Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение от- качных характеристик и повышение надежности .

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг.2.

Вакуумной молекулярный насос, содержащий корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, размещенный в корпусе 1 центральный ротор k, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом 5, и расположенную в последнем уплотнительную вставку 6, закрепленную на корпусе 1 между патрубками 2 и 3. Насос дополнительно содержит внешний ротор 7, охватывающий центральный ротор k. Корпус 1, центральный и внешний роторы и 7 выполнены сферическими, оси вращения роторов k и 7 расположены взаимно перпендикулярно, причем внешний ротор 7 снабжен осевыми окнами 8 и винтовыми канавками 9, выполненными на его внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки 2 и 3 размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращения внешнего ротора 7, а уплот- нительная вставка 6 снабжена шевронными выступами 10, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу 5 центрального ротора 4, и плоской перегородкой 11, установленной со стороны выходного патрубка 3, при этом вершины шевронных выступов 10 направлены к плоской перегородке 11.

Насос работает следующим образом

Предварительно полость корпуса 1 вакуумируется внешним фервакуумным насосом. Центральный и внешний роторы b и 7 приводятся во вращение вокруг взаимно перпендикулярных осей. Откачиваемый газ взаимодействует с поверхностью центрального ротора и стенками паза 5 и пере

5

0

5

0

5

0

5

0

носится от входного патрубка 2 к выходному патрубку 3. Обратная перетечка газа по пазу 5 предотвращается вставкой 6 с шевронными выступами 10 и плоской перегородкой 11, а также внешним ротором 7, вращение которого обеспечивает преимущественное отрешение молекул газа от стенок паза 5 в сторону нагнетания.

Совокупность конструкции уплотни- тельной вставки и наличия внешнего ротора, значительно снижая перетечки, обеспечивает улучшение откачных характеристики насоса, а также повышает его надежность вследствие допустимости больших зазоров между центральным ротором и корпусом.

Формула изобретения

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, размещенный в корпусе центральный ротор, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом, и расположенную в последнем уплотнительную вставку, закрепленную на корпусе между патрубками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик и повышения надежности, насос дополнительно содержит внешний ротор, охватывающий центральный ротор, корпус, центральный и внешний роторы выполнены сферическими, оси вращения последних расположены взаимно перпендикулярно, причем внешний ротор снабжен осевыми окнами и винтовыми канавками, выполненными на его внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращения внешнего ротора, а уплотнительная вставка снабжена шевронными выступами, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу центрального ротора, и плоской перегородкой, установленной со стороны выходного патрубка, при этом вершины шевронных выступов направлены к плоской перегородке.

1537896

А-А

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить надежность насоса. В зазоре между корпусом 1 и центральным ротором (ЦР) 4 установлен внешний ротор (ВР) 7, снабженный винтовыми канавками 9. Корпус 1, ВР 7 и ЦР 4 выполнены сферическими. Газ поступает через входной патрубок 2 и, взаимодействуя со стенками паза 5 ЦР 4, переносится к выходному патрубку 3. ВР 7, вращаясь вокруг оси, перпендикулярной оси ЦР 4, уменьшает обратные перетечки газа вдоль стенок корпуса 1. 3 ил.

Фиг. 2.

Б - б развернуто