Ловушка для примесных газов Советский патент 1990 года по МПК B01D53/14 

Изобретение относится к очистке газов от примесей и может быть применено в машиностроении5 в частности в установках вакуумно-штазменного травления о

Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контактао

На чертеже показана ловушка, разрез

Ловушка содержит корпус 1, в котором размещена реакционная камера 2, куда помещена железная спираль 3, выполненная из профиля постоянного сечения и имеющая коническую формуо Часть стенки реакхщонной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки АО В кольцевой полости, образованной корпусом и реакционной камерой, установлен конический трубчатый теплообмеш-шк 5 С торцов корпус закрыт крышкам 6 и 7с Крышка 6 является общей для корпуса и реакционной камеры и -з ней помещен входной патрубок 8 для подачи откачиваемого газао В стенке корпуса, расположен выходной патрубок 9 для очищенного и охлалхде {ного газ а с Расположение витков спирали и теплообменника делает проходное сечение кольцевой каме- ры оптически пепрозрачнымо При этом площадь суммарного мая;виткового проходного сечеш1Я спираш и теплообменника превышает площадь поперечного се-; чения соответственно входного и выходного патрубков о Спираль 3 закреплена в крьш1ке 7 при помош держателя 10 и изолятора 11 через промежуточную прокладку 12с

Ловушка дня примесных газов работает следуюпщм образоМо

4

СО

Откачиваемый газ с агрессивными примесями попадает через входной патрубок 8 в реакционную камеру 2в Хлор и его соединения вступают в-ре- акцию с нагреваемой от источника электропитания железной спиралью 3 соединения фтора адсорбируются поверхностью кольцевой алюминиевой вставки 4, косвенно разогреваемой спиралью Зо Очищенный газ попадает в кольцевую полость, образов анную корпусом а крышками 6 и 7 и реак 1Ц1онной камерой 2, охлаждается в мея витковом пространстве конического трубчатого теплообменника 5 и выходит через патрубок 9о

Использование спирали и теплообменника конической формы повьшает эффективность очистки и охлаждения газов, а выполнение части стенки реакционной камеры в виде кольцевой алюминиевой вставки позволяет получить большую площадь адсорбирования фторсодержащик примесей В результа- те в одной ловушке обеспечивается высокая степень очистки га.га от хлор- и фторсодержапщх примесей Изготовление спирали из профиля постоянного сечения более технологично, чем из пластины переменного сеченая.

Формула изобретения

1 а Ловушка для примесных газов зшор- и фторсодержащих, содержащая корпус, в котором соосно установлена железная резистивно нагреваемая спираль, входной и выходной патрубки, отличающаяся тем, что, с целью повьш1ения эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта, она снабжена трубчатым коническим теплообменником, а спираль имеет коническую форму, выполнена из профиля постоянного сечения и снабжена кольцевой вставкой, при этом в кольцевом пространстве между корпусом и вставкой расположен конический трубчатый теплообменнике,

2р Ловушка по По 5, о т л и ч а ю- щ а я с я тем, что, с целью расшит- рения диапазона улавливаемых примесей, нижняя часть кольцевой вставки выполнена из алюминия. 1 ладагентдход

П

-«е

Выкод

Изобретение касается очистки газов от хлор- и фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления. Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивно нагреваемую железную спираль, имеющую коническую форму, конический трубчатый теплообменник. Расположение витков спирали и теплообменника таково, что делает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки. Поглощение хлорсодержащих соединений проходит на железной спирали, а фторсодержащих - на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.