СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕЧИ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1962 года по МПК G01M3/32 

Известные способы измерения течи вакуумных установок, промытых инертным газом, тре буют больших затрат времени.

Предлагаемый способ позволяет ускорить процесс измерения. Он отличается тем, что определеиие ведут по изменению парциального давления парамагнитного компонента, например кислорода, за определенный промежуток времени с помощью термомагнитного газоанализатора с повышенной чувствительностью при низких давлениях.

На чертеже изображена принципиальная схема газоанализатора.

Датчик газоанализатора состоит из двух цилиндрических латунных камер / внутренним диаметром 20 мм, в которых с помощью медных пружинок 2 натянуты платиновые нити диаметром 50 мк и длиной 14 см. Эти нити являются двумя плечами измерительного моста с обп1,ей вершиной. Они подогреваются ири постоянном токе 100 ма. В диагональ моста включен микровольтметр 3. Обе камеры 1 сообщаются между собой посредством трубки 4. Одна нз камер помещена в соленоид 5 (число витков 300, ток через соленоид 0,2 а). Если в газе содержится кислород, включение соленоида 5 изменит солротивление нити, в результате чего изменится балансировка моста. Рабочее давление газоанализатора 0,5-3,0 мм

рт. ст. (в этих пределах показания не зависят от давления). Чувствительность газоанализатора 0,1-0,2% по кислороду. Датчик газоанализатора имеет вентиль, через который его с помощью резиновой трубки присоединяют к вакуумной системе.

Течь вакуумной установки измеряют следующим путем.

Проверяемую систему (вместе с газоанализатором) промывают техническим азотом и откачивают до давления 0,5 мм рт. ст. Измеряя концентрацию кислорода и общее давление, определяют соответствующее данному моменту парциальное давление кислорода в системе, изменением которого за известное время может быть определена течь.

Диффузия обеспечивает быстрое перемешивание газа в системе и газоанализаторе, который достаточно точно определяет истинную концентрацию кислорода в проверяемом объеме. Общее давление также измеряют этим газоанализатором путем введения некоторых дополнений в его электрическую схему.

Переход от измерения концентрации кислорода к измерению давления осуществляется на панели газоанализатора.

Предмет изобретения

Способ измерения течи вакуумных установок, промытых инертным газом, отличающийся тем, что, с целью ускорения измерения, определение ведут по изменению парциального

давления парамагнитного компонента, например кислорода, за определенный промежуток времени с помощью термомагнитного газоанализатора с повышенной чувствительностью при низких давлениях.

гУ- 2 Питаниемоста