Способ измерения поверхностной плотности покрытия Советский патент 1989 года по МПК G01B15/02 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам контроля толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений.

Цель изобретения - повышение точности измерения поверхностной плотности покрытия на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контроля по интенсивности прошедшего через подложку излучения источника.

На чертеже приведен пример реализации предлагаемого способа.

Изделие, состоящее из сложнопро- фильной алюминиевой подложки 1 с хаотически расположенными каналами 2 и покрытия 3, со стороны подложки облучают узким пучком 4 моноэнергетического ионизирукяцего излучения, находящегося в конвейере - формирователе 5 радионуклида 6. Выходящее из изделия излзгчение регистрируют сцин гилляционным детектором 7, под- ;ключенным к устройству 8 амплитудной селекции электрических импульсов со счетчиками на выходе. Один канал устройства 8 настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии источника. Второй канал настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии рентгеновской флуоресУ1

9d

ценции покрытия, возбужденной источником. Таким образом, первый счетчик за установленный интервал наблюдени зафиксирует N, импульсов, вызванных фотонами радионуклида 6, и N импульсов, вызванных фотонами рентгеновской флуоресценции покрытия 3. Сопоставляя N иН„ путем деления, получают коэффициент, являющийся мерой величины поверхностной плотности покрытия .

Следовательно, .

,f,A, ..f..

N.

М„е

К . . i

(«

f - Г.

N,, у-„,-/-л L

(

-Ч,

«,.| -

пото .л Л гтуче

где N,, - чис ю регистрируемых фотонов ис очника к отсутствии изделия; - коэффи1у1ент ослабления учения подложкой для фотонов ис.т(.(, покрытием для фотонов источника, покр лтием для фотонов реитгено/пск : : флуоресценции покрытия соотвстгтв- п п; К - коэффициент пре- обра: опэи;г-г (Ьотонов излучения .чсточ ника п фогоны рентгеновской флуорес- цсн;;ии покг/ытия ,

Таким образом,результаты измерения не зависят не только от свойств подложки, но и от стабильности начального потока излучения.

Формула изобретения

Способ измерения поверхностной плотности покрытия, заключающийся в том, что на объект контроля направляют первичный поток ионизирующего излучения, регистрируют интенсивность прошедшего через объект контроля излучения, соответствуюргуто двум уровням энергий, и определяют величину поверхностной плотности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения поверхностной плотности покрытия на подложках , с переменным составом, первичный поток излучения направляют на объект контроля со стороны подложки, в качестве одного уровня энергии выбирают уровень энергии источника ионизирующего излучения, в качестве другого уровня - уровень энергии рентгеновской флуоресценции, возбужденной первичным потоком в покрытии, а величину поверхностной плотности определяют по отно1пению интенсивностей излуче1 ния выбранных уровней.

Изобретение относится к измерительной технике, к средствам контроля толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений. Цель изобретения - повышение точности измерения на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контроля по интенсивности прошедшего через подложку излучения источника. Выходящее из изделия излучение регистрируется детектором, подключенным к устройству амплитудной селекции. Сопоставляя интенсивности излучений флуоресценции покрытия и излучение источника, ослабленного в подложке, получают коэффициент, являющийся мерой величины поверхностной плотности покрытия. 1 ил.

Редактор Е.Плпп

Составитель В.Парнасов

Техред А.Кравчук Корректор Л.Патай

Заказ 6373/39

Тираж 683

ВМИ51ПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное