Конденсационный гигрометр Советский патент 1990 года по МПК G01N25/68 

Изобретение относится к влагомет- рии газов, в частности к приборам, измеряющим влажность газов по точке росы, и может быть использовано для измерения этого параметра в ряде отраслей народного хозяйства.

Целью изобретения является упрощение конструкции гигрометра и повышение eio надежности.

На фиг. 1 представлен конденсационный гигрометр; на фиг. 2 - вид подложки с терморезистором, план.

Гигрометр содержит источник 1 света, конденсационное зеркало 2, расположенное на термоэлектрическом охладителе 3. Конденсационное зеркало 2 представляет собой полупроводниковую подложку «, например n-типа проводимости, в которой сформирован, например диффузией, терморезистор 5 р-типа проводимости, фотоприемником служит смещенный в обратном направлении р-п- переход 6 (фотодиод) между подложкой и терморезистором. Смещение осуществляется источником напряжения 7.

Конденсационный гигрометр работает следующим образом.

В момент включения прибора зерка- /ло 2 сухое и имеет температуру окружа- ющей среды. Световой поток от источника 1 света освещает зеркало 2, фотоприемник 6 измеряет проходящий свет. При прохождении тока через термоэлектрический охладитель 3 зеркало 2 охлаждается до температуры точки росы. На поверхности зеркала 2 конденсируется влага, в результате чего световой поток от источника 1 света поглощается

СП

-U

со

СО

ю

ND

каплями сконденсировавшейся влаги и на фотоприемнике 6 изменяется напряжение, которое используется для регулирования тока термоохладителя 3- Влажность исследуемого газа определяется в этот момент по температуре охлажденного термоохладителем 3 зеркала 2, равной точке росы, терморезистором 5. Форм ул а изобретения

Конденсационный гигрометр, содержащий источник света, фотоприемник, тер

моэлектрический охладитель с конденсационным зеркалом, состоящим из полупроводниковой подложки с датчиком температуры в виде терморезистора, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции гигрометра и повышения его надежности, фотоприемник выполнен в виде обратносмещенного p-n-перехода между подложкой и терморезистором.

Изобретение относится к влагометрии газов и может быть использовано для измерения влажности в ряде областей народного хозяйства. Цель изобретения - упрощение конструкции гигрометра и повышение его надежности. Конденсационное зеркало конденсационного гигрометра представляет собой защищенную двуокисью кремния кремниевую подложку, в которой, например, диффузией сформирован терморезистор, а фотоприемником служит смещенный в обратном направлении P-N-переход между подложкой и терморезистором. Гигрометр имеет один выносной элемент - источник света. Терморезистор и зеркало составляют единый монолитный узел с общей кристаллической структурой. 2 ил.

tf

1

и

фиг.1

Фив.г