Способ травления германия Советский патент 1962 года по МПК C25F3/12 

В отличие от известных способов, травление германия предложено осуществлять электрохимическим путем в ортофосфорной кислоте, применяя реверсирование тока. В результате удается достигнуть равномерности этого процесса и получить поверхность германия, травленую до зеркального блеска.

Травлению подвергают монокристаллы германия «-типа. Электролитом служит раствор ортофосфориой кислоты удельного веса 1,52. Режим электролиза: плотность тока 15-20 температура раствора 20°С.

Пластинку из германия я-типа с припаянным к ней никелевым контактом помещают в электролит на анод. При этом контакт и никелевую проволоку, тщательно изолируют органической пленкой, чтобы предотвратить взаимодействие их с электролитом. В качестве катода используют платиповую проволоку. Периодичность изменения полярности тока составляет 3 сек при анодной поляризации пластинки и 1/4 сек - при катодной. Травление идет равномерно по всей поверхности, со скоростью 60-70 мк/час. Готовая поверхность получается без фигур травления, имеет зеркальный блеск.

Способ может быть использован при мерном и локальном травлении по заданному рисунку с применением органических пленок сравнительно невысокой химической стойкости. Так, рисунки на основе фотоэмульсии из поливинилового спирта выдерживают травление в указанном электролите около 2 час.

Электролит безвреден, недефицитен, сравнительно не агрессивен и поэтому не требует применения особо стойкой химической аппаратуры.

: jr,

№ 148700

К преимуществам способа относятся легкая управляемость процесса и точность контроля травления. Он может найтн применение в радиотехнической промышленности при производстве различных микромодулей, а также при металлографическом контроле монокристаллов германия.

Предмет изобретения

Способ травления германия, отличающийся тем, что, с целью равномерности травления и получения зеркального блеска поверхности, травление осуществляют электрохимически в ортофосфорнойKHCJ-OTe с применением реверсирования тока.