Способ компенсации волнового фронта для контроля формы поверхности астрономических зеркал Советский патент 1990 года по МПК G01B11/24 G01B9/02 G02B17/08 

сл

с

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля формы поверхности вогнутых асферических зеркал крупных телескопов. Целью изобретения является расширение форм контролируемых зеркал за счет возможности изменения параметров компенсатора. Для настройки компенсатора на контроль асферического зеркала с заданными параметрами перемещают в зависимости от используемого положительного однолинзового компонента либо мениски относительно компонента в виде двояковыпуклой линзы, либо мениск, располагаемый между компонентом в виде мениска или плоско-выпуклой линзы и контролируемым зеркалом с соответствующим расчетом разделяющих элементы воздушных промежутков. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля формы поверхности вогнутых асферических зеркал тфупных телескопов интерференционным методом.

Пель изобретения - расширение форм .контролируемых зеркал путем обеспечения возможности изменения параметров компенсаторЕо

Указанная цель достигается тем, что два одиночных мениска размещены между двояковыпуклой линзой, установленной неподвижно, и зеркалом, причем мениски установлены с возможностью перемещения вдоль оси.

На фиг о 1-3 приведены схемы с компенсаторами, используемые при осуществлении предлагаемого способа.

На схемах обозначены источник 1 света, положительный однолинзовый

компонент 2, вьшолненный в виде или двояковыпуклой линзы (фиг о 1), или мениска (фиг. 2), или плоско-выпуклой линзы (фиг. 3), и два одиночных мениска 3 и 4, обращенные вогнутостью друг к другус

Позицией 5 обозначена поверхность контролируемого зеркала; центр кривизны С(5 при вершине поверхности .5 сов- . мещен с изображением источника 1 света; а и b - воздушные промежутки, разделяющие сооответственно линзу 2 и мениски 3 и 4; 5 - задний вершинньй отрезок компенсатора; Гд - вершинный радиус кривизны поверхности 5.

Способ осуществляют следующим образом по схеме, изображенной на фиг. 1.

05

со

00 СП

со

Источник 1 света установлен в переднем фокусе линзового компонента 2, благодаря чему обеспечивается параллельный ход лучей между двояко- выпуклой линзой и 1У1ениском Зо Мениск 3 преобразует поступающий на него пучок параллельных лучей в сходящийся. Мениск 4 преобразует поступающий на него пучок лучей в пучок, все лучи которого направлены строго по нормалям к теоретической поверхности зеркала. В процессе контроля лучи света, отражаясь от поверхности 5 зеркала, повторяют свой путь в об- ратном направлении. Эти лучи создают волновой фронт, несущий информацию о погрешности контролируемой поверхности зеркала,.и .на выходе из компенсатора попадают в анализатор волнового фронта, например.интерферометр (не показан)..На основании анализа выходящего из компенсатора волнового фронта делают вывод о качестве изготовления контролируемой поверхности зеркала. При настройке компенсатора на контроль асферического зеркала с заданными параметра- 1МИ необходимо перемещением менисков 3. и 4 друг относительно друга и не- подвижно установленной двояковыпуклой линзы установить расчетные значения воздушных промежутков Q и Ь и совместить изображение источника света с точкой Срс

По схемах, изображенным на фиг, 2 и 3, способ осуществляют следующим

образомо

Источник 1 света установлен в переднем фокусе мениска 3, благодаря чему обеспечивается параллельный ход лучей между компонентом 2 и мениском 3, Компонент 2 преобразует поступающий на него пучок параллельных лучей в сходящийся о Мениск 4 преобразует поступающий на него пучок лучей в .пучок, все лучи которого направлены строго по нормалям к теоретической поверхности 5 зеркала В процессе контроля лучи света, отражаясь от по верхности 5 зеркала, .повторяют свой путь в обратном направлении о На основании анализа выходящего из компенсатора волнового фронта делают вывод о качестве изготовления контролируе- мой поверхности зеркала. При настройке компенсатора на контроль асферического зеркала с.заданными параметрами необходимо перемещение компо-.

нента 2 и-мениска 4 относительно неподвижно установленного мениска 3 выставить расчетные значения воздушных промежутков а и 6 и совместить изображение источника 1 света с точкой Сд .

Способ позволяет контролировать форму поверхности вогнутых асферических зеркал в широком диапазоне параметров, заменяет компенсаторы индивидуального- назначениЯо Тля на- ; стройки компенсатора на контроль асферического зеркала с заданными параметрами необходимо перемещением элементов друг относительно друга установить расчетные значения воздушных промежутков а и Ь и совместить изображение источника света с центром кривизны при вершине контролируемой поверхности зеркала

Формула из

б р е т е н и я

3„ Способ попо1, отличаю. щ и и с я тем, что перемещают линзовый элемент, который устанавливают между менисками, и один из менисков, который устанавливают между зеркалом и линзовым элементом.

4,Способ по п. 3, отлича- ющи и с я тем,что линзовый элемент выполняют в виде мениска и обращают вог нутостью к мениску,который перемещают.

Фиг.1

Sj

ЛХСЗ

sm

Фал I

iiut.3