1
(21)4628278/24-28
(22)29.12.Й8 (46)30.11.90. Бюл. №44
(71)Институт электроники АН БССР
(72)В.Н.Ильиь (53)531.717.2(088.8)
(56)Фотоэлектрические преобразователи информации/Под ред. Л.Н.Преснухина. М.: Машиностроение, 1974, с. 138.
(54) РАСТРОВАЯ РЕШЕТКА
(57)Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптических измерениях. Целью изобретения является повышение точности измерения путем исключения влияния погрешностей шага растра. К объекту прикрепляют растровую решетку в виде гибкой ленты с периодической структурой, выполненной в виде набора одинаковых цилиндрических светопроводящих элементов, приставленных друг к другу цилиндрическими поверхностями без зазора. Освещают решетку двумя пучками когерентного излучения от одного лазера, направленными так, чтобы они пересекались на решетке под одинаковыми углами к ее нормали симметрично относительно нее. Пройдя решетку, пучки образуют интерференционную картину, которую регистрируют. Перемещение объекта приводит к смещению интерференционных полос. По смещению полос определяют перемещение объекта. 1 ил.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Растровая решетка | 1991 |
|
SU1812540A1 |
| ОПТИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СМЕЩЕНИЯ | 2003 |
|
RU2319158C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА | 1992 |
|
RU2042920C1 |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ | 2000 |
|
RU2175753C1 |
| Способ определения неоднородных перемещений | 1988 |
|
SU1606851A1 |
| ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ | 2009 |
|
RU2406070C1 |
| Способ измерения перемещения объекта и устройство для его осуществления | 1988 |
|
SU1518666A1 |
| ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЙ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДИФФУЗНО ОТРАЖАЮЩИХ ОБЪЕКТОВ | 1998 |
|
RU2154256C2 |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НОРМАЛЬНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ ТЕЛА | 2007 |
|
RU2359221C1 |
| СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ В ДИФФУЗНО-КОГЕРЕНТНОМ ИЗЛУЧЕНИИ | 1997 |
|
RU2155320C2 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптических измерениях. Целью изобретения является повышение точности измерений путем исключения влияния погрешностей шага растра. К объекту прикрепляют растровую решетку в виде гибкой ленты с периодической структурой, выполненной в виде набора одинаковых цилиндрических светопроводящих элементов, приставленных друг к другу цилиндрическими поверхностями без зазора. Освещают решетку двумя пучками когерентного излучения от одного лазера, направленными таким образом, чтобы они пересекались на решетке под одинаковыми углами к ее нормали, симметрично относительно нее. Пройдя решетку, пучки образуют интерференционную картину, которую регистрируют. Перемещение объекта приводит к смещению интерференционных полос. По смещению полос определяют перемещение объекта. 1 ил.
I
(ТхТГТТГХХЮПСХЮОС)
I
/
ел
с
/ /
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано пои оптических измерениях.
Цель изобретения - повышение точности измерений путем исключения влияния погрешностей шага растра.
На чертеже изображена растровая реij-ic I КЗ
Растровая решетка содержит подложку
CTov. llnr- периодической структурой, выполненной в виде набора одинаковых цилиндрических светопроводя- щих элементов 2. приставленных друг к другу цилиндрическими поверхностями без зазора и закрепленных на гибкой ленте 1
Растровая решетка работает следующим образом.
Растровую решётку прикрепляют к объекту, перемещения которого необходимо измерить. Освещают решетку двумя пучка- ми когерентного излучения от одного лазера, направленными так. чтобы они
пересекались на решетке под одинаковыми углами к ее нормали симметрично относительно нее.
Пройдя решетку, пучки образуют интерференционную картину, которую регистрируют фотоприемником.
Перемещение объекта приводит к смещению интерференционных полос. По смещению полос определяют перемещение объекта.
Формула изобретения Растровая решетка, содержащая подложку в виде гибкой ленты с периодической структурой, отличающаяся тем, что с целью повышения точности измерений периодическая структура выполнена в виде набора одинаковых цилиндрических светопроводящих злементов. приставленных друг к другу цилиндрическими поверхностями без зазора и закрепленных на гибкой ленте.
