Способ измерения вакуума Советский патент 1989 года по МПК G01L21/30 

ft fO 8 {

3 ,,5 V4

Изобрете1те относится к приборостроению и может быть использовано для измерения высокого и сверхвысокого вакуума,

Целью изобретения является повьше- ние точности измерений за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления.

На чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого способа

Устройство для реализации способа содержит два накаливаемых катода 1, анод 2, магнит 3, экран 4 катода, диафрагму анода 5 с кольцевой щелью 6 анода, генератор 7 П-образиого импульсного напряжения, экран 8 вторично-электронного умножителя целевого типа кольцевой геометрии, вход 9 вторично-электронного умножителя, коль- цевые гофрированные пластины 10 вторично-электронного умножителя, выход П умножителя, коллектор 12 электронов, внешний усилитель 13 тока, источник 14 напряжения накала, источ- НИКИ низкого 15 и высокого 16 напряжений, регистратор 17.

Способ измерения вакуума осуществляют следующим образом.

Электроны, эмиттируемые с накаленного катода 1, ускоряются анодом 2 и движутся по спиральным траекториям в поле магнита 3 в пространстве между экранами 4 катода 1 через диафрагмы анода 5. Ионизованные электронным ударом частицы газа вытягиваются через кольцевую щель 6 анода и ускоряются на вход 9 вторичио-электронного умножителя, где ионный поток преобразуется с помощью вторичной электрон- Hojt эмиссии в электронный поток. Усиленный на выходе 11 умножителя электронный поток собирается коллектог ром 12. Экран 4 катода и анод 2 выполнены из мелкоструктурной сетки. Лля повьшения чувствительности может

Q

5 0 5

Q

0

5

осуществляться модуляция путем подачи запирающего потенциала на анод 2 от генератора 7.

ДпIiжeнr e электронов в ионизационном пространстве по спиральным траекториям вдоль оси анода предотвращает облучение электронами его боковой цилиндрической стенки, что ограничивает попадание потока мягкого рентгеновского излучения на вход вторично-электронного умножителя, а также препятствует образованию заряженных и нейтральных частиц за счет электронно- стимулированной десорбции со стенок анода. Лля медленных ионов газа коэффициент ионно-электронной эмиссии не зависит от энергии ионов и их массы, что обеспечирает стабильность и точность измерений.

Таким образом, благодаря использованию в качестве коллектора ионов вторично-электронного умножителя достигается высокое быстродействие внутреннего усиления полезного сигнала в виде тока отдельных ионов, что позволяет с высокой точностью регистрировать величину нестационарного давления в области высокого и сверхвысокого вакуума.

Формула изобретения

Способ измерения вакуума, включающий ионизацию газа, ускорение ионного потока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, отличающий- с я тем, что, с целью повышения точности измерений за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления, в качестве коллектора используют вторично-электронный умножитель, которым и осуществляют усиление ионного тока в измеряемой среде.

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений высокого и сверхвысокого вакуума за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления. Для этого в способе измерения вакуума, включающем ионизацию газа, ускорение ионного потока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, в качестве коллектора используют вторично-электронный умножитель, которым и осуществляют усиление ионного тока в измеряемой среде. Способ реализуется при помощи устройства, содержащего два катода 1, анод 2, магнит 3, экран 4 катода, диафрагму 5 иона, кольцевую щель 6 анода, генератор 7 импульсов, экран 8, кольцевые гофрированные пластины 10, источники 14-16 напряжений, усилитель 13 и регистратор 17. Ионизованные электронным ударом частицы газа вытягиваются через щель 6 и ускоряются на вход 9 вторично-электронного умножителя, где ионный поток преобразуется в электронный и усиливается. С выхода 11 электронный поток собирается коллектором 12. 1 ил.