Способ изготовления контрастного узкополосного фильтра с одним слоем металла Советский патент 1990 года по МПК B01D33/00 

Изобретение относится к технологии изготовления оптических фильтров путем нанесения интерференционных по- .крытий на подложку физическим методом.

Целью изобретения является увеличение пропускания и уменьшение искажений формы спектральной кривой.

На фиг.1 изображено изменение регистрируемого сигнала при изготовлении фильтраj на фиг.2 - спектральные кривые получаемых фильтров.

Кривые 1 и 3 относятся к случаям, когда значение сигнала находится за пределами интервала значений, зафиксированных до и после нанесения первого резонирующего слоя.

Изготовление фильтров по предлагаемому способу производят на серийных вакуумных установках типа УВН-2М-2 и других с подколпачной оснасткой для изготовления интерференционных покрытий и с системой фотоконтроля толщин слоев по экстремальным точкам.

В систему фотоконтроля входят: осветитель (лампа КГМ ), фокусирующая и передающая оптика (линзы, зеркала, стеклянные пластины), монохро- матор МДР-4, фотоприемник, регистрирующий прибор КСП4. Контроль толщин слоев, формирующих фильтр, производится непосредственно по изготовляемым деталям.

4

00

со

Изготовление фильтра на 550 нм, например «со слоем серебра, конструкции ВНВНВ 1,75 НА 1,75 Н В Н В Н В П, где В - слой диэлек- трика LnS с высоким показателем преломления, Н - слой диэлектрика NajAlF с низким показателем преломленияJ Ag - слой серебра, П - подложка из стекла проводят следующим образом.

Устанавливают на монохроматоре ВДР-4 контрольную длину волны 550 нм Загружают в испарители пленкообразующие материалы LnS, ч Ag, a также подложки из стекла К8. Откачи- вают установку УВН-2М-2 до давления Па. Включают вращение подложек и систему фотоконтроля. Устанавливают на регистраторе КСП 4 98 делений и последовательно напыляют первые пят слоев LnS и , прекращая напыление в первых поворотных (экстремальных) точках. Примерньй отсчет по делениям КСП 4 будет

Шестой слой является первым резонирующим слоем и он должен быть нанесен с учетом фазового сдвига от металла, т.е. 1,75 Н. Его наносят следующим образом: устанавливают на КСП 4 50 делений и напыляют 1,75 Н. Отсчет будет таким: 50-81 - 54. Фиксируют значения и 2.

Затем напыляют слой металла (серебра) „ Для того, чтобы получить фильтр с максмиальным пропусканием и неискаженной формой спектральной

5 0

5

0

5

0

кривой, напыление прекращают после прохождения сигналом А резкого макси-i мума в интервале А2 А А.

Оставшиеся слои напыляют по экстремумам, включая и второй резонирующий слой.

Формула изобретения

Способ изготовления контрастного узкополосного фильтра с одним слоем металла, заключающийся в нанесении на подложку многослойного покрытия в вакууме, состоящего из четвертьволновых стоп, первого резонирующего слоя, слоя металла и второго резонирующего слоя, регистрации интенсивности пропущенного монохроматического излучения в процессе нанесения слоев, при этом напыление слоев четвертьволновых стоп прекращают в поворотных точках характеристики регистрируемой интенсивности излучения, первого резонирующего слоя - в заранее определенной точке, а напыление слоя металла прекращают после прохождения максимального значения регистрирующей интенсивности излучения, отличающийся тем, что, с целью увеличения пропусканиями уменьшения искажений формы спектральной кривой, дополнительно фиксируют точку характеристики до нанесения резонирующего слоя, а нанесение слоя металла прекращают при значениях регистрируемой интенсивности излучения, находящихся в интервале между интенсивностью излучения в зафиксированной точке и в заранее определенной точке окончания нанесения первого резонирующего слоя.

Изобретение относится к технологии изготовления оптических фильтров путем нанесения интерференционных покрытий на подложку физическим методом и позволяет увеличить пропускание и уменьшить искажения формы спектральной кривой. Способ включает нанесение слоев покрытия в вакууме при одновременной регистрации интенсивности пропущенного монохроматического излучения. Напыление слоев четвертьволновых стоп прекращают в поворотных точках характеристики регистрируемой интенсивности излучения, первого резонирующего слоя - в заранее определенной точке, при этом фиксируют точку, соответствующую окончанию напыления первого резонирующего слоя, а напыление слоя металла прекращают при значениях интенсивности излучения, находящихся в интервале между интенсивностью излучения в зафиксированной точке и в заранее определенной точке окончания нанесения первого резонирующего слоя. 2 ил.

Urn Vi

8 Н 8 Н в 1,15Н Ад 1.75Н В Н в Н в

t г з 4 s е 7 в 9 ю и п тз Фиг 1

r.%

50

40

20

500

550

Фие.г

Л,#м