Потенциальный зонд для измерения типа проводимости полупроводниковых материалов Советский патент 1962 года по МПК H01L21/66 

Известны потенциальные зонды для измерения типа проводимости полупроводниковых материалов.

Отличительная особенность описываемого потенциального зонда состоит в том, что он выполнен в виде колусообразного металл,ического, например латунного, стерЖНЯ с полостью для жидкого газа. Потенциальный зонд такой конструкции повышает чувствительность измерения к избыточной концентрации акцепторных примесей.

На фиг. 1 схематически изображен описываемый потенциальный зонд, вид сбоку в разрезе; на фиг. 2 - схема включения потенциального зонда.

Зонд / представляет собой латунный конусообразный стержень 2 с полостью 3. При опуска.нии зонда в сосуд 4 Дюара с жидки.м азотом он через боковые отверстия в стенках заполняется жидким газом. Включается зонд по обычной схеме потенциального зонда. Через контакт зонда со слитком 5 пропускается переменный ток от источника регзлируемого напряжения.

Падение напряжения на контакте и на сопротивлении j, включенном последовательно слитку, подается соответственно на горизонтальный и вертикальный усилители электронного осциллографа 6, на экране которого наблюдается вольтамперная характеристика.

Для проведения измерения зонд опускают в сосуд Дюара, где он охлаждается в течение 20-30 сек. Затем зонд приводится в контакт со слитком. Хорошая теплопроводность контакта создает в слитке локальную область примесной проводимости, т. е. собственные носители заряда в этой области практически отсутствуют. При этом размеры охлажденной области должны .превышать диффузионную, .длину неисновн.мх носителей заряда, чтобы рекомбинационные процессы не искажали резу., га гов измерений.

Предлагаемый зонд может найти применение для контроля слигков полупроводников, например германи, 00 типу проводимости.

Предмет изобретения

Потенциальный зонд для измерения - типа проводимости полупроводниковых материалов, отличающийся тем, что, с целью повы шения чувствительности измерения к избыточной концентрации акцепторных примесей, он выполнен в виде конусообразного металлического, например латунного, стержня, снабженного полостью для жидкого газа.

,