Способ измерения сдвига интерференционной полосы Советский патент 1989 года по МПК G01B21/00 G01B9/02 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения сдвига интерференционных полос в интерферометрах с модуляцией оптической длины.

Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерференционного сигнала.

На чертеже представлена блок-схема устройства, реализующего способ.

Устройство состоит из интерферометра 1, модулятора 2, механически связанного с одним из плеч интерферометра 1, последовательно соединенных фотоприемника 3, расположенного в выходной плоскости интерферометра 1, усилителя k, компаратора 5, формирователя 6 фронта, блока 7 выборки и хранения, сумматора 8, аналого-цифрового преобразователя 9 и вычислительного блока 10, последовательно соединенных формирователя Н среза, вход которого подключен к выходу компаратора 5, и блока 12 выборки и хранения , выход которого подключен к второму входу сумматора 8, (юрмировате- ля 13 импульса запуска, выход которого подключен к входу запуска преобразователя 9, генератора k, выходы которого подключены к входам модулятора 2 и формирователя 13, и вторым входам блоков 7 и 12, и источника 15 опорного напряжения.

Способ осуществляют следующим образом.

Интерферометр 1 формирует интерференционную картину в плоскости фотоприемника 3. Картина модулируется при ПОМО1ЧИ модулятора 2, подключенного к генератору 1. Сигнал с фотоприемника 3 усиливается усилителем k и сравнивается при помощи компаратора 5 с уровнем постоянного напряжения, поступающего от источника 15 опорного напряжения. В момент перехода интерференционного сигнала через уровень постоянного напряжения в поС

ел

со

ложительную сторону формирователь 6 формирует импульс, по которому происходит запись в блок 7 мгновенного значения модулирующего напряжения генератора И. В момент перехода интерференционного сигнала через уровень постоянного напряжения в отрицательную сторону формирователь 11 формирует импульс, по которому происходит запись в блок 12 выборки-хранения мгновенного значения модулирующего напряжения. Два этих значения пода- ются на сумматор 13 с коэффициентом передачи 1/2 по обоим каналам, где находится их полусумма. Это напряжение подается на преобразователь 9 который запускается формирователем 13i срабатывающим на обратном ходе генератора 1. Значение кода преобразователя 9 по сигналу Готов передается в вычислительный блок 10. Таким образом, на прямом ходе генератора модулирующего напряжения осуществляется измерение двух последовательных мгновенных знамений модулирующего напряжения, их запоминание в блоках 7 и 12 выборки и хранения нахождение полусуммы, а на обратном ходе - преобразование полусуммы в цифровую форму, хранение цифрового кода и его передача в вычислительный блок 10. Напряжение ис

5

0

5

0

точника опорного напряжения выбирают больше уровня интерференционного фона, что позволяет более точно определять сдвиг интерфереЯционной полосы .

Формула изобретения

Способ измерения сдвига интерференционных полос, заключающийся в модуляции разности хода интерферирующих лучей, регистрации интенсивности интерференционной картины, измерении величины модулирующего воздействия и определения величины и направления сдвига интерференционных полос с учетом величины модулирующего воздействия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, модуляцию осуществляют с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны интерферирующих лучей, величину модулирующего воздействия измеряют дважды в моменты последовательного перехода интенсивности интерференционной картины через постоянный уровень, превышающий величину постоянной составляющей интерференционного сигнала, а величину и направление сдвига полос определяют по полусумме измеренных величин модулирующего воздействия.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерфереционного сигнала. Способ заключается в модуляции разности хода интерферирующих лучей с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны, измерении величин модулирующего воздействия в моменты когда интенсивность интерференционного сигнала переходит через постоянный уровень, и определении направления и величины сдвига интерференционных полос по полусумме измеренных величин. 1 ил.