Изобретение относится к полупро- йодниковой технике и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых приборов.
Цель изобретения - повышение точности, контроля.
.На чертеже показана функциональная схема устройства для контроля зарядовой стабильности полупроводниковых структур.
Устройство содержит коронирующий электрод 1, зонды 2 для контроля структур, основание 3 для -пластин, измеритель 4 электрических парамет-. IJOB, церекпючатель 5, токосъемный
резистор 6, элемент 7 памяти, источник 8 опорного напряжения, регули- Груюгдий элемент 9, генератор 10 постоянного высокого напряжения. Измеряемая пластина обозначена позицией 11.
. Устройство работает следующим образом.
С помощью источника 8 опорного напряжения устанавливают напряжение на коронирующем электроде так, чтобы на измеряемой пластине 11 обеспечивалась необходимая поверхностная плотность заряда. При этом величину заряда, на пластине оценивают по вели
(
05
Ьо
Редактор Н.Тимонина
Составитель К,Беленов Техред А.Кравчук
Корректор Н.Борисова
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЗАРЯДОВОЙ СТАБИЛЬНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОРОННОГО РАЗРЯДА | 2006 |
|
RU2312424C1 |
| Способ контроля зарядовой стабильности структур диэлектрик-полупроводник с приповерхностным @ - @ -переходом | 1990 |
|
SU1755218A1 |
| Способ испытания полупроводниковых приборов с МДП-структурой | 1982 |
|
SU1114992A1 |
| СПОСОБ ДЕЗИНФЕКЦИИ ЖИВОТНОВОДЧЕСКИХ ПОМЕЩЕНИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1991 |
|
RU2015667C1 |
| БЕЗВАКУУМНОЕ ПЕРЕДАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ МАЛОКАДРОВОГО ТЕЛЕВИДЕНИЯ | 1964 |
|
SU215257A1 |
| ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2015 |
|
RU2618598C1 |
| СПОСОБ ПОЛЯРИЗАЦИИ ПЛЁНКИ ИЗ ПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2021 |
|
RU2755643C1 |
| ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СХЕМА И СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОГО СИГНАЛА | 1990 |
|
RU2137145C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТЫ ДЕТАЛИ | 2011 |
|
RU2485441C1 |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И ГЕТЕРОСТРУКТУР | 1991 |
|
RU2028697C1 |
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля зарядовой стабильности полупроводниковых структур. Цель изобретения - повышение точности контроля. Устройство содержит коронируюпщй электрод, зонды для контакта со структурбй, основание для пластины, измеритель электрических -параметров, переключатель, токосъемный резистор, элемент памяти, источник опорного напряжения, регу- Л1ФУЮШИЙ элемент, генератор постоянного высокого напряжения. С помощью источника опорного напряжения на ко- ронирующем электроде напряжение устанавливается таким, чтобы обеспечивалась необходимая плотность заряда. При этом величину заряда на пластине оценивают по величине падения напряжения на токосъемном резисторе, затем по сигналу измерение, подаваемому с управляющего выхода -измерителя электрических параметров на управляющие входы переключателя и элемента памяти, основание соединяется с входом измерителя электрических параметров, а элемент памяти запоминает величину напряжения на токосъемном резисторе. 1 ил. i W С а .
| Патент США № 3723873, кл | |||
| Катодное реле | 1921 |
|
SU250A1 |
| Патент США №4168432, кл | |||
| Катодное реле | 1921 |
|
SU250A1 |
