Показать метаданные Скрыть метаданные

(19)

(11)

1 507 114

(13)

(51)

МПК

H01J17/22(2000-01-01)

(21) (22)

Заявка

4364894, 1988-01-18

(22)

дата подачи заявки

1988-01-18

(45)

опубликовано

1991-01-07

(72)

авторы

Вересов Л.П.Литвинов П.А.Неустроев Ю.П.Николаев Э.С.

Затвор для импульсного напуска газа Советский патент 1991 года по МПК H01J17/22

Описание патента на изобретение SU1507114A1

(46) 07.01,91. Бюл. № 1

(21)A364894/2I

(22)18.01.88

(72) Л.П.Вересов, П.А.Литвинов, Ю.П.Неустроев и Э.С.Николаев

(53)621.527.2(088.8)

(56)Приборы и техника эксперимента. М., 1975, Р 5, с. 169-170.

Приборы и техника эксперимента. И., 1980, I 1, с. 251-252.

(54)ЗАТВОР ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО НАПУСКА ГАЗА

(57)Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использова- ио для дозированного напуска порций газа в вакуумные объемы различных электрофизических устройств, например в разрядные камеры плазменных источников ионов. Цель изобретения - повышение надежности и долговечности достигается путем уменьшения количества герметизирующих стыков и уменьшения количества элементов, находящихся в полости газового тракта. Затвор для импульсного напуска газа содержит фланец 1 с седлом 2, клапан, выполненный в виде якоря 3 с уплотняющим элементом 4, пружину 5, электромагнит 6, корпус 7, уплотняющее кольцо 8, гайки 9 и 10, мембрану 11, герметизирующую с помощью ножевидного уплотнения 12 полость 13 газового тракта затвора. На корпусе 7 электромагнита 6 размещена катушка 15. Дозирующее отверстие 16 выполнено соосно фланцу 1. Магнитопровод 17 установлен в корпусе 7. Предложенный затвор для импульсного напуска газа позволяет повысить термостойкость, обеспечивает удобство регулировки рабочего зазора, снижает расход рабочего газа. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

с Ш

сл

Иллюстрации к изобретению SU 1 507 114 A1

Реферат патента 1991 года Затвор для импульсного напуска газа

Формула изобретения SU 1 507 114 A1

ел о

Фил1

315

Изобретение относится к области вакуумной техники и предназначено для дозированного напуска порций газа в вакуумные объемы различных электрофизических устройств, в частности в разрядные камеры плазменных источников ионов.

Целью изобретения является повы- 1аение надежности и долговечности за счет уменьшения количества гермети- зирукщих стыков и уменьшения чества элементов, находящихся в полости газового тракта.

На фиг. 1 представлен затвор для импульсного напуска газа, в разрезе; на фиг, 2 - разрез А-А иа фиг. 1; на 1фиг, 3 - узел I на фиг. 1. Затвор для импульсного напуска газа содержит фланец 1 с седлом 2, апан, вьтолненный в виде якоря 3 JC уплотняющим элементом 4, элемент возврата в виде металлической пружины 5, электромагнита 6 с корпусом 7 упло -няющего кольца 8, накидной гай- ки 9, контргайки 10 и мембраны 11, герметизирующий с помощью ножевидного уплотнения 12 полость 13 газового тракта затвора. Для надежной зации под мембраной 11 расположено медное кольцо 1А. На корпусе 7 электромагнита 6 размещена катушка 15. До- эирукпдее отверстие 16 выполнено соос- ио фланцу 1. Магнитопровод 17 установлен в корпусе 7 электромагнита 6.

Затвор работает следующим образом.

Рабочий газ из питающей системы поступает в полость 13 эатвора, при подаче электрического импульса на катушку 15 электромагнита 6 якорь 3

притягивается к нему, отрьшаясь от седла 2, и открывает проход рабочему газу через дозирующее отверстие 16 в вакуушгый объем газоразрядной камеры источника. По окончании электрического импульса якорь 3 под деист- вием пружины 5 прижимается к седлу 2 закрывая доступ газа в разрядную камеру. Под давлением газа в системе мембрана 11 прилегает к торцу электромагнита 6 в зоне его полюсов и со- .храняет свою работоспособность. При рвгулировани11 зазора в сторону его

5 0 5 О

уменьшения корпус 7 ввинчивается по гайке 9, при этом мембрана 11 деформируется и рабочий зазор между торцом якоря 3 и торцом магнитопровода 17 электромагнита 6 уменьшается и наоборот. При этом, поскольку пружина 5 опирается по периферии мембраны 11 в зоне ее герметизации, то деформации ее не происходит и, следовательно, усилие ее воздействия на якорь 3 остается постоянным.

Затвор для импульсного напуска rasa позволяет повысить термостойкость, обеспечивает удобство регулировки рабочего зазора, снижает расход рабочего газа.

Формула изобретения

1.Затвор для импульсного напуски газа, содержащий седло с фланцем и с дозирующим отверстием, соосно которому размещены клапан, выполненный в виде якоря и снабженный элементом возврата, электромагнит с магнитопро- водом, размещенный в корпусе, и накидная гайка, отличающийся тем, что, с целью поышения надежное ти и долговечности, в него введена мембрана, которая жёстко и соосно дозирующему отверстию закреплена на фланце седла между якорем и электро- магнитом накидной гайкой с осевым отверстием, в котором установлен корпус электромагнита с возможностью осевого перемещения и деформации мембраны магнитопроводом.

2.Затвор по п. 1, отличак - щ и и с я тем, что мембрана выполнена из ферромагнитного материала.

3.Затвор по пп. 1и2,отличающийся тем, что элемент возврата выполнен в виде кольца, закрепленного на клапане, и радиальных лепестков, размещенных с возможностью скольжения по периферии мембраны.

А. Затвор по пп. 1 - 3, о т л и- чающийся тем, что элемент возврата выполнен из ферромагнитного материала, например пермаллоя.

Редактор Т.Юрчикова

Составитель Ю.Яресьхо

Техред М.Дидык Корректор В. Кабаций

Заказ 672

Тираж 307

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Носква, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Проиэводстввнио-надательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Фиг.г

Фиг.з

Подписное

SU 1 507 114 A1

Авторы

Вересов Л.П.

Литвинов П.А.

Неустроев Ю.П.

Николаев Э.С.

Даты

1991-01-07—Публикация

1988-01-18—Подача