Микроскоп Советский патент 1990 года по МПК G02B21/20 

Изобретение относится к оптическим системам для контроля дефектов поверхности и может быть использовано в микроэлектронике для визуального контроля кристаллов и оснований микросхем в процессе производства, а также в других областях науки и техники, где необходим контроль плоских и объемных дефектов поверхности.

Целью изобретения является повышение удобства в эксплуатации путем обеспечения возможности наблюдения объекта в разных ракурсах, не меняя при этом его положения.

На чертеже изображена принципиальная оптическая схема предлагаемого микроскопа.

Микроскоп содержит источник 1 света, коллектор 2, кольцевую диафрагму 3, кольцевое зеркало , эпиобъектив 5, диафрагму 6, тубусную линзу 7 и бинокулярную насадку 8 с окулярами

9.

Микроскоп работает следующим образом.

Источник 1 света с помощью коллектора 2 изображается в бесконечность. Параллельный пучок лучей ог- раничиваетс кольцевой диафрагмой 3

отражается от кольцевого зеркала h и собирается параболическим зеркалом эпиобъектива 5 на поверхности контролируемого изделия, совмещенной с передней фокальной пгоскостью эпи объектива 5. Последний собирает оас- сеянный поверхностью изделия свет и направляет на ограничивающую диафрагму 6, установленную в плоскости входного зрачка эпиобъектива 5. Одновременно эпиобъектив S строит изображение поверхности изделия в бесконечность. Часть пучка лучей, прошедшая через отверстие диафрагмы 6, попадает на тубусную линзу 7, которая переносит изображение поверхности изделия из бесконечности в переднюю фокальную плоскость окуляров 9 бинокулярной насадки 8. Когда центр отверстия диафрагмы 6 совмещен с оптической осью эпиобъектива 5, диафрагма пропускает пучок лучей, ось которого перпендикулярна поверхности контролируемого изделия. При таком положении диафрагмы угол наблюдения о 0°, т.е. микроскоп дает изображение поверхности изделия в плане. При радиальном смещении центра отверстия диафрагмы относительно оптической оси в

с в

fen

Јъ

СО СО

направлении наблюдателя диафрагма пропускает пучок лучей, ось которого составляет некоторый угол 4 с контролируемой поверхностью и лежит в плоскости наблюдения. При таком положении отверстия диафрагмы микроскоп дает изображение контролируемой поверхности под углом в направлении, азимут которого а «О1 . При повороте отверстия диафрагмы вокруг оптической оси на угол относительно плоскости наблюдения микроскоп дает изображение поверхности контролируемого изделия под тем же углом с/, но в направлении, азимут которого/з 9О При полном обороте диафрагмы азимут наблюдения меняется в пределах 0 - 360°.

Формула изобретения

Микроскоп, содержащий последовательно расположенные по оптической оси источник света, коллектор, коль- цевую диафрагму, кольцевое зеркало,

эпиобъектив, тубусную линзу и бинокулярную насадку с окулярами, отличающийся тем, что, с целью повышения удобства в эксплуатации за счет обеспечения наблюдения объекта в разных ракурсах, we меняя при этом его положения, в микроскоп дополнительно введена диафрагма, установленная между объективом и тубусной линзой в плоскости входного зрачка эпиобъектива с возможностью радиального перемещения и вращения относительно оптической оси эпиобъектива, причем диаметр d диафрагмы определяется из условия

f o6

де

Л

Т-АМ

л d foSAo5,

-об

AU

об

длина волны света; фокусное расстояние эпиобъектива микроскопа; разрешающая способность микроскопа;

числовая апертура объектива микроскопа.

Изобретение относится к оптическим системам для контроля плоских и объемных дефектов поверхности. Цель изобретения - повышение удобства эксплуатации. Для этого микроскоп снабжен подвижной диафрагмой, установленной в плоскости входного зрачка объектива. Диаметр диафрагмы выбирается по зависимости, приведенной в формуле изобретения. 1 ил.