Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1987 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса и повышение технологичности его изготовления.

На фиг.1 представлен предлагаемый насос, поперечный разрез; на фиг.2 то же, продольньш разрез; на фиг.З - сечение А-А на фиг.1.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, установленный в нем по оси рЬтор 2 с кольцевыми пазами 3 на боковой поверхности, разделяющими ротор 2 на ряд ступеней, и размещенные в каждой ступени перегородки 4, закрепленные на корпусе 1. Насос дополнительно содержит стопорный диски 5, закрепленные на корпусе 1 и размещенные в кольцевых пазах 3, а перегородки 4 снабжены пластинами 6, контактирующими с боковыми стенками пазов 3 и внешней поверхностью ротора 2 и вьтолненными из материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора. В статорных дисках 6 между соседними перегородками выполнены отверстия 7, сообщающие отдельные ступени между собой.

Насос работает следующим образом.

После сборки насоса при плотном контакте пластин 6с ротором 2 последний проворачивают, что приводит к образованию микрозазора вследствие истирания менее прочного материала пластины 6. При работе насоса молекулы газа, попадающие в первую ступень взаимодействуют с быстровращающимся

ротором 2 и получают импульс п направлении откачки. Они переносится вдоль канала, образованного ротором 2 и статорными дисками 5, до пластины 6 в этой ступени. Через отверстие 7 молекулы газа попадают в следующую ступень и далее на сторону нагнетания насоса. Вследствие наличия статорных дисков, отделяющих ступени друг от друга, а также обеспечения минимальных зазоров в зоне размещения перегородок 4 обратные перетечки значительно снижаются, что приводит

к улучшению откачньпс характеристик насоса. Кроме того, отсутствие необходимости прецизионной сборки насоса с обеспечением минимальных зазоров упрощает процесс сборки.

Формула изобретения

Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус, установленный в нем

по оси ротор с кольцевыми пазами на боковой поверхности, разделяющими ротор на ряд ступеней, и размещенные в каждой ступени перегородки, закрепленные на корпусе, отличаюЩ и и с я тем, что, с целью улучшения откачньпс характеристик и повышения технологичности изготовления, насос дополнительно содержит статор- ные диски, закрепленные на корпусе и размещенные в кольцевых пазах, а перегородки снабжены пластинами, контактирующими с боковыми стенками пазов и внешней поверхностью ротора и выполненными из материала с пределом

прочности меньшим, чем у материала ротора. .

фиг.Ъ

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить от- качные характеристики насоса и повысить технологичность его изготовления. Статорные диски 5 закреплены на корпусе 1 и размещены в кольцевых пазах 3. Перегородки, закрепленные на корпусе и размещенные в каждой ступени, снабжены пластинами 6 из материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора 2. Пластины 6 контактируют с боковыми стенками пазов 3 и внешней поверхностью ротора. Вследствие наличия статорных дисков и обеспечения минимальных зазоров в зоне размеще кия перегородок значительно сн11жаются обратные перетечки. Кроме того, отпадает необходимость прецизионной сборки насоса с обеспечением минимальных зазоров. 3 ил. (Л 00 4 4 СО ел с-рие.2

Составитель В.Кряковкин Редактор Т.Парфенова Техред И,Попович Корректор Л.Патай

Заказ 4901/35 . Тираж 570Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4