/2
315
Изобретение относится к иэмерител пой технике и может быть использовано к авиационной и радиотехнической промышленности для неразрушающего контроля толщины диэлектрических покрытий металлов, например, лакокрасочных нокрыти металлических изделий. .
Цель изобретения - повышение точ- ности измерения.
На чертеже представлена структурная электрическая схема устройства для измерения толщины ди )Лсктричес- ких покрытий металлов. ,
Устройство содержит источник 1 излучения, первый 2 и второй 3 волно водно-лучевые переходы, уголковый СВЧ-переход А, образованный двумя отрезками линии передачи СВЧ-детек- тор 5 излучения, селективный усилитель 6, экстрематор 7, блок 8 выборки и хранения напряжения, делитель 9 напряжений, индикатор 10 и блок II управления частотой.
Устройство работает следующим образом.
Линейно-поляризованные амплитуд- но-модулированные СВЧ-колебания переменной частоты от источника 1 излучений направляются в первый гзолноводно-л евой переход 2, в котором преобразуются в основной тип волны попого диэлектрического луче- вода, причем источник 1 излучения и во,т1новодно-лучеоой переход 2 уста- .аипаются образом, что плоскость пс ляризации СБЧ-волны составляет 45 с плоскостью падения. После волноводно-лучевого перехода 2 СВЧ- волна направляется в СВЧ-переход А, который устанавливаете на исслсг/ .уе- мое диэ.пектр1-гческое покрытие 12 металла. Отраженная от диэлектрччес- кого покрытиг: металла СВЧ-волиа, в общем с .лучае эллиптической поляризации, поступазт во второй волновод- но-лучевой переход 3, где преобразуется в осношюй тип волны металлического волновода и детектируется СВЧ-детектором 5. Второй волноводно- лучевой переход 3 повернут относително плоскости паде шя на угол - и обеспечивает прирм составляюшей эллиптически поляризованной СВЧ-вол- ны, интенсивность которой пропорцио- иальна малой оси эллипса по.тяриза- ции, Продетектированный сигнал тгосту
5
87
5
0,
0 1Q 0
4
тает на селек1 И ный усилитель 6 , где ус;.;1иваотси и подается одновременно на Bxn;i экст;)ем;п ора 7 и блока 8 выборки и хранения напряженип. При изменеини частоты СВЧ-колебаний изменяется величина продетектирован- ного сигнала и в соответствии с сигналами экстрематора 7 и блока 11 управления частотой, поступающими соответственно на и второй входы блока 8 выборки и хранения напряжения, последняя выделяет и запоминает напряжения соответствующие значению сигнала на фиксированной частоте f,. и его минима,г1ьному значению за время изменения частоты. Указанные сигналы поступают на входы делителя 9 напряжений, где осуществляется их деление.
Результирующий сигнал индицируется индикатором 10. Этот сигнал пропорционален отношению напряжений, соответствующих эллиптичности отраженной СВЧ-волны (tg) и отношению амплитуд Р- и 5-компо ент падающей СВЧ-волны (.). Справедливость этого ут верждени) связана с тем, гго поляризационные параметры отраженной ГВЧ- волны, измеренные на частоте, соответствующей минимуму кроссполяриза- ционной составляющей отраженной СВЧ- волны, совпадают с поляризационными характеристиками падающей СВЧ-волны. Толщина диэлектрического покрытия металл;. зависит от указанного отно- тчення напряжений следующим образом:
л -Л- .cosLP:. tglrn
2И1, l-nVn| ., tgVnoA
где Л - длина СВЧ-волны в свободном
пространстве;
р. и п,- у,иэлект1зические постоянные воздуха и диэлектрического покрытия металла соответственно;
ЦТ, --угол паден-ня СВЧ-волны. Таким образом, определяемая величина с1 может быть либо вычислена по измеренному отношению tgA /tgt,„д в соответствии с выражением (1), либо определена по показаниям заранее откапиброванкого индикатора.
Положительный эффект достигается за счет Toi o, что в предлагаемом техническом решении измерено отношение tej/tgc ; г|ад (Соответственно реальному значению tgi в общем случае отличному от 1, При определеНИИ величины d с помощью иэпестного устройства измерение tg)f/tg(.f невозможно, ввиду чего предполагалось -ёО пл, чбт неточности установки плоскости поляризации относительно плоскости падения дгл падаюте ; ГВЧ- волиы позволяет повысить точность измерения.
Формула изобретения
Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий металлов, содержащее блок управления частотой, первый выход которого соединен с источником излучения, выход которого соединен с первым волноводно-лучевым переходом, второй волноводно-лученой переход, оси симметрии которых пересекаются под углом 90 , при этом плоскость поляризации в первом солно водно-лучевом переходе составляет угол 45 с плоскостью падения, а плоскость поляризации во втором волноводно-лучевом переходе состаьпяст
, г о
угол-4Ь с плоскостьп падения, причем оба волноводно-лучевых перехода связаны оптически друг с другом по- средстном исследуемого диэлектрического покрытия металла, при этом выход
5
0
5
0
второго волноводно-лучевого перехода соединен последовательно с СВЧ-детек- тором и селективным усилителем, выход которого соединен с первым входом блока выборки и хранения напр шения, выходы которого соединены с первым и вторым входами делителя напряжений, выход которого соединен г, входом индикатора, отличающееся тем, что, с пелью повышения точности измерения, дополнительно введен уголковыг переход, входы которого соединены соосно с первым и вторым волноводно-лучевыми переходами соответственно, уголковый переход образован двумя отрезками линии передачи, входы которых являются входами уголкового перехода, и отражателем, л качестве которого используется исследуемое диэлектрическое покры- установленное под
линии
передачи, введен экстрематор, вход которого соединен с выходом селективного усилителя, а выход - с вторым входом блока выбор1си и хранения напряжений, третий вход которого соединен с вторьгм выходом блока управления частот.
тис металла,
45 к осям cим 1eтpии отрезков
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СВЧ-эллипсометр | 1987 |
|
SU1499196A1 |
Способ частотно-модуляционной эллипсометрии | 1982 |
|
SU1060955A1 |
Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий металлов | 1982 |
|
SU1103069A1 |
Способ определения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков и устройство для его осуществления | 1983 |
|
SU1176266A1 |
Эллипсометрический способ измерения расстояния или плоскостности | 1989 |
|
SU1657952A1 |
Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий | 1986 |
|
SU1318938A1 |
Устройство для измерения толщины и диэлектрической проницаемости диэлектрических пленок | 1983 |
|
SU1149187A1 |
Способ определения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков | 1985 |
|
SU1296963A1 |
Способ измерения толщины диэлектрических покрытий металлов и устройство для его осуществления | 1990 |
|
SU1753379A1 |
Способ неразрушающего контроля механической анизотропии диэлектрических материалов | 1989 |
|
SU1689815A1 |
Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения. Устройство содержит источник 1 излучения, волноводно-лучевые переходы 2 и 3, уголковый СВЧ-переход 4, образованный двумя отрезками линии передачи и отражателем, в качестве которого используется исследуемое диэлектрическое покрытие 12 металла, СВЧ-детектор 5 излучения, селективный усилитель 6, экстрематор 7, блок 8 выборки и хранения напряжения, делитель 9 напряжения, индикатор 10 и блок 11 управления частотой. Точность измерения толщины диэлектрических покрытий металлов достигается за счет обеспечения учета неточности установки плоскости поляризации относительно плоскости падения для падающей СВЧ-волны. 1 ил.
Изв | |||
Еысш | |||
учеб.закедсний | |||
Радиоэлектроника, 1968, № 6, с | |||
ПРИСПОСОБЛЕНИЕ В ЛЕСОПИЛЬНОЙ РАМЕ ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО ИЗМЕНЕНИЯ ПОДАЧИ С ИЗМЕНЕНИЕМ ТОЛЩИНЫ БРЕВНА | 1923 |
|
SU643A1 |
Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий | |||
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
В.В.Клюева.- Изд | |||
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Приспособление для нагрузки тендеров дровами | 1920 |
|
SU228A1 |
Авторы
Даты
1989-09-07—Публикация
1987-06-23—Подача