Способ измерения больших сопротивлений с учетом тока утечки Советский патент 1990 года по МПК G01R27/14 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения больших сопротивлений образцов полупроводниковых материалов. Целью изобретения является повышение точности измерения путем учета тока утечки.

На чертеже приведена блок-схема устройства для реализации предлагаемого способа.

Способ заключается в том, что подают постоянный стабилизированный ток через последовательно соединенные контрольный и образцовый резисторы, измеряют падение напряжения на них, образцовый резистор заменяют на измеряемый образец, подают постоянный стабилизированный ток через последовательно соединенные контрольный резистор и измеряемый образец, измеряют падения напряжения на них и определяют величину сопротивления измеряемого образца по формуле

U

U

U

СП

О

1

со

СО О

где U, U,

Uk,UR

напряжения на контрольном и образцовом резисторах соответственно при их последовательном соединении ;

напряжения на контрольном резисторе и измеряемом обрачце соответственно при тгх последовательном соединении;

R ,PO - сопротивления контрольного и образцового резисторов;1 - ток утечки.

Устройство содержит источник 1 стабилизированного постоянного тока, контрольный резистор 2, образцовый резистор 3, измеряемый образец 4, коммутатор 5, вольтметр 6, контрол- лер 7.

Способ реализуется следующим образом.

Коммутатор 5 соединяет последовательно источник 1, контрольный и образцовый резисторы 2, 3, по команде контроллера 7 осуществляется последовательный замер падения напряжения на резисторах 2, 3 и ввод кодов, соответствующих измеренным напряже- ниям, в оперативную память контроллера 7. Затем коммутатор 5 выключает из цепи образцовый резистор 3 и вместо него включает измеряемый образец 4, контроллер 7 аналогично управля- ет измерением падения напряжения на резисторе 2 и измеряемом образце 4, а затем осуществляет вычисление сопротивления измеряемого образца.

Формула иэобрет е,н и я

Способ измерения больших сопротивлений с учетом тока утечки, включающий подачу через измеряемый резне-

тор стабилизированного постоянного тока, измерение падения напряжения на нем и вычисление его величины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, стабилизированный постоянный ток подают сначала через последовательно соединенные контрольный и образцовый резисторы, измеряют напряжения на ни затем образцовый резистор заменяют на измеряемый образец, подают через них стабилизированный постоянный ток измеряют напряжение на контрольном резисторе, а величину сопротивления измеряемого образца определяют по формуле

р У«

Uj Uo

R k Uo R к F о

де U°,U0 - напряжения на контрольном и образцовом резисторах соответственно при их последовательном соединении;

UK,Up - напряжения на контрольном резисторе и измеряемом образце соответственно при их последовательном соединении;

Rk,R0 - сопротивления контрольно о и образцового резисторов соответственно.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения больших сопротивлений образцов полупроводниковых материалов. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет учета тока утечки - достигается тем, что стабилизированный постоянный ток подают сначала через контрольный и образцовый резисторы 2 и 3 соответственно, измеряют на них напряжения, заменяют образцовый резистор 3 на измерительный образец, подают через них стабилизированный постоянный ток, измеряют напряжение на контрольном резисторе 2 и определяют величину сопротивления измеряемого образца по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил.