной полости 6. Сильфон 8 с фланцем 9 подсоединен к П 4. Внутренний газопроницаемый теплопроводный экран выполнен в виде ориентированной днищем вверх емкости 10, размещенной с образованием промежуточной полости 11 с внутренними стенками 12 сосуда 5. Сосуд 5 выполнен в виде кольцевого стакана 13, В стенках стакана 1 3 выполнены сквозные окна 15,сообщающие полости 6 и 11. Корпус 1 снабжен нижней съемной крышкой 16, на к-рой установлены П 4 и сильфон 8 с фланцем 9. Фланец, 9 контактирует с экраном 10. П 3 размещен посредине высоты экрана 7. Экран 7 выполнен из чередующихся газопроницаемых и сплошных высркотеплопроводных участков, контактирующих со стаканом 13. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. 2 S сл .7

Редактор Л.Пчолинская

Составитель Е.Забугин

Техред М.Дидык Корректор М.Васильева

Заказ 1339/40

Тираж 520

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

/5

Фцг. 2

Подписное