Микроскоп Советский патент 1985 года по МПК G02B21/06 

Од

а

;о 4

Изобретение относится к оптикоханическим приборам и может быть использовано для контроля дефективности кристаллов полупроводниковых

приборов.

-X

Известен микроскоп металлографический, содержащий проекционную .систему и осветитель, крторьм широко используется для контроля дефектности кристаллов .полупроводвиковых приборов Л , . .

Недостатком данного микроскопа является низкая производительность работы с ним.

Изве.стен микроскоп, содержащий расположенные в корпусе оптическую проекционную систему, состоящую из объектива, тубусной линзы, призм бинокулярной головки и окуляров, и осветительную систему, обеспечиваю щую освещение по методу темного и светлого полей, состоящую из лампы, коллектора, зеркала полупрозрачного, зеркала кольце вого, .параболического отражателя, формир ователя кольцевого светового потока (кольцевой диафрагмь,с непрозрачной центральной зоной), причем механизмы ввода-вьшода полупрозрачного зеркала и вывода-ввода формиГ 1

рователя выполнены независимыми 2J.

Недостатком известного микроскопа является сложность и неудобство управления, так как смена освещени в светло1 1 поле на освещение в темном поле производится лоочередным выведением полупрозр-ачного зеркала и введением формирователя кольцевого потока (кольцевой диафрагмы) с помощью индивидуальных рукояток управления. Неудобное управление значительно снижает производительность, так как оператору приходитс несколько сотен раз в смену манипулировать рзтсоятками смены, освещеЛИЙ, фокусировки и перемещения кристаллов, . .

Цель изобретения - упрощение управления и увеличение удобства работы. ...

Поставленная Цель достигается тем, что. в микроскопе, содержащем расположенные в корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с 1злом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формировате 1ь кольцевого светового потока, узел смены освещения выполнен в виде установленной в корпусе с возможностью перемещения параллельно оптической оси осветителя каретки, содержащей кронштейн с полупрозрачным зеркалом и зубчатую рейку, кинематически связанную с зубчатым колесом, расположенным с возможностью вращения на коленообразном валу, жестко связанном /с фо.рмирователем кольцеврго светового потока и fс водилом-, входящим в секторный паз, выполненный на торце зубчатого колеса. ..

На чертеже схематично показан предла.гаемый-микроскоп, .Микроскоп содержит корпус Т, осветительрую систему, состоящую из лампы 2, коллектора 3, ..кольцевого конического зеркала 4, подвижного конического зеркала (формирователя кольцевого светового, потока) 5, конденсорной линзы 6, .полупрозрачного зеркала 7, кольцевого зеркала -8 и параболического -зеркала 9, проекционную .систему, с.остоящзю из объектива 10, трубной линзы 11, призмы 12, панкратической системы 13, зеркала 14, окуляра 15, устройство переключения типа освещения, состоящее из ручки 16, связанной с кареткой 1-7,

зубчатой рейки 18, жестко закрепленной на каретке t7, зубчатого колеса 19 с секторным пазом 20, свободно посаженного на коленооё1 азный вал. 21, водила 22, кронштейна 23, жестко закрепленного на кар-ет е 17, крон- . штейнов 24 и 25, закрепленных на валу 21, упоров 26 и 27 и пружины 28.

Микроскоп в режиме светового поля работает следующим образом..

Источник света - лампа2 с помощью коллектора 3 изображается в бесконечности, а затем конденсорной линзой 6 и полупрозрачным зеркалом 7 - в плоскости выходного зрачка объектива .10. Световые лучи, пройдя объектив 10, концентрируются в плоскости предмета 29, отразивщись от плоскости предмета, лучи снова проходят объектив 10, полупрозрачное зеркало 7, тубусную линзу 11, призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14 и дают изображение предмета в фокальной плоскости окуляра 15 через который производится наблюдение кристалла или- предмета 29.

При работе в темном поле световые учи от лампы 2 через коллектор 3

31

от подвижного конического зеркала 5 и кольцевого конического зеркала Д, которые формируют (преобразуют) поток лучей с сечением в виде круга в поток с сечением в виде кольца, попадают на кольцевое зеркало 8,- которое направляет на параболическое зеркало 9, которое концен.трирует.пучок лучей на поверхность предмета 29. Лучи, диффузно отраженные на границах структурных, составляющих, проходят объектив 10, тубусную линзу 11, «призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14 и дают изображение в фокальной плоскости окуляра 15. Полупрозрачное зеркало 7 выведено из хода лучей;

Устройство переключения типа освещени работает следующим образом.

Для перевода освещения микроскопа из режима светового поля в режим темного поля необходимо ручкой 16 управления отвести каретку 17 с полупрозрачным зеркалом 7, закрепленным на кронштейне 22, зубчатая .рейка 18, закрепленная на каретке 17, поворачивает зубчатое колесо 19 свободно посаженное на валу.21, до упора сектор-ного паза 13 в водило 22, и при дальнейшем перемещении каретки 17 зубчатая рейка 18 поворачивает зубча тое колесо -19 вместе с валом 21, кронштейном 24 и закрепленным на нем коническим зеркалом 5 и кронштейном 25 с прижимной пружиной 28 до.тех пор пока коническое зеркало 5-из положения А не перейдет в положение Б,

1360944

а полупрозрачное зеркало 7 выйдет изоны световых лучей. Согласование длины хода каретки 17 и угла попорота коленообразного вала 21 производится с помощью секторного паза 20 и водила 2 2.

Угол секторного паза 8 рассчитывается по формуле

qo

e-iTrtiz

зьо

при условии, что

.

где 90 - угол поворота коленообразного вала;

- длина хо.да каретки, мм, tn модуль зубчатого колеса; 2 - число зубьев зубчатого ко леса.

Позиционирование KOHtwecKoro 5 и полупрозра-пшго 7 зеркал обеспечивается ynopajm 26 и 27.

Использование, предлагаемого микроскопа повышает удобство работы и у.геньшает время на переключение освещения с темного моля на светлое и со светлого на темное, что повышает производи.тельность труда на операциях визуального контроля кристаллов Г1олупро1зодниковых приборов на 6-8%, - .

МИКРОСКОП, содержащий расположенные в. корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с узлом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формирователь кольцевого светового потока, отлинающийся тем, что, с целью упрощения управления, узел смены освещения выполнен в виде установленной в корпусе с возможностью перемещения параллельно оптической оси осветителя каретки, содержащей кронштейн с полупрозрачным зеркалом и. зубчатую рейку, кинематически связанную с зубчатьгм колесом, расположенным с возможностью вращения на коленообразном валу, жестко связанном с формирователем кольцевого светового пото,ка и с водилом, входящим в секторный паз, вьтолненный на торце зубчатого колеса. сл